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6.4.2.2 n型SiC的歐姆接觸∈《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-01-25 09:18 ? 次閱讀
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6.4.2.2 n型SiC的歐姆接觸

6.4.2 n型和p型SiC的歐姆接觸

6.4 金屬化

第6章碳化硅器件工藝

《碳化硅技術基本原理——生長、表征、器件和應用》

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