電子束穿透固體樣品的能力主要取決于加速電壓,樣品厚度以及物質(zhì)的原子序數(shù)。一般來說,加速電壓愈高,原子序數(shù)愈低,電子束可穿透樣品厚度就愈大。因此,通常情況下,在制備TEM樣品時(shí),越薄越好。
季豐電子的透射電鏡是目前主流的Thermo Scientific FEI Talos系列。用于高通量、高分辨率表征和動(dòng)態(tài)觀察的TEM和STEM分析,線分辨率≤0.1 nm,STEM分辨率≤0.16nm。搭配高端Helios 5系列FIB系統(tǒng)可以制備、觀察厚度在20nm以下的超薄樣品。4k × 4k Ceta 16M 相機(jī)可在 64 位平臺(tái)上提供大視場(chǎng)、高靈敏度快速成像。
此外TEM配備了對(duì)稱布置的雙100 mm2 Racetrack 能譜檢測(cè)器( “Dual-X”),以最大限度提高分析通量,可對(duì)材料表面微區(qū)成分以及膜層結(jié)構(gòu)進(jìn)行面、線、點(diǎn)分布的定性和定量分析。
季豐電子實(shí)驗(yàn)室有經(jīng)驗(yàn)豐富的電鏡工程師,熟悉各種半導(dǎo)體樣品,薄膜樣品,金屬樣品等,為提供準(zhǔn)確的、高質(zhì)量的分析結(jié)果提供有力保障。
編輯:fqj
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評(píng)論