自長鑫存儲董事長兼CEO朱一明先生于五月在上海舉辦的GSA峰會上披露了公司DRAM的技術來源之后，大家對這家本土DRAM破局者的技術路線和未來發展充滿著好奇。

在今日于深圳舉辦的中國閃存技術峰會上，長鑫存儲副總裁、未來技術評估實驗室負責人平爾萱博士做了題為《DRAM技術趨勢與行業應用》的演講，向公眾披露了這家本土DRAM企業對DRAM技術及現狀的看法。

DRAM技術的發展現狀

平爾萱博士在會上表示，我們現在所處的數據社會是在IC的支撐下建立起來的，其中馮諾依曼架構則是這些數據計算的基礎。這個架構的一個特點是數據存儲在存儲器DRAM中，CPU以一定的規則獲取存儲器中的數據，并進行運算，然后將結果通過外圍設備，比如顯示器呈現出來。

“隨著數據量的增加，處理數據的能力要加強，因此需要強大的CPU，同時存儲器的數據容量也要增強，并且讀寫速度也要增加。因此近來對DRAM的要求也必須持續提高。DRAM的前景是十分看好”，平爾萱博士強調。IBS首席執行官 Handel Jones日前在上海出席一場技術論壇時也表示，DRAM將于2020年迎來復蘇，增長9.87%，這也從側面印證了平博士的觀點。

平博士在會上介紹道，所謂DRAM，是基于電容存儲電荷為原理的緊密鋪排的陣列。這個陣列通過一系列外圍電路管理從而讀寫里面存儲的數據。自上世紀60年代發明以來，DRAM容量和尺寸獲得了飛速的發展。與過往相比，今天，一個面積小于指甲蓋的DRAM里可容納80億存儲單元，按照8個存儲單元存儲一個字母，那就意味著一個芯片可能存8億個字母。并且這些數據可以以6Gb/sec 的速度，在幾秒內完成讀寫。而在這些改變背后，是DRAM技術多次“進化”的結果。

從平博士的介紹我們得知，DRAM技術在發明之后的幾十年里，經歷了從早期簡單的平面結構，變化成為了向空間爭取表面積的溝槽式電容及堆疊式電容的架構。這主要與容量的提升需求和制造方法的局限性有關。

平博士解釋道，早期的DRAM芯片，由于線寬比較大，因此有足夠的平面面積可制造出足夠的電容值。然而隨著線寬的減少，表面積逐漸減少，過往的技術不能滿足所需電容值，因此DRAM開始走向空間結構，爭取更多的表面積，演變出向上和向下兩種技術發展路線，并且共存了接近三十年。而最終以堆疊式架構勝出。

“造成這個結局的一個重要原因是溝槽式架構面臨幾個技術難點：其一是溝槽式只限于單面表面積，堆疊式可用雙面表面積，溝槽式架構很快就達到了刻蝕深寬比極限；其二是高介質材料的應用受到溝槽式中高溫制程的限制。傳統材料SiO ，Al2O3可以在高溫下有低漏電的特性，因此比較適合溝槽式架構，但像HfO，ZrO這些高介解常數材料漏電在高于600℃的溫度下增加許多，不能用于溝槽式架構中需高溫處理的三極管制造中。”

平博士還提到，在DRAM技術的演進過程中，曾經的DRAM巨頭奇夢達提出的埋入式電柵三極管概念也給整個產業帶來巨大的貢獻。他表示，這個技術同樣是利用空間，將三極管的性能提升，這種提升隨著線寬的減少越來越被需要。而近代DRAM產品都沿用這個概念。

“回看堆疊式架構的發展歷史以及展望將來的發展趨勢就可以發現，現在DRAM沿用密集排布電容及埋入式字線三極管，乃至今后3-5代DRAM”，平博士說。

DRAM未來的發展探索

在談到DRAM技術未來的發展時，平博士首先強調，DRAM是有它的極限的。我們通過改進，可以將極限推遲。如導入EUV及HKMG三極管以縮小線寬及加強外圍電路性能，就是DRAM產業的一個選擇，這在未來幾年將可以維持DRAM技術發展，滿足大數據時代的需求。

首先在EUV方面，平博士指出，EUV是繼193納米 Immersion Scanner后又一個光刻機革命。它可滿足工藝精準度在持續微縮中不斷增加的要求。而DRAM又是一個十分密集堆疊的設計，且對信號要求十分嚴格，任何小的偏離都會對信號造成損失。那就意味著EUV技術的出現對DRAM技術的延展有很大的作用：如將線寬進一步減少以增加存儲密度。

“EUV主要是針對陣列。但外圍線路的增強及微縮也是近來DRAM技術發展的另一個機會”，平博士補充說。

他表示，在DRAM幾乎一半的外圍線路中，有一半是邏輯線路用的。在過往，這部分的CMOS一直都是用傳統的SiON/Poly Si Gate堆棧的。但這個堆棧在32/28納米階段碰到了瓶頸：一方面是SiON厚度已到極限，不能再薄了；另一方面，Poly Si作為半導體材料，導電率也不足了，出現了嚴重的元器件性能不足。如在高端的圖顯DDR中，芯片性能速度明顯不足，這就需要引進更先進的HKMG CMOS提供更好性能。隨著DDR5的到來，HKMG CMOS的使用會越來越現實。

“由于DRAM制程中有電容這一段，因此HGMG制程的選擇需與電容制程匹配。所謂的Gate First制程就可被選擇為DRAM邏輯線路CMOS制程”，平博士說。他進一步表示，通過引入HKMG，不但可以推動存儲密度進一步提高，接口速度也同步獲得了提升。

“為了繼續發展DRAM技術，我們還需要在新材料、新架構上進行更多探索，并與相關企業進行合作”，平博士說。他最后指出，回顧過去幾十年的DRAM發展，證明IDM是發展DRAM的必然選擇，而這正是長鑫存儲從一開始建立就堅持的。

從平博士的介紹中我們可以看到，基于授權所得的奇夢達相關技術和從全球招攬的極具豐富經驗的人才，長鑫存儲借助先進的機臺已經把原本奇夢達的46納米 DRAM平穩推進到了10納米級別。公司目前也已然開始了在EUV、HKMG和GAA等目前還沒有在DRAM上實現的新技術探索。

正如前面所述，這些技術將會給DRAM帶來一個巨大的提升。這也會讓長鑫存儲有機會從一個技術追隨者轉變為一個技術并駕齊驅、甚至全球領先的中國DRAM玩家。

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