本文研究主要考慮基于CuSn金屬互化物的微凸點(μbump)作為芯片堆疊的手段。系統研究了形成金屬互化物凸點連接的兩種方法。一：瞬時液相(TLP)鍵合，在此過程中，全部Sn焊料熔化，隨后通過與焊料盤的作用及凸點下金屬化層(UMB)轉變為金屬間化合物。這些金屬間化合物的特點是比焊料本身有更高的熔點。這就可以在對金屬間的微連接處沒有破壞的情況下進行多芯片連續堆疊、封裝構成(倒裝芯片，重疊模壓)和封裝裝配。典型的Sn TLP鍵合溫度在240℃以上，高于其熔點232℃。二：固態擴散(SSD)鍵合，鍵合溫度低于Sn的熔點，一般小于200℃。在此過程中，通過固態交互擴散形成金屬間化合物，而不是TLP鍵合中的液-固反應。另一個不同點是一些未反應Sn可能存在于鍵合后的連接中。由于SSD鍵合溫度低于Sn的熔點，它不會在較低階段的堆疊時將焊料連接再熔化，因此也能重復堆疊另外的各層。但金屬間各相有望隨時間進一步生長，最后將微連接中全部未反應的Sn起反應。

除了Cu/Sn微凸點(μbump)互連外，實現芯片與芯片互連的另一替代方法是基于銦(In)的精細節距焊料凸點。銦是非常軟的材料，熔點低(156℃)，但成本高，一般局限于高端成像傳感器一類的特殊應用。

實驗
本文全部實驗均用5×5mm2?Imec封裝測試芯片進行。圖1是晶圓上一些關鍵測試圖形的照片。這些芯片由氧化物介質中的標準單大馬士革Cu互連層組成、用氧化物/氮化物層鈍化。用于微凸點互連的測試結構主要是菊花鏈觸點的周邊行。在一種測試芯片中，它們連接總計480個直徑25μm的微凸點連接點，節距為40μm。另一種測試芯片含有8200個直徑25μm的微凸點陣列，節距為50μm。微凸點形成工藝是用半加成電鍍技術。首先依次淀積Ti/Cu籽晶層和光刻膠層。然后進行光刻確定用于微凸點的開口區域。將光刻膠顯影后，再依次電鍍Cu和Sn，形成微凸點。最后，剝離光刻膠層，將Ti/Cu籽晶層刻蝕掉。

圖1所示測試芯片采用60μm周邊焊盤節距，并與TSV結合使用。實現這些TSV所用的工藝有詳細描述。加工TSV前，把晶圓厚度減至50μm。TSV直徑是25μm，深度為50μm。TSV Cu填充和微凸點形成在單一工藝中結合完成。Ti/Cu籽晶層在TSV刻蝕后淀積于深寬比為2的50μm TSV上。Cu填充前，應用10μm厚負光刻膠掩膜層，它允許同時形成Cu填充TSV和Cu/Sn凸點。用Cu填充TSV后，直接鍍一層3.5μm厚Sn層。光刻膠剝離后，用化學方法除去金屬籽晶層。

測試樣品的鍵合在SET FC-150倒裝芯片鍵合機上溫度為150-250℃時進行。鍵合前應用不同的清洗劑（如助溶劑）。鍵合期間加壓(5MPa-150MPa)，鍵合時間3-20分鐘。

鍵合后，測量交織的菊花鏈的電阻和絕緣以檢查互連的電氣性能。有些樣品還送去做X截面SEM檢驗。

結果
微凸點由焊料凸點和上芯片上的UBM組成。可焊金屬“凸點焊盤”（此例中為Cu）置于下面的襯底上。焊料微凸點的使用也是選項，但本實驗未使用。焊料與UBM/可焊金屬的反應結果形成金屬間化合物，因此上下芯片就連接。本研究中，UBM是Cu或Cu/Ni雙金屬層，而焊料凸點或包含純Sn，或包含SnAg。圖2是φ25μm微凸點的光學干涉測量剖面，在Cu/Ni UBM上形成了SnAg焊料凸點。

由于Sn和Cu的吉布斯（Gibbs）自由能低，二者均易被氧化。實際上發現，去除氧化物對確保SSD鍵合的金屬間化合物形成至關重要。一些商用清洗劑(如助溶劑)和稀有機酸在倒裝芯片鍵合過程中清洗Cu和Sn。助溶作用也可以用所謂非流動底層填充料(NUF)提供。優點是可與封裝裝配工藝同時進行底層填充工藝。但它們均不能在很低溫度下有效去除氧化物。這使我們的SSD鍵合溫度不能低于150℃。實際上，不同清洗劑的結合給出了150℃時的最佳鍵合結果。去除氧化物對于TLP鍵合的重要性不大，此時液態Sn能潤濕Cu UBM形成金屬間化物。

發現鍵合壓力是SSD鍵合中形成良好金屬間化物連接的又一重要因素。存在一個約20MPa的下限壓力，低于此值時焊接連接處含有的孔洞一類的缺陷太多，因而電連接不良。但是，150MPa幾乎是上限壓力，高于此值時Sn橫向受到擠壓，能在鄰近的凸點間引起電短路。對40/15μm節距/間距凸點連接來說，50MPa已足以獲得高良率器件。

與SSD鍵合不同，應用于TLP鍵合的壓力要小得多，2.5-10MPa對電良率不產生什么差異。

考慮工藝簡易和連接界面質量之間的最佳折中，以NUF鍵合為基礎工藝。這消除了毛細管底層填充的需求。進而通過采用初始高度并行的芯片至晶圓的取放、隨后集中鍵合芯片的方法增加工藝產出。該方法已被證明能用于全200mm晶圓級(圖3)。對于TLP和固態擴散鍵合方法，40/15μm節距/間距周邊陣列芯片，獲得了90%以上的器件良率。

對TLP和SSD鍵合時空洞的形成也作了研究。除了由于夾帶清洗劑殘留物形成空洞外，還在Cu3Sn相中觀察到名為柯肯達爾（Kirkendall）空洞的較小亞微米空洞，Cu3Sn相在Cu-Sn鍵合后形成。為了研究制備方法對空洞形成的影響，對不同Cu/Sn/Cu三明治結構做了老化實驗。發現空洞最初位于Cu和Sn界面處，但隨老化的進展，更多空洞逐步漂離這一表面。在金屬間化物連接中心也能觀察到大量空洞。Cu/Sn/Cu表面薄膜中也發現柯肯達爾（Kirkendall）空洞，這里三明治薄膜是順次電淀積形成。不過，將微凸點樣品與表面薄膜堆疊(此堆疊持續老化到全都轉換成Cu3Sn相為止)比較時，觀察到在Cu-金屬間化物界面處和在連接中心內的空洞形成密度的不同(圖4)。因為Cu/Sn/Cu表面薄膜是用同一電鍍化學過程淀積的，不過沒有附加還原劑，這些還原劑污染物會增加空洞成核和生長。

最后，我們說明基于CuSn金屬間化物微凸點在用后通孔方法形成的堆疊芯片中的應用。節距為60μm周邊陣列TSV的3D晶圓級封裝(3D-WLP)TSV器件堆疊在匹配的Si襯底上(圖5)。這些器件有菊花鏈連接，以監控TSV+微凸點連接的電學連續性。觀察到Cu-Sn堆疊工藝具有高良率。

結論
用精細節距Cu/Sn微凸點實現薄芯片堆疊。瞬時液相鍵合和固態擴散鍵合二者均有高電學良率。