光刻膠為何要謀求國產替代？中國國產光刻膠企業的市場發展機會和挑戰如何？光刻膠企業發展要具備哪些核心競爭力？在南京半導體大會期間，徐州博康公司董事長傅志偉和研發總監潘新剛給我們帶來前沿觀點和獨家分析。
2022-08-29 15:02:23
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光刻膠類型及特性光刻膠（Photoresist），又稱光致抗蝕劑，是芯片制造中光刻工藝的核心材料。其性能直接影響芯片制造的精度、效率和可靠性。本文介紹了光刻膠類型和光刻膠特性。
2025-04-29 13:59:337845 
晶瑞股份9月28日晚公告稱，開展集成電路制造用高端光刻膠研發項目，晶瑞股份早間公告，為開展集成電路制造用高端光刻膠研發項目，擬通過Singtest Technology PTE. LTD.進口韓國SK Hynix的ASML光刻機設備，總價款為1102.5萬美元（折合7508萬人民幣）。
2020-09-30 08:57:063934 ，增幅11.11%。 ? 截圖自企查查 ? 光刻膠是芯片制造中光刻環節的重要材料，目前主要被日美把控，國內在光刻膠方面投入研制的廠商主要晶瑞股份、南大光電、上海新陽、徐州博康、北京科華等，那么華為投資的徐州博康在光刻膠方面有何優勢，國內廠商在光
2021-08-12 07:49:006896 電子發燒友網報道（文/李彎彎）據外媒報道，SK海力士希望在中國工廠無錫使用EUV光刻機，提高存儲芯片的生產效率，然而該工廠升級改造計劃卻遇到極大阻礙，因為美國官員不允許SK海力士將ASML 的EUV
2021-11-24 09:28:345812 領域進行激烈競爭的時候，中國國產光刻膠企業在國內晶圓廠布局的成熟制程領域，展開了新產品上市和量產的爭奪戰。 ? 南大光電最新消息顯示，國產193nm（ArF）光刻膠研發成功，這家公司成為通過國家“02專項”驗收的ArF光刻膠項目實施主體；徐州博康宣布，該
2022-08-31 07:45:004234 盡管ASML作為目前占據主導地位的光刻機廠商，憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵，主導著半數以上的市場份額，但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機廠商尼康和佳能為例，他們就仍在
2022-11-24 01:57:007124 一、光刻膠的選擇光刻膠包括兩種基本的類型：正性光刻和負性光刻，區別如下
2021-01-12 10:17:47
關于光刻工藝的原理，大家可以想象一下膠片照片的沖洗，掩膜版就相當于膠片，而光刻機就是沖洗臺，它把掩膜版上的芯片電路一個個的復制到光刻膠薄膜上，然后通過刻蝕技術把電路“畫”在晶圓上。 當然
2020-07-07 14:22:55
把被攝物體的影像復制到底片上。 而ASML光刻機在做的光刻，我們稱之為微影制程，原理是將高能雷射光穿過光罩（reticle），將光罩上的電路圖形透過聚光鏡（projectionlens），將影像縮小
2020-09-02 17:38:07
SU-8光刻膠 SU-8光刻膠克服了普通光刻膠采用UV光刻深寬比不足的問題，在近紫外光（365nm-400nm）范圍內光吸收度很低，且整個光刻膠層所獲得的曝光量均勻一致，可得到具有垂直側壁和高深寬比
2018-07-12 11:57:08
的耐蝕刻薄膜材料，經曝光和顯影而使溶解度增加的是正性光刻膠，反之為負性光刻膠。光刻膠的分類及其特點見表1。 隨著IC特征尺寸亞微米、深亞微米方向快速發展，現有的光刻機和光刻膠已無法適應新的光刻工藝要求
2018-08-23 11:56:31
光刻膠也稱為光致抗蝕劑，是一種光敏材料，它受到光照后特性會發生改變。光刻膠主要用來將光刻掩膜版上的圖形轉移到晶圓片上。光刻膠有正膠和負膠之分。正膠經過曝光后，受到光照的部分變得容易溶解，經過顯影后被
2019-11-07 09:00:18
這是我的版圖一部分，然后生成了圖案是這樣的： 感覺間距小的地方全都有殘留，間距大的地方沒有殘留；工藝參數：s9920光刻膠， evg 620‘未進行蒸汽底漆層涂覆，前烘：100攝氏度，90s
2016-11-29 14:59:18
Futurrex,成立于1985年，位總部設在美國新澤西州，富蘭克林市。 公司業務范圍覆蓋北美、亞太以及歐洲。Futurrex在開發最高端產品方面已經有很長的歷史，尤其是其光刻膠
2010-04-21 10:57:46
SU 8光刻膠系列產品簡介：新型的化學增幅型負像 SU- 8 膠是一種負性、環氧樹脂型、近紫外線光刻膠，克服了普通光刻膠采用 UV光刻導致的深寬比不足的問題，十分適合于制備高深寬比微結構。SU- 8
2018-07-04 14:42:34
是分步投影光刻機.利用分步投影光刻機,再結合移相掩膜等技術,已經得到了最小線寬0.10微米的圖形。 ◆接近式暴光與接觸式暴光相似,只是在暴光時硅片和掩膜版之間保留有很小的間隙,這個間隙一般在10~25
2012-01-12 10:56:23
151n光刻膠曝光顯影后開口底部都會有一撮殘留，找不到原因。各位幫分析下
2023-04-20 13:13:52
據羊城晚報報道，近日中芯國際從荷蘭進口的一臺大型光刻機，順利通過深圳出口加工區場站兩道閘口進入廠區，中芯國際發表公告稱該光刻機并非此前盛傳的EUV光刻機，主要用于企業復工復產后的生產線擴容。我們知道
2021-07-29 09:36:46
光刻膠（光敏膠）進行光刻，將圖形信息轉移到基片上，從而實現微細結構的制造。光刻機的工作原理是利用光學系統將光線聚焦到光刻膠上，通過掩膜版（也稱為光刻掩膜）上的圖形
2023-07-07 11:46:07
光刻膠與光刻工藝技術 微電路的制造需要把在數量上精確控制的雜質引入到硅襯底上的微小 區域內,然后把這些區域連起來以形成器件和VLSI電路.確定這些區域圖形 的工藝是由光刻來完成的,也就是說,首先在硅片上旋轉涂覆光刻膠,再將 其曝露于某種光源下,如紫外光,
2011-03-09 16:43:21
0 光刻機（Mask Aligner） 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等。一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序。
2018-04-10 09:49:17134949 
本文首先介紹了asml公司，其次介紹了關于asml公司的股東以及各個股東的簡介，最后帶領大家了解一下荷蘭光刻機為什么受到青睞的厲害之處。
2018-04-10 14:15:4266105 7月1日，日本政府宣布將韓國移除對外貿易白名單，韓國進口日本公司的三種原材料——光刻膠、氟化聚酰亞胺和氟化氫需要提前90天申請，這些材料是生產柔性屏面板、半導體芯片的重要原料，而這兩個行業又是韓國的經濟支柱。
2019-08-11 10:54:423912 光刻膠概念股南大光電10月23日公告，擬投資新建光刻膠材料以及配套原材料項目。
2019-10-24 16:47:213744 近日，上海新陽在投資者互動平臺上表示，公司用于KRF248nm光刻膠配套的光刻機已完成廠內安裝開始調試，ARF193nm光刻膠配套的光刻機預計12月底到貨。
2019-12-04 15:24:458657 今年7月17日，南大光電在互動平臺透露，公司設立光刻膠事業部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進“ArF光刻膠開發和產業化項目”落地實施。目前該項目完成的研發技術正在等待驗收中，預計2019年底建成一條光刻膠生產線，項目產業化基地建設順利。
2019-12-16 13:58:528273 眾所周知，說起芯片，大家就會想到光刻機，說起光刻機，大家就會想到ASML。因為在芯片生產中，光刻機特別重要，而ASML又是高端光刻機的壟斷者，占了85%以上的高端市場。
2020-02-20 20:30:456051 在國際半導體領域，我國雖已成為半導體生產大國，但整個半導體產業鏈仍比較落后。特別是由于國內光刻膠廠布局較晚，半導體光刻膠技術相較于海外先進技術差距較大，國產化不足5%。在這種條件下，國內半導體廠商積極開展研究，如晶瑞股份的KrF光刻膠，南大光電的ArF光刻膠均取得較好的研究效果。
2020-03-06 15:40:565517 在EUV光刻機方面，荷蘭ASML（阿斯麥）公司壟斷了目前的EUV光刻機，去年出貨26臺，創造了新紀錄。據報道，ASML公司正在研發新一代EUV光刻機，預計在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:13:483419 在EUV光刻機方面，荷蘭ASML（阿斯麥）公司壟斷了目前的EUV光刻機，去年出貨26臺，創造了新紀錄。據報道，ASML公司正在研發新一代EUV光刻機，預計在2022年開始出貨。
2020-03-17 09:21:195447 近日，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）公司2019年的年報中披露了關于下一代EUV極紫光刻機的研發進程，預計2022年年初開始出貨，2024年實現大規模生產。
2020-03-17 15:25:593906 光刻機是芯片制造的核心設備之一，作為目前世界上最復雜的精密設備之一，其實光刻機除了能用于生產芯片之外，還有用于封裝的光刻機，或者是用于LED制造領域的投影光刻機。目前，我國高端的光刻機，基本上是從荷蘭ASML進口的。
2020-03-18 11:12:0247310 大家都知道，目前我國光刻機技術至少落后荷蘭ASML15年，目前荷蘭ASML的頂級光刻機可以達到7nm工藝，目前他們正大研發5nm工藝光刻機。
2020-04-19 23:43:2611612 頂級光刻機有多難搞？ASML的光刻機，光一個零件他就調整了10年！拿荷蘭最新極紫外光EUV光刻機舉例，其內部精密零件多達10萬個，比汽車零件精細數十倍！
2020-07-02 09:38:3912919 Aligner) 又名：掩模對準曝光機，曝光系統，光刻系統等。 光刻（Photolithography） 意思是用光來制作一個圖形（工藝）；在硅片表面勻膠，然后將掩模版上的圖形轉移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時復制到硅片上的過程。 一般的光刻工藝要經
2020-08-28 14:39:0415066 
開發行股票計劃募集資金總額不超過人民幣 120,000.00萬元，扣除發行費用后的募集資金凈額擬投入以下項目。其中，有8.5億元將會投入到新一代電子信息材料國產化項目-光刻膠及光刻膠配套試劑研發當中。 雅克科技于2010年在深交所中小企業板上市，主
2020-09-24 10:32:016129 
ASML訂購的EUV光刻機遲遲未能到貨。如今，中企有望在其他供應商處找到轉機。 在耗時近4個月后，晶瑞股份斥資1102.5萬美元（約合人民幣7129萬元），從韓國代理商SK Hynix處購買的二手ASML浸沒式光刻機（XT 1900Gi）已順利到貨。 據報道，該司預計2021年上
2021-01-25 14:35:392985 9月28日晚間，晶瑞股份發布公告稱，將開展集成電路制造用高端光刻膠研發項目。為此，晶瑞股份擬通過Singtest Technology PTE. LTD.進口韓國SK Hynix的ASML光刻機
2020-10-10 10:10:493183 ASML的EUV光刻機是目前全球唯一可以滿足22nm以下制程芯片生產的設備，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻機必不可缺。一臺EUV光刻機的售價為1.48億歐元，折合人民幣高達11.74億元
2020-10-19 12:02:4910752 
對公司光刻膠業務的具體影響等問題。 10月12日，晶瑞股份發布關于深圳證券交易所關注函的回復公告稱，本次擬購買的光刻機設備將用于公司集成電路制造用高端光刻膠研發項目，將有助于公司將光刻膠產品序列實現到ArF光刻膠的跨越，并最終實
2020-10-21 10:32:105003 無獨有偶，在中科院宣布介入光刻機研發之后，ASML宣布將在中國加大布局。阿斯麥（ASML）全球副總裁、中國區總裁沈波近日對媒體表示：“ASML在中國已有700多臺光刻機的裝機，幾乎所有主要芯片生產廠商都有我們的服務。
2020-10-22 18:11:138675 導讀：光刻是集成電路最重要的加工工藝，他的作用，如同金工車間中車床的作用。光刻是制造芯片的最關鍵技術，在整個芯片制造工藝中，幾乎每個工藝的實施，都離不開光刻的技術。 光刻機的工作原理： 利用光刻機
2022-12-23 13:34:5410099 ASML在光刻機領域幾乎是巨無霸的存在，而他們對于與中國企業合作也是非常歡迎，無奈一些關鍵細節上被美國卡死。 中國需要光刻機，尤其是支持先進制程的高端光刻機，特別是 EUV （極紫外光源）光刻機
2020-11-10 10:08:043971 在芯片制造環節中，光刻機是核心設備。沒有光刻機，半導體或遭斷鏈危機，摩爾定律將停止，人類也就無法設計、制造和封裝硅芯片。放眼全球，一家叫做ASML（阿斯麥）的荷蘭公司市場占有率達80%，是行業的絕對
2020-11-13 09:28:516405 工藝的層層打磨，一顆嶄新的芯片才正式誕生。 而芯片制造所需的關鍵設備就是光刻機，但是我們今天不談光刻機，我們要來聊一聊光刻機中最重要的材料光刻膠。 光刻膠又稱為光致抗蝕劑，它是一種對光敏感的有機化合物，受紫外光曝
2020-11-14 09:36:577126 
光刻膠是微納加工過程中非常關鍵的材料。有專家表示，中國要制造芯片，光有光刻機還不夠，還得打破國外對“光刻膠”的壟斷。
2020-12-08 10:53:564956
光刻是晶圓制造的核心工藝。半導體用***、光刻膠、光掩膜等的市場分別被國外龍頭企業如ASML、Canon、信越化學、JSR、住友化學、Fujifilm等企業所主導。目前中國半導體光刻產業鏈
2020-12-29 15:41:443108 開展集成電路制造用高端光刻膠研發項目，擬通過 Singtest Technology PTE. LTD. 進口韓國 SK Hynix 的 ASML 光刻機設備，總價款為
2021-01-20 16:34:007356 1月19日晚，國內半導體材料公司晶瑞股份發表公告，宣稱購得ASML公司光刻機一臺，將用于高端光刻膠項目。
2021-01-21 09:35:513579 1月19日晚，國內半導體材料公司晶瑞股份發表公告，宣稱購得ASML公司光刻機一臺，將用于高端光刻膠項目。
2021-01-21 10:23:252188 在光刻機領域一家獨大的荷蘭光刻機巨頭ASML，占據著芯片行業的頂端，畢竟沒有了他們的設備，想要造出先進工藝制程的芯片是沒戲的。 財報披露，ASML2020年全年凈銷售額140億歐元，毛利率為48.6
2021-01-22 10:38:165843 
受美國阻撓及新冠疫情影響，此前我國企業向ASML訂購的EUV光刻機遲遲未能到貨。如今，中企有望在其他供應商處找到轉機。
2021-02-09 10:40:002287 。 據報道，SK海力士與ASML公司簽訂了一個超級大單，未來5年內將斥資4.8萬億韓元，約合43.4億美元購買EUV光刻機。 SK海力士在一份監管文件中稱，這筆交易是為了實現下一代工藝芯片量產的目標。 ASML及SK海力士都沒有透露這么多資金到底購買了多少臺EUV光刻機，不過從之
2021-02-25 09:30:232709 一提起ASML這家公司，就少不了對光刻機問題的討論，因為截至目前，ASML仍然是全球最領先的光刻機廠商。普通的DUV光刻機就不多說了，ASML每年都能賣出去很多臺，而在更先進的EUV光刻機方面，ASML更是占據了絕對壟斷的地位。
2021-02-27 09:59:4216218 上海新陽表示，公司采購的ASML干法光刻機設備順利交付，對加快193nmArF干法光刻膠產品開發進度有積極影響，有利于進一步提升公司光刻膠產品的核心競爭力，加快落實公司發展戰略，提高公司抗風險能力和可持續發展能力。
2021-03-10 17:13:003205 以下內容由對話音頻整理 本期話題 ● EUV光刻機產能如何？ ● 晶圓為什么是圓的？ ● 不同制程的芯片之間有何區別？ ● 什么是邏輯芯片，邏輯芯片又包括哪些？ ● 專用芯片與通用芯片 ● 中科院
2021-03-14 09:46:3025243 5月27日，半導體光刻膠概念股開盤即走強，截至收盤，A股光刻膠板塊漲幅達6.48%。其中晶瑞股份、廣信材料直線拉升大漲20%封漲停，容大感光大漲13.28%，揚帆新材大漲11.37%，南大光電
2021-05-28 10:34:154020 在半導體制造方面，國內廠商需要突破的不只是光刻機等核心設備，光刻膠也是重要的一環。而南大光電研發的高端ArF光刻機，已經獲得了國內某企業的認證，可用于55nm工藝制造。 南大光電發布公告稱，控股
2021-06-26 16:32:373071 光刻膠是光刻機研發的重要材料，換句話說光刻機就是利用特殊光線將集成電路映射到硅片的表面，如果想要硅片的表面不留下痕跡，就需要網硅片上涂一層光刻膠。
2022-02-05 16:11:0015756 什么是光刻？光刻是將掩模上的幾何形狀轉移到硅片表面的過程。光刻工藝中涉及的步驟是晶圓清洗；阻擋層的形成；光刻膠應用；軟烤；掩模對準；曝光和顯影；和硬烤。
2022-03-15 11:38:021489 
光刻機是制作芯片的關鍵設備，利用光刻機發出的紫外光源通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的硅片曝光，使光刻膠性質變化、達到圖形刻印在硅片上形成電子線路圖。我國目前還是采用什深紫外光的193nm制程工藝，如上海微電子裝備公司（CMEE）制程90nm工藝的光刻機，那么90nm光刻機能生產什么芯片呢？
2022-06-30 09:46:2133420 眾所周知，光刻機一直處于壟斷地位，在光刻機領域，最有名的就是ASML公司了。
2022-07-04 11:21:15294540 光刻機是芯片制造的核心設備之一。目前世界上最先進的光刻機是荷蘭ASML的EUV光刻機。
2022-07-06 11:03:078348 大家都知道，芯片制造的核心設備之一就是光刻機了。現在，全球最先進的光刻機是荷蘭ASML的EUV光刻機，那么euv光刻機目前幾納米呢？ 到現在，世界上最先進的光刻機能夠實現5nm的加工。也就是荷蘭
2022-07-10 11:17:4253101 光刻機和euv光刻機區別是是什么呢？ duv光刻機和euv光刻機區別 1.基本上duv只能做到25nm，而euv能夠做到10nm以下晶圓的生產。 2. duv主要使用的是光的折射原理，而euv使用的光的反射原理，內部必須是真空操作。 以上就是duv光刻機和euv光刻機區別了，現在基本都是euv光刻機
2022-07-10 14:53:1087067 灰化，簡單的理解就是用氧氣把光刻膠燃燒掉，光刻膠的基本成分是碳氫有機物，在射頻或微波作用下，氧氣電離成氧原子并與光刻膠發生化學反應，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通過泵被真空抽走，完成光刻膠的去除。
2022-07-21 11:20:178339 與此同時，在ASML看來，下一代高NA EUV光刻機為光刻膠再度帶來了挑戰，更少的隨機效應、更高的分辨率和更薄的厚度。首先傳統的正膠和負膠肯定是沒法用了，DUV光刻機上常用的化學放大光刻膠（CAR）也開始在5nm之后的分辨率和敏感度上出現瓶頸
2022-07-22 10:40:083923 南大光電最新消息顯示，國產193nm（ArF）光刻膠研發成功，這家公司成為通過國家“02專項”驗收的ArF光刻膠項目實施主體；徐州博康宣布，該公司已開發出數十種高端光刻膠產品系列，包括
2022-08-31 09:47:142371 光刻膠的組成：樹脂（resin/polymer），光刻膠中不同材料的粘合劑，給與光刻膠的機械與化學性質（如粘附性、膠膜厚度、熱穩定性等）；感光劑，感光劑對光能發生光化學反應；溶劑（Solvent
2022-10-21 16:40:0423796 光刻機譽為“現代半導體行業皇冠上的明珠”，是一種高度復雜的設備。光刻機是通過紫外光作為“畫筆”，把預先設計好的芯片電路路線書寫在硅晶圓旋涂的光刻膠上，光刻工藝直接決定了芯片中晶體管的尺寸和性能，是芯片生產中最為關鍵的過程。
2022-10-27 09:39:024799 電子發燒友網報道（文/周凱揚）盡管ASML作為目前占據主導地位的光刻機廠商，憑借獨有的EUV光刻機一騎絕塵，主導著半數以上的市場份額，但這并不代表著其他光刻機廠商也就“聽天由命”了。以兩大國外光刻機
2022-11-24 07:10:035174 利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光后會發生性質變化，從而使光罩上得圖形復印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。
2022-12-01 09:32:116988 而作為全球半導體設備光刻機龍頭，ASML也非常重視在中國的發展。據ASML全球高級副總裁、中國區總裁沈波介紹，自1988年至今，ASML在中國大陸的全方位光刻解決方案下的裝機量已超過1000臺，相應的員工數量也超過了1500人。
2022-12-05 10:42:416083 在集成電路制造領域，如果說光刻機是推動制程技術進步的“引擎”，光刻膠就是這部“引擎”的“燃料”。
2023-05-13 11:28:383489 
光刻膠在未曝光之前是一種黏性流體，不同種類的光刻膠具有不同的黏度。黏度是光刻膠的一項重要指標。那么光刻膠的黏度為什么重要？黏度用什么表征？哪些光刻膠算高黏度，哪些算低黏度呢？
2023-11-13 18:14:112940 
為了生產高純度、高質量的光刻膠，需要高純度的配方原料，例如光刻樹脂，溶劑PGMEA…此外，生產過程中的反應釜鍍膜和金屬析出污染監測也是至關重要的控制環節。例如，2019年，某家半導體制造公司由于光刻膠受到光阻原料的污染，導致上萬片12吋晶圓報廢
2023-11-27 17:15:481717 光刻膠類別的多樣化，此次漲價案所涉KrF光刻膠屬于高階防護用品，也是未來各地廠家的競爭焦點。當前市場中，光刻膠主要由東京大賀工業、杜邦、JSR、信越化學、住友化學及東進半導體等大型制造商掌控。
2023-12-14 15:20:362439 勻膠是光刻中比較重要的一步，而旋涂速度是勻膠中至關重要的參數，那么我們在勻膠時，是如何確定勻膠速度呢？它影響光刻膠的哪些性質？
2023-12-15 09:35:563928 
光刻膠主要下游應用包括：顯示屏制造、印刷電路板生產、半導體制造等，其中顯示屏是光刻膠最大的下游應用，占比30%。光刻膠在半導體制造應用占比24%，是第三達應用場景。
2024-01-03 18:12:212813 
據吳中發布的最新消息，簽約項目涵蓋了瑞紅集成電路高端光刻膠總部項目，該項投資高達15億元，旨在新建半導體光刻膠及其配套試劑的生產基地。
2024-01-26 09:18:431197 光刻膠是一種涂覆在半導體器件表面的特殊液體材料，可以通過光刻機上的模板或掩模來進行曝光。
2024-03-04 17:19:189618 與正光刻膠相比，電子束負光刻膠會形成相反的圖案。基于聚合物的負型光刻膠會在聚合物鏈之間產生鍵或交聯。未曝光的光刻膠在顯影過程中溶解，而曝光的光刻膠則保留下來，從而形成負像。
2024-03-20 11:36:505058 
我們在使用光刻膠的時候往往關注的重點是光刻膠的性能，但是有時候我們會忽略光刻膠的保存和壽命問題，其實這個問題應該在我們購買光刻膠前就應該提出并規劃好。并且，在光刻過程中如果發現有異常情況發生，我們
2024-07-08 14:57:083146 后烘是指（post exposure bake-PEB）是指在曝光之后的光刻膠膜的烘烤過程。由于光刻膠膜還未顯影，也就是說還未閉合，PEB也可以在高于光刻膠軟化溫度的情況下進行。前面的文章中我們在
2024-07-09 16:08:433446 
評價一款光刻膠是否適合某種應用需要綜合看這款光刻膠的特定性能，這里給出光刻膠一般特性的介紹。 1. 靈敏度 靈敏度（sensitivity）是衡量曝光速度的指標。光刻膠的靈敏度越高，所需的曝光劑量
2024-07-10 13:43:492388 根據光刻膠的應用工藝，我們可以采用適當的方法對已顯影的光刻膠結構進行處理以提高其化學或物理穩定性。通常我們可以采用烘烤步驟來實現整個光刻膠結構的熱交聯，稱為硬烘烤或者堅膜。或通過低劑量紫外線輻照
2024-07-10 13:46:592702 
時最常用的方法。這是一種具有很高吞吐量和均勻性潛力的方法。旋涂的原理是，通常將幾毫升光刻膠分配到以數 1000 rpm（通常為 4000 rpm）旋轉的基板上。抗蝕劑可以在基板靜止時點膠，然后加速到速度（靜態旋涂），也可以在晶圓已經旋
2024-07-11 15:46:362757 存儲時間 正膠和圖形反轉膠在存儲數月后會變暗，而且隨著儲存溫度升高而加速。因為該類型光刻膠含有的光活性化合物形成偶氮染料，在 可見光譜的部分具有很強的吸收能力，對紫外靈敏度沒有任何影響。這種變色過程
2024-07-11 16:07:491791 在微流控PDMS芯片加工的過程中，需要使用烘膠臺或者烤膠設備對SU-8光刻膠或PDMS聚合物進行烘烤。SU-8光刻膠的烘烤通常需要進行2-3次。本文簡要介紹SU-8光刻膠烘烤的注意事項。 微流
2024-08-27 15:54:011241 共讀好書關于常用光刻膠型號也可以查看這篇文章：收藏！常用光刻膠型號資料大全，幾乎包含所有芯片用光刻膠歡迎掃碼添加小編微信掃碼加入知識星球，領取公眾號資料
2024-11-01 11:08:073091 本文介紹了光刻膠的使用過程與原理。
2024-10-31 15:59:452789 光刻技術是現代微電子和納米技術的研發中的關鍵一環，而光刻膠，又是光刻技術中的關鍵組成部分。隨著技術的發展，對微小、精密的結構的需求日益增強，光刻膠的需求也水漲船高，在微電子制造和納米技術等高精尖領域占據著至關重要的位置。
2024-11-11 10:08:214404 
隨著半導體器件的應用范圍越來越廣，晶圓制造技術也得到了快速發展。其中，光刻技術在晶圓制造過程中的地位尤為重要。光刻膠是光刻工藝中必不可少的材料，其質量直接影響到晶圓生產的效率和質量。本文將圍繞著晶圓
2025-01-03 16:22:061227 ，但是由于面板光刻機針對的是薄膜晶體管，芯片光刻機針對的是晶圓，面板光刻機精度要求遠低于芯片光刻機，只要達到pm級別即可。后道光刻機則是單質封裝光刻機，封裝光刻機的作用相較于前道光刻機來說較小，所以其精度和價值遠遠比
2025-01-16 09:29:456363 
引言 在半導體制造與微納加工領域，光刻膠剝離液是光刻膠剝離環節的核心材料，其性能優劣直接影響光刻膠去除效果與基片質量。同時，精準測量光刻圖形對把控工藝質量意義重大，白光干涉儀為此提供了有力的技術保障
2025-05-29 09:38:531108 
引言 在晶圓上芯片制造工藝中，光刻膠剝離是承上啟下的關鍵環節，其效果直接影響芯片性能與良率。同時，光刻圖形的精確測量是保障工藝精度的重要手段。本文將介紹適用于晶圓芯片工藝的光刻膠剝離方法，并探討白光
2025-06-25 10:19:48816 
光刻膠剝離工藝是半導體制造和微納加工中的關鍵步驟，其核心目標是高效、精準地去除光刻膠而不損傷基底材料或已形成的結構。以下是該工藝的主要類型及實施要點：濕法剝離技術有機溶劑溶解法原理：使用丙酮、NMP
2025-09-17 11:01:271282 
電子發燒友網報道（文/黃山明）芯片，一直被譽為 人類智慧、工程協作與精密制造的集大成者 ，而制造芯片的重要設備光刻機就是 雕刻這個結晶的 “ 神之手 ”。但僅有光刻機還不夠，還需要光刻膠、掩膜版以及
2025-10-28 08:53:356236
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