8月11日，企查查最新信息顯示，徐州博康信息化學品有限公司（簡稱“徐州博康”）更新了最新工商信息，新增深圳哈勃科技投資合伙企業（有限合伙）為股東，注冊資本從7600.95萬變更為8445.50萬元，增幅11.11%。

截圖自企查查

光刻膠是芯片制造中光刻環節的重要材料，目前主要被日美把控，國內在光刻膠方面投入研制的廠商主要晶瑞股份、南大光電、上海新陽、徐州博康、北京科華等，那么華為投資的徐州博康在光刻膠方面有何優勢，國內廠商在光刻膠上的研制進展如何？

國內唯一 光刻膠單體材料全部自供

徐州博康是集研發、生產、經營中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術企業，公司專注于光刻膠原材料到成品的自主研發及生產，實現了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產品光刻膠的國產化自主可控。

徐州博康擁有5000平方研發中心，研發團隊200余人，博士和碩士占比50%以上。配有KrF Nikon S204，I9，I12，ACT8 track，日立CDSEM等先進光刻檢測設備，以及其它理化檢測設備如ICP-MS、HPLC、GC、IR等。

目前實現的產品線涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、193nm/248nm光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產品。已成功開發出40+個中高端光刻膠產品系列，包括多種電子束膠，ArF干法光刻膠，KrF正負型光刻膠，I線正負型光刻膠及GHI超厚負膠，應用于IC集成電路制造多個環節，服務客戶超100家。

與其他半導體光刻膠廠商相比，徐州博康的顯著特色是光刻膠單體材料全部自供，光刻膠單體是光刻膠實現光刻膠功能最核心的原材料，是卡脖子材料中的卡脖子材料，徐州博康是中國目前唯一可以規模化生產中高端光刻膠單體材料的企業。

目前國產KrF、ArF光刻膠研制進展

半導體光刻膠根據激光波長不同，可分為g線、i線、KrF、ArF以及EUV光刻膠，對應的激光波長依次是436nm、365nm、248nm、193nm，激光波長越短，可實現的光刻精度越高，目前國內暫無廠商研制EUV光刻膠，KrF光刻膠和ArF光刻膠是目前各廠商的研制重點。

這里主要看一下KrF和ArF光刻膠的進展。KrF光刻膠方面，徐州博康和北京華科的KrF光刻膠已實現量產，徐州博康的年產值20億的新基地經過三年的建設和爬坡已于2021年6月份正式投產；上海新陽KrF（248nm）厚膜光刻膠產品通過客戶認證，并成功取得第一筆訂單；晶瑞股份KrF光刻膠已進入客戶測試階段。

ArF光刻膠方面，南大光電ArF光刻膠產品已經通過客戶認證；上海新陽半導體ArF干法光刻膠啟動研發，預計2022實現少量銷售，2023年實現量產；徐州博康正在進行干法ArF光刻膠中測，濕法ArF光刻膠正在進行研發；北京科華正在進行干法ArF光刻膠研發；晶瑞股份ArF高端光刻膠研發工作已正式啟動。

總結

在國產替代趨勢下，光刻膠作為重要的半導體制造材料，是不可忽視的環節，華為哈勃從成立以來，針對半導體產業各個環節做了投資，而此次投資光刻膠似乎是可預期的。

那么選擇徐州博康，最主要的可能是，不僅僅是它在光刻膠成品上的成績，更為重要的是，它是國內唯一可以規模化生產中高端光刻膠單體材料的企業，就如上文所言，光刻膠單體是實現光刻膠功能最核心的原材料，是卡脖子材料中的卡脖子材料。