據(jù)中國機床行業(yè)報道,北京博魯斯潘精密機床有限公司與中國科學院長春光機所國望光學楊懷江博士團隊合作研發(fā)的光刻機物鏡系統(tǒng)超精密磨床ULTR-700VG,于2021年5月18日通過國家機床質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢測中心檢測。該超精密機床工作臺直徑700mm,X軸行程:> 350mm、Z軸行程:>250mm、X軸定位精度:3μm/350mm(VDI 3441)、X軸重復定位精度:+/-1μm(VDI 3441)、X軸直線度:1μm/100mm,3μm/350mm、Z軸直線度:1μm/100mm,2μm/250mm、X軸與工作臺平行度:0.5μm/350mm、Z軸與工作臺垂直度:2μm/250mm、X,Z軸最小可執(zhí)行位移為0.1μm。磨削500mm直徑的合金鋼零件的平面度以及雙面平行度達到0.2微米;該超精密數(shù)控機床是高剛度的工程化實用產(chǎn)品,可以廣泛應(yīng)用于我國IC電路、光學工業(yè)、航空航天等精密超精密制造領(lǐng)域的批量化生產(chǎn);該技術(shù)和產(chǎn)品處于世界領(lǐng)先水平,屬于我國機床工業(yè)領(lǐng)域的首臺套;公司擁有自主知識產(chǎn)權(quán);這些技術(shù)和裝備,是制造光刻機物鏡系統(tǒng)、光刻機工作臺系統(tǒng)的關(guān)鍵;超精密納米光學零件首先要通過這類超精密裝備的高效批量加工后,再通過等離子體局部拋光,才能達到納米級的面形精度和亞納米級表面粗糙度,否則就很困難。項目組負責人北京博魯斯潘精密吳行飛博士表示,優(yōu)化工作環(huán)境,避免干擾,下一步的目標是直徑2000mm的超大型光學超精密技術(shù)與數(shù)控裝備的研發(fā),精度將突破0.02微米。

據(jù)筆者檢索,北京博魯斯潘精密是一家國資與民營混合制國家級高新技術(shù)企業(yè),公司創(chuàng)始人吳行飛博士早年師從我國超精密機床和工藝研究泰斗、中科院院士徐性初先生,后在德國訪問學習,從事超精密共性基礎(chǔ)技術(shù)和工藝研究20多年。2006年回國后,創(chuàng)立了北京博魯斯潘精密,在中國寶安集團、凱泰資本、湖南航空航天基金、杭實集團、華盛一泓、紅馬資本的推動下,公司先后獲得了數(shù)億元的資金支持,已經(jīng)陸續(xù)推出精密五軸聯(lián)動光學數(shù)控加工中心、超精密光學數(shù)控車床。將超精密共性基礎(chǔ)技術(shù)與工藝降維使用在高端數(shù)控機床領(lǐng)域,又推出了十七軸雙主軸五面體五軸聯(lián)動臥式加工中心、六軸五聯(lián)動飛機發(fā)動機渦輪蝸扇、葉片精密銑削和葉榫精密磨削加工中心。該類高精尖超精密數(shù)控機床對我國芯片、IC集成電路、光學、航空航天工業(yè)突破國外封鎖,實現(xiàn)高精尖技術(shù)與裝備的自主可控發(fā)展,具有重要的戰(zhàn)略意義和經(jīng)濟意義,是解決“卡脖子”問題的關(guān)鍵裝備。公司以進口替代為目標,已經(jīng)形成了商業(yè)化產(chǎn)品,在汽車零部件領(lǐng)域,已經(jīng)交付用戶六條自動化生產(chǎn)線,是新中國成立以來,唯一在世界龍頭企業(yè)批量化全廠替代進口高端數(shù)控機床的公司。機器自2015以來,實現(xiàn)了每天24小時不停機生產(chǎn),完成了穩(wěn)態(tài)和可靠性的長期驗證;2019年10月,中國機械工業(yè)聯(lián)合、中國機床工具協(xié)會組織了國家級鑒定,與會專家認為,這一突破,對我國高端數(shù)控裝

光刻機物鏡系統(tǒng)零件超精密數(shù)控磨床 ULTRA 7600VG

備的技術(shù)進步,具有重要的推動作用。吳行飛博士個人、團隊各項成果先后獲得中國機械工業(yè)科技進步一等獎一次、二等獎兩次。