光刻膠是光刻機研發(fā)的重要材料,換句話說光刻機就是利用特殊光線將集成電路映射到硅片的表面,如果想要硅片的表面不留下痕跡,就需要網(wǎng)硅片上涂一層光刻膠。
簡單的說光刻膠是用于保護硅片的,光刻機是用來制作芯片的。光刻膠的性能指標(biāo)要求極高,如感光的性能、抗蝕性、表面的張力等。
目前光刻膠在芯片、面板、模擬半導(dǎo)體、發(fā)光二極管及光子器件上都得到了廣泛應(yīng)用。
審核編輯:姚遠
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