據***《經濟日報》消息，臺積電3nm工廠通過***環保署的環境評測環評大會。依據原定時程，全球第一座3nm廠有望在2020年動工，最快2022年底實現量產。

目前臺積電的7nm工藝已經量產，臺積電計劃2019年投產改進版本，將首次使用EUV極紫外光刻技術。此外，5nm工藝 將在2019年第一季度投入風險性試產，量產時間未定，估計也就在2019年年內。

臺積電表示，5nm會在***南部科技園(STSP)的工廠里投產，但后續產能擴充仍要視環境評估而定。

而對于3nm工藝，但工廠的選址一直懸而未決。

自從2016年臺積電宣佈將發展3nm制程后，已經投入了數百名工程師。不過，對于3nm工廠的選址問題，臺積電便一直在評估，甚至將美國納入考慮。隨后在***政府承諾解決水電等相關問題后，也考量到對***經濟的重要性，臺積電最后終于宣布將新廠將落腳在***的南部科學工業園區臺南園區。

臺積電對3nm量產時程一直保密，除了防止對手三星加快投資腳步，也是因為環評案未過關，避免橫生波折，如今隨著3nm環評案通過，讓臺積電可以順利興建晶圓18廠第四到六期新廠。