MEMS是當代國際矚日的重大科技探索前沿陣地之一,新研發(fā)的MEMS樣品不斷被披露出來,從敏感MEMS拓展到全光通信用光MEMS、移動通信前端的RF-MEMS、微流體系統(tǒng)等信息MEMS。光MEMS包括微鏡陣列、光開關、可變衰減器、無源互連耦合器、光交叉連接器、光分插復用器和波分復用器等,MEMS與光信號有著天然的親和力;RF-MEMS包括射頻開關、可調電容器、電感器、諧振器、濾波器、移相器、天線等關鍵元器件;微流體系統(tǒng)包括微泵、微閥、微混合器、微流體傳感器等,可對微量流體進行輸運、組分分析和分離以及壓力、流量、溫度等參數(shù)的在線測控。MEMS正處在蓬勃發(fā)展時期,產業(yè)鏈和價值鏈的形成是需要鏈中各環(huán)節(jié)的共同努力和密切合作的,封裝不可缺位。
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MEMS最成功的產品是微加速度計,通常由一個懸臂構成,梁的一端固定,另一端懸掛著一個約10μg的質量塊,由此質量塊敏感加速度后,轉換為電信號,經C/V轉換、放大、相敏解調輸出。有的廠家月產達200萬件,研發(fā)出20余種型號產品,主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)和穩(wěn)定系統(tǒng)的慣性測量,國際市場年需求量在1億件以上。在市場上較其他類MEMS取得商業(yè)化快速進展的原因是更適宜采用標準的IC封裝,提供一個相應的微機械保護環(huán)境,無需開發(fā)特殊的外殼結構,有的采用16腳雙列直插式或單列直插式塑料封裝。采用MCM技術通常能在一個MEMS封裝中納入更復雜的信號調節(jié)功能芯片。
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