近日，深圳穩頂聚芯技術有限公司（簡稱“穩頂聚芯”）宣布，其自主研發的首臺國產高精度步進式光刻機已成功出廠，標志著我國在半導體核心裝備領域取得新進展。

此次穩頂聚芯出廠的步進式光刻機屬于WS180i系列。該系列產品主要面向mini/micro LED光電器件、光芯片、功率器件等化合物半導體領域，可靈活適配硅片、藍寶石、SiC等不同襯底材料，滿足多樣化的膠厚光刻工藝需求。

WS180i系列光刻機優勢顯著。其晶圓覆蓋范圍廣，可處理2~8英寸的晶圓；分辨率覆蓋1.5μm~0.35μm，能適應多種精度要求的生產場景。

穩頂聚芯的產品矩陣豐富多元，除步進式光刻機之外還涵蓋多種設備。具體包括套刻及關鍵尺寸光學量測設備（量測精度達10nm）、超精密光學成像質量評價系統、高性能主動減震系統、晶圓尋邊器、晶圓機械手以及薄膜測量系統（膜厚測量精度為10nm~100μm），全方位覆蓋半導體裝備領域。

根據工商資料顯示，穩頂聚芯是一家成立于2023年5月，注冊地是深圳南山區，注冊資本119.21306萬元，經營范圍包括：儀器儀表制造；實驗分析儀器制造；電力電子元器件制造；超導材料制造；機械電氣設備制造；電氣設備銷售；儀器儀表銷售；電子元器件零售；機械零件、零部件銷售；電子產品銷售。技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣。截至2024年底，參保人數為37人。

穩頂聚芯的核心團隊實力強勁，超85%的成員擁有國內外知名大學研究生學歷，且大多來自國內頂尖半導體科研院所及全球500強企業，具備豐富的經驗以及強大的研發和制造能力，其創新理念也推動著公司不斷發展。公司研發的集成電路工藝設備憑借卓越的性能，獲得了知名制造商的高度認可和好評，充分彰顯了產品的行業領先水平。

2025年2月20日，在“科創寶安?創投薈”活動上，穩頂聚芯正式對外發布了其光刻機整機研發成果。公司專注于成熟工藝制程的半導體前道光刻工藝制造，擁有2000多平方米的研發及生產廠房，以及一支高素質的研發團隊。同時，公司還宣布了1億元的融資需求，旨在進一步擴大生產規模、提升研發能力，為公司的持續發展提供有力支撐。

目前，穩頂聚芯已經具備了年產20臺光刻機整機的產能。公司對未來發展充滿信心，預計2025年營收將達到1.4億元，凈利潤有望達到4480萬元。隨著技術的不斷進步和市場的逐步拓展，穩頂聚芯有望在半導體裝備領域取得更加輝煌的成就，為我國半導體產業的發展做出重要貢獻。

文章來源：芯片說

審核編輯 黃宇