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電子發燒友網>電源/新能源>功率器件>中科院物理研究所實現8英寸碳化硅生長的突破

中科院物理研究所實現8英寸碳化硅生長的突破

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碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》全書

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2022-02-20 16:16:461520

6.2.1 反應性離子刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.2.1反應性離子刻蝕6.2刻蝕第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.1.6離子注入及后續退火過程中的缺陷行成∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件
2021-12-31 10:57:221931

6.4.2.2 n型SiC的歐姆接觸∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.4.2.2n型SiC的歐姆接觸6.4.2n型和p型SiC的歐姆接觸6.4金屬化第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.4.2.1基本原理∈《碳化硅技術
2022-01-25 09:18:081668

6.2.2 高溫氣體刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

6.2.2高溫氣體刻蝕6.2刻蝕第6章碳化硅器件工藝《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:6.2.1反應性離子刻蝕∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.1.6
2021-12-31 10:31:171681

8.1.6 功率JFET器件的實現∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

8.1.6功率JFET器件的實現8.1結型場效應晶體管(JFET)第章單極型功率開關器件《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:8.1.5增強型和耗盡型工作模式∈《碳化硅技術
2022-02-21 09:29:281484

6.3.4.2 MOS電容等效電路∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

特有的基本現象∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.3.3熱氧化氧化硅的結構和物理特性∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》6.3.2氧
2022-01-07 14:24:251164

5.2.3 擴展缺陷對SiC器件性能的影響∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

5.2.3擴展缺陷對SiC器件性能的影響5.2SiC的擴展缺陷第5章碳化硅的缺陷及表征技術《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》往期內容:5.2.1SiC主要的擴展缺陷&5.2.2
2022-01-06 09:25:551433

如何在中試線上生產一片8英寸碳化硅襯底?

從實際情況上看,目前多數SiC都采用的4英寸、6英寸晶圓進行生產,而6英寸8英寸的可用面積大約相差1.78倍,這也就意味著8英寸制造將會在很大程度上降低SiC的應用成本。但為什么目前市場上主流還是6英寸碳化硅襯底?
2023-06-20 15:01:243320

國產碳化硅進擊8英寸 8英寸有何優勢

隨著新能源汽車、光伏和儲能等市場的快速發展,國內的碳化硅產業正迅速進入商業化階段。國際功率半導體巨頭對該產業表達了濃厚的興趣,并與國內企業合作,積極追趕更先進的8英寸工藝節點。
2023-07-10 15:21:242655

碳化硅8英寸時代倒計時 中國廠商能否搭上“早班車”

碳化硅襯底是碳化硅產業鏈中成本最高、技術門檻最高的環節之一。近期,受到新能源汽車、光伏和儲能等市場的推動,碳化硅廠商紛紛投資建設8英寸晶圓生產線,。國內外廠商如Wolfspeed、羅姆、英飛凌、意法半導體、三星和三菱電機等都宣布參與8英寸碳化硅生產的競爭。
2023-07-14 16:22:581831

切割工藝參數對6英寸N型碳化硅晶片的影響

采用砂漿多線切割工藝加工6英寸(1英寸=25.4 mm)N型碳化硅晶體,研究了此工藝中鋼線張力、 線速度、進給速度等切割參數對晶片切割表面的影響。通過優化切割工藝參數,最終得到高平坦度、低翹曲度、 低線痕深度的6英寸N型碳化硅晶片。
2023-08-09 11:25:314324

基于碳化硅中硅空位色心的高壓原位量子磁探測研究

近日,中科院合肥物質科學研究院固體物理研究所研究員劉曉迪等與中國科學技術大學教授李傳鋒、教授許金時、研究員王俊峰(現四川大學)等合作,在國際上首次實現了基于碳化硅中硅空位色心的高壓原位量子磁探測。該
2023-08-23 09:39:331458

8英寸碳化硅襯底已實現小批量銷售

前來看,在未來一段時間內,6英寸導電型產品將作為主流尺寸,但隨著技術的進步、基于成本和下游應用領域等因素考慮,8英寸導電型碳化硅產品將是碳化硅襯底行業的發展趨勢。最終的周期將取決于技術的進度、下游市場的發展情況等多方面因素。
2023-09-12 09:27:35598

科友半導體自產首批8英寸碳化硅襯底下線

2023年9月,科友半導體自產首批8英寸碳化硅襯底成功下線。
2023-10-18 09:17:461174

三安光電8英寸碳化硅量產加速!

業內人士預測,今年將成為8英寸碳化硅器件的元年。國際功率半導體巨頭Wolfspeed和意法半導體等公司正在加速推進8英寸碳化硅技術。在國內市場方面,碳化硅設備、襯底和外延領域也有突破性進展,多家行業龍頭選擇與國際功率半導體巨頭合作。
2023-10-24 17:11:212166

三安光電碳化硅實現8英寸襯底準量產

三安光電10月23日宣布,旗下湖南三安在碳化硅產品上取得階段性進展,實現8英寸襯底準量產,部分產品已進入主流新能源汽車企業供應鏈。
2023-10-25 14:55:041652

環球晶將加快8英寸碳化硅基板產能建設

環球晶董事長徐秀蘭10月26日表示,她2年前錯估了客戶對8英寸碳化硅(SiC)需求,現在情況超出預期,她強調環球晶將加快8英寸碳化硅基板產能建設,預估明年將送樣給需要8英寸基板的客戶進行認證,并于2025年量產。
2023-10-27 15:07:431115

三種碳化硅外延生長爐的差異

碳化硅襯底有諸多缺陷無法直接加工,需要在其上經過外延工藝生長出特定單晶薄膜才能制作芯片晶圓,這層薄膜便是外延層。幾乎所有的碳化硅器件均在外延材料上實現,高質量的碳化硅同質外延材料是碳化硅器件研制的基礎,外延材料的性能直接決定了碳化硅器件性能的實現
2023-12-15 09:45:535133

河南第一塊8英寸碳化硅SiC單晶出爐!

平煤神馬集團碳化硅半導體粉體驗證線傳來喜訊——實驗室成功生長出河南省第一塊8英寸碳化硅單晶,全面驗證了中宜創芯公司碳化硅半導體粉體在長晶方面的獨特優勢。
2024-02-21 09:32:311666

晶盛機電6英寸碳化硅外延設備熱銷,訂單量迅猛增長

聚焦碳化硅襯底片和碳化硅外延設備兩大業務。公司已掌握行業領先的8英寸碳化硅襯底技術和工藝,量產晶片的核心位錯達到行業領先水平。
2024-03-22 09:39:291418

厚度達100 mm! 碳化硅單晶生長取得新進展

為了解決難題,聯合實驗室采用的是提拉式物理氣相傳輸(Pulling Physical Vapor Transport, PPVT)法,成功生長出直徑為6英寸(即150 mm)的碳化硅單晶,其厚度突破了100 mm。
2024-04-29 17:40:301874

芯聯集成8英寸碳化硅工程批已順利下線

近日,芯聯集成宣布其8英寸碳化硅工程批已順利下線,這一里程碑事件標志著芯聯集成成為國內首家成功開啟8英寸碳化硅晶圓生產的廠家。此項技術的突破不僅體現了芯聯集成在碳化硅領域的領先實力,也展示了其對推動行業技術發展的堅定決心。
2024-05-27 10:57:491312

國產8英寸碳化硅晶圓邁入新紀元,芯聯集成引領行業突破

5月27日,中國半導體制造領域迎來里程碑式的事件——芯聯集成宣布其8英寸碳化硅工程批次成功下線,這一成就標志著國產8英寸碳化硅晶圓的生產正式邁入國產化階段。此項目總投資高達9.61億元,預計全面投產
2024-05-30 11:24:522315

萬年芯:三代半企業提速,碳化硅跑步進入8英寸時代

英飛凌于近期宣布,其位于馬來西亞的新晶圓廠正式進入第一階段建設,該晶圓廠將成為全球最大、最具競爭力的8英寸碳化硅(SiC)功率半導體晶圓廠。無獨有偶,安森美、意法半導體、羅姆等國際巨頭紛紛投入8英寸
2024-08-16 16:48:361306

ASM推出全新PE2O8碳化硅外延機臺

英寸8英寸晶圓,可實現增加產量的同時,降低成本。 2024年10月16至18日,ASM先晶半導體亮相于深圳舉辦的首屆灣芯展(SEMiBAY 2024)。在國際化合物半導體產業發展論壇上,ASM推出了最新推出的適用于碳化硅外延的新型雙腔機臺PE2O8。該產品專為滿足先進碳化硅功率器
2024-10-17 14:21:26514

8英寸單片高溫碳化硅外延生長室結構

隨著碳化硅(SiC)材料在電力電子、航空航天、新能源汽車等領域的廣泛應用,高質量、大面積的SiC外延生長技術變得尤為重要。8英寸SiC晶圓作為當前及未來一段時間內的主流尺寸,其外延生長室的結構設計
2024-12-31 15:04:18398

晶馳機電8英寸碳化硅電阻式長晶爐順利通過客戶驗證

近日,晶馳機電開發的8英寸碳化硅(SiC)電阻式長晶爐順利通過客戶驗證,設備穩定性和工藝穩定性均滿足客戶需求。 ? 8英寸碳化硅晶驗收晶錠 技術創新,引領未來 此次推出的8英寸碳化硅電阻式長晶爐
2025-01-09 11:25:33891

晶盛機電:6-8 英寸碳化硅襯底實現批量出貨

端快速實現市場突破,公司8英寸碳化硅外延設備和光學量測設備順利實現銷售,12英寸三軸減薄拋光機拓展至國內頭部封裝客戶,12英寸硅減壓外延生長設備實現銷售出貨并拓展了新客戶,相關設備訂單持續增長。 ? ? 6-8 英寸碳化硅襯底實現批量出
2025-02-22 15:23:221830

中科曙光助力中科院高能物理研究所打造溪悟大模型

近年來,以大規模預訓練模型為代表的人工智能技術迅猛發展,為科研創新提供了全新范式。中科院高能物理研究所依托正負電子對撞機等大科學裝置,積累了海量高價值實驗數據,如何高效利用數據、加速成果產出,成為研究所面臨的核心課題。
2025-05-06 15:19:01756

重大突破!12 英寸碳化硅晶圓剝離成功,打破國外壟斷!

9月8日消息,中國科學院半導體研究所旗下的科技成果轉化企業,于近日在碳化硅晶圓加工技術領域取得了重大突破。該企業憑借自主研發的激光剝離設備,成功完成了12英寸碳化硅晶圓的剝離操作。這一成果不僅填補
2025-09-10 09:12:481432

【新啟航】碳化硅外延片 TTV 厚度與生長工藝參數的關聯性研究

作用。深入研究碳化硅外延片 TTV 厚度與生長工藝參數的關聯性,有助于優化生長工藝,提升外延片質量,推動碳化硅半導體產業發展。 二、碳化硅外延片生長工藝參數分析
2025-09-18 14:44:40645

全球最大碳化硅工廠頭銜易主?又有新8英寸碳化硅產線投產!

電子發燒友網報道(文/梁浩斌)英飛凌在88日宣布,其位于馬來西亞的新工廠一期項目正式啟動運營,這是一座高效的8英寸碳化硅功率半導體晶圓廠,一期項目投資額高達20億歐元,重點生產碳化硅功率半導體
2024-08-12 09:10:335264

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