環保署環評大會昨天通過攸關臺積五奈米先進制程布局的南科環境境影響差異分析案。臺積電表示，此案通過讓臺積五奈米制程基地有著落，最快將在今年動工，目標在2020年量產，迎戰強敵三星和英特爾。至于后續三奈米計劃，稍早科技部已提前曝光，可能落腳于南科路竹基地，但內部仍須進行詳細評估。

臺積電南科廠目前主力制程為十六奈米，后續十奈米和七奈米生產重心放在中科，但接續五奈米制程將再南科廠擔綱。臺積電廠務處長莊子壽昨天在會后表示，五奈米制程還在發展中，臺積五奈米制程是未來二至三年計劃，占地約四十公頃，投資額幾千億元，待臺積董事會通過后就會啟動。

昨日環評大會決議，南科管理局須在今年六月卅日前成立監督小組，十一名成員中，將有三至四名成員由當地居民及民間團體推薦代表擔任。

環評委員李育明表示，南科環差案自二○一四年底送進來，歷經二年審查，因制程更新致用水用電量將增加，且針對危險物質，依法規不必做風險評估，但開發單位仍自主性進行風險評估。

李育明指出，臺積電在專案小組第三次會議延續會議上說明，五奈米制程晶圓在使用階段的用電量，是現有廿五奈米制程的百分之十，且臺積電承諾，污染總量及廢水量反而減少。

因臺積電更新制程，南科每日增加五萬噸用水量、七十萬瓩用電量。南科管理局長林威呈表示，南科承諾未來將采用一點二五萬噸的永康再生水、以及園區二萬噸工業回收再生水，將在南科環三用地上設置再生水廠，并且納入環差變更內容。

南科第一期和第二期環評分別于一九九六年及二○○三年通過，因臺積電和聯電更新半導體制程，須增加用水用電量，依規定須辦理環差變更，環保署專案小組及環評大會陸續通過南科環差案，使臺積電未來全球競爭布局上再下一城。