8月15日，國產首臺28納米關鍵尺寸電子束量測量產設備在錫成功出機。市委書記杜小剛，中國工程院院士丁文江、莊松林、董紹明，中國科學院院士張澤共同出席出機儀式。

電子束晶圓量檢測設備是芯片制造領域除光刻機外，技術難度最大、重要程度最高的設備之一。此次出機的 28 納米關鍵尺寸電子束量測量產設備，由無錫亙芯悅科技有限公司自主研制，在電子光學系統、運動平臺、電子電路和軟件等方向實現了完全自研，能有效解決我國半導體量檢測領域關鍵核心難題，對于填補我國集成電路產業關鍵環節空白、提高國產芯片高端裝備自主可控水平具有里程碑意義。

在當天活動現場，亙芯悅科技、上海交通大學自動化與感知學院合作共建的電子光學 AI 平臺聯合實驗室同步揭牌，雙方將攜手在技術創新、產業應用、科技人才培養等領域開展全面合作，通過貫通 “理論突破 — 工藝驗證 — 產線落地” 全鏈條，為后續設備創新研發注入新動能。

活動前，市領導和嘉賓一同調研亙芯悅電子束量檢測設備生產線，詳細了解企業發展歷程、人才團隊、技術路徑、核心設備等情況。

從未來發展來看，該設備有望開啟多維度進階之路。技術層面，依托電子光學 AI 平臺聯合實驗室的研發力量，設備將向更先進的 14 納米及以下制程量測方向突破，進一步提升檢測精度與效率，適配高端芯片制造的嚴苛需求；應用層面，除傳統邏輯芯片領域外，還將拓展至存儲芯片、功率半導體等細分場景，為不同類型芯片產線提供定制化量測解決方案；產業鏈帶動層面，設備的規模化應用將推動國內電子束核心零部件、精密儀器等上下游產業協同發展，加速形成自主可控的半導體裝備產業生態，為我國集成電路產業從 “跟跑” 向 “并跑”“領跑” 轉變提供關鍵支撐。

來源：半導體芯科技

審核編輯 黃宇