受美國阻撓及新冠疫情影響，此前我國企業向ASML訂購的EUV光刻機遲遲未能到貨。如今，中企有望在其他供應商處找到轉機。

在耗時近4個月后，晶瑞股份斥資1102.5萬美元（約合人民幣7129萬元），從韓國代理商SK Hynix處購買的二手ASML浸沒式光刻機（XT 1900Gi）已順利到貨。

據報道，該司預計2021年上半年完成設備的安裝調試，用于研發最高分辨率達28nm的高端光刻膠；并期望在3年內完成ArF光刻膠產品相關技術參數及產品定型，實現規?；a。

所謂光刻膠，是一種對光敏感的有機混合物，主要應用于芯片制造環節中微細圖形的加工。據晶瑞股份董事長吳天舒介紹，該設備有利于解決我國在集成電路制造領域關鍵材料“卡脖子”難題，待光刻膠成功研發后，也將為國產12英寸芯片的制造提供重要材料。

雖然光刻膠研發難度比光刻機的難度要小，但在核心材料上，目前我國仍然需要從海外進口。

而當前全球光刻膠市場基本被歐盟以及日本等幾家大型企業壟斷，在關鍵材料領域，信越化學、合成橡膠、富士膠片等日企則掌握著主要話語權。

因此，近年來我國也一直試圖打破日本在光刻膠領域的壟斷，近年來已有晶瑞股份、南大光電、以及上海新陽等中企入局。

南大光電發布公告稱，該司研發的ArF光刻膠產品已通過客戶使用認證，標志著國內第一只國產ArF光刻膠的誕生。

除了中企加速入局，“國家隊”也集中力量幫助該領域的發展。去年9月份，在華為被斷供一天后，中科院院長白春禮表示，將把美國“卡脖子清單”變成我國科研任務清單進行布局，集中全院的力量攻克難關。
責任編輯:pj