電子發燒友網綜合報道 12英寸碳化硅在近期產業內迎來兩大新需求:AI眼鏡市場爆發,推動碳化硅AR光波導鏡片量產節奏;為了進一步提高散熱效率,英偉達決定在下一代Rubin GPU中,將用碳化硅中介層替代第一代Rubin GPU上采用的硅中介層,并最晚在2027年廣泛應用。
碳化硅過去的主力市場是功率器件,但功率器件市場需求增速存在瓶頸,從6英寸到8英寸的進程花費時間較長,除了技術原因之外,市場需求也是其中的關鍵。
6英寸碳化硅襯底只能滿足兩副AR眼鏡的生產,8英寸也只能滿足4副眼鏡的需求,AR碳化硅光波導鏡片要想實現降本和大規模產能,就需要更大尺寸的碳化硅材料;先進制程工藝基于12英寸硅晶圓,因此在封裝工藝中運用碳化硅,需要與硅晶圓同等尺寸的碳化硅襯底。得益于AR以及先進封裝的新需求,12英寸碳化硅的產業化進展正在持續加速。
在今年3月,天岳先進展出了12英寸高純半絕緣型SiC襯底;爍科晶體去年12月宣布成功研制出12英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底。而8英寸的半絕緣型SiC襯底,天科合達、同光股份、浙江晶銳等廠商都已經推出相關產品,面向光學應用。
今年二季度,山西天成半導體先后攻克了大尺寸擴徑工藝和低缺陷N型單晶材料的生長工藝,成功研制出12英寸(300mm)N型碳化硅單晶材料。
在最近一個月,也有更多廠商成功制備出12英寸碳化硅,以及在12英寸碳化硅相關技術上實現突破。
連科半導體8月底表示,他們采用中宜創芯提供的7N高純碳化硅粉體,依托完全自主研發的12吋碳化硅長晶爐及其熱場,成功生長出高品質12吋(304mm)碳化硅晶錠。
科友半導體在9月8日宣布,依托自主研發的12英寸碳化硅長晶爐及熱場技術,成功制備出12英寸碳化硅晶錠。這一成果標志著科友成為國內少數同時掌握12英寸碳化硅晶體生長設備與工藝全套核心技術的半導體企業,實現了從設備到材料的全面自主突破。
同一天,晶飛半導體也宣布在碳化硅晶圓加工技術領域取得重大突破,成功利用自主研發的激光剝離設備實現了12英寸碳化硅晶圓的剝離。該突破標志著中國在第三代半導體關鍵制造裝備領域邁出重要一步,為全球碳化硅產業的降本增效提供了全新解決方案。該技術此前在6/8英寸碳化硅領域已通過多家客戶驗證,設備性能達到國際先進水平。
9月10日,環球晶宣布已經開發出12英寸方形碳化硅晶圓,董事長徐秀蘭表示,改采用方形片,不只需要制程能力,還需要設備能力,因為并沒有現成設備可用,相關周邊也要跟著變化,否則以晶圓盒來說,方形晶圓會比盒子還大。并透露公司已經開發出不用激光的12英寸碳化硅晶圓切割方法。
近期,也有博主透露,英飛凌已經成功開發出12英寸碳化硅晶圓,但未知襯底供應商以及晶圓量產情況。
總體來看,隨著下游應用需求的爆發,12英寸SiC的落地進程大概率會比6英寸到8英寸過渡的周期短得多。
碳化硅過去的主力市場是功率器件,但功率器件市場需求增速存在瓶頸,從6英寸到8英寸的進程花費時間較長,除了技術原因之外,市場需求也是其中的關鍵。
6英寸碳化硅襯底只能滿足兩副AR眼鏡的生產,8英寸也只能滿足4副眼鏡的需求,AR碳化硅光波導鏡片要想實現降本和大規模產能,就需要更大尺寸的碳化硅材料;先進制程工藝基于12英寸硅晶圓,因此在封裝工藝中運用碳化硅,需要與硅晶圓同等尺寸的碳化硅襯底。得益于AR以及先進封裝的新需求,12英寸碳化硅的產業化進展正在持續加速。
在今年3月,天岳先進展出了12英寸高純半絕緣型SiC襯底;爍科晶體去年12月宣布成功研制出12英寸高純半絕緣碳化硅單晶襯底。而8英寸的半絕緣型SiC襯底,天科合達、同光股份、浙江晶銳等廠商都已經推出相關產品,面向光學應用。
今年二季度,山西天成半導體先后攻克了大尺寸擴徑工藝和低缺陷N型單晶材料的生長工藝,成功研制出12英寸(300mm)N型碳化硅單晶材料。
在最近一個月,也有更多廠商成功制備出12英寸碳化硅,以及在12英寸碳化硅相關技術上實現突破。
連科半導體8月底表示,他們采用中宜創芯提供的7N高純碳化硅粉體,依托完全自主研發的12吋碳化硅長晶爐及其熱場,成功生長出高品質12吋(304mm)碳化硅晶錠。
科友半導體在9月8日宣布,依托自主研發的12英寸碳化硅長晶爐及熱場技術,成功制備出12英寸碳化硅晶錠。這一成果標志著科友成為國內少數同時掌握12英寸碳化硅晶體生長設備與工藝全套核心技術的半導體企業,實現了從設備到材料的全面自主突破。
同一天,晶飛半導體也宣布在碳化硅晶圓加工技術領域取得重大突破,成功利用自主研發的激光剝離設備實現了12英寸碳化硅晶圓的剝離。該突破標志著中國在第三代半導體關鍵制造裝備領域邁出重要一步,為全球碳化硅產業的降本增效提供了全新解決方案。該技術此前在6/8英寸碳化硅領域已通過多家客戶驗證,設備性能達到國際先進水平。
9月10日,環球晶宣布已經開發出12英寸方形碳化硅晶圓,董事長徐秀蘭表示,改采用方形片,不只需要制程能力,還需要設備能力,因為并沒有現成設備可用,相關周邊也要跟著變化,否則以晶圓盒來說,方形晶圓會比盒子還大。并透露公司已經開發出不用激光的12英寸碳化硅晶圓切割方法。
近期,也有博主透露,英飛凌已經成功開發出12英寸碳化硅晶圓,但未知襯底供應商以及晶圓量產情況。
總體來看,隨著下游應用需求的爆發,12英寸SiC的落地進程大概率會比6英寸到8英寸過渡的周期短得多。
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