電子發燒友原創 章鷹

MEMS傳感器是開啟智能感知時代的關鍵，從智能手機、智能汽車、智能機器人到無人機，MEMS傳感器的身影隨處可見。根據市場調研機構Yole Development報告，2019年，全球高端慣性傳感器系統市場價值32.4億美元，2025年將達到38億美元的市場規模。

目前，在高精度慣性傳感器市場，Bosch、ST、TDK、霍尼韋爾等國際領先企業在MEMS慣性傳感器領域具有長時間積累，產品性能及穩定性深受下游用戶信賴。近日，在深圳舉辦的國際傳感器大會上，蘇州億波達微系統技術有限公司研發總監張裕華表示，在高精度慣性傳感器領域，國外企業占據90%的市場份額，高端產品及95%的芯片依賴進口。隨著國家政策大力扶持，MEMS傳感器迎來國產替代黃金發展期。

慣性傳感器市場持續增長，MEMS傳感器覆蓋三大細分市場需求

行業專家表示，在人形機器人領域，慣性傳感器主要負責機器人姿態調整，IMU相當于人形機器人的“小腦”，能實時感知機器人的姿態、角速度和加速度；在工業領域，慣性傳感器可以精確測量物體的加速度、角速度和姿態等運動參數，在一些沒有衛星信號覆蓋的工業環境中，慣性傳感器可以通過測量物體的運動信息，結合初識位置和姿態，實現自主導航和定位功能；在汽車領域，慣性傳感器可以實時監測汽車的加速度變化，能監測車輛的側傾、橫擺角速度等運動狀態。

2022年消費電子、汽車、工業是MEMS傳感器行業的最大的三個細分市場，規模合計達到128億美元。其中陀螺儀、磁力計和慣性傳感器組合，市場規模合計約為37.83億美元。2025年，全球MEMS傳感器接近2000億美元的市場規模，在中國MEMS市場的增長率達到10%以上。

根據Yole Development預測顯示，未來MEMS傳感器主要器件規模市場持續增長，應用多元化，發展迅猛。壓力傳感器會達到24.9億美元，慣性傳感組合將會達到25.56億美元，光學MEMS將會達到13.04億，加速度計傳感器將達到17.54億美元。

億波達推出四大類MEMS傳感器

億波達是一家專注于MEMS傳感器設計、制造、封測、以及多傳感器融合系統集成的創新企業，2021年9月成立，產品可以廣泛應用在汽車、無人機、物聯網、人工智能等領域。公司專注高精度MEMS傳感器，特別是高性能慣性傳感器，用于工業級慣性傳感器-陀螺儀，零偏不穩定性約等于10度，應用在工業設備、能源平臺，能獲取運動/角速度信息。億波達還推出了高穩壓力芯片、單軸加速度計，三軸加速度計、Z軸MEMS陀螺儀、流量計傳感器等產品，均已經通過試產和驗證，進入到工程批量產。

加速度計的關鍵性能指標決定了高精度、穩定性和適用場景，主要指標有零偏穩定性、帶寬、噪聲密度、響應時間等。億波達EIA-X2002單軸加速度計，量程±2，非線性±0.3，帶寬1200Hz，噪聲5Hz，零偏穩定性80μg；EIA-X2010單軸加速度計，量程±10，非線性±0.3，帶寬1800Hz，噪聲8Hz，零偏穩定性140μg。

高精度慣性傳感器（如戰術級/導航級IMU）的性能指標遠高于普通商用傳感器，其核心參數直接影響系統定位、姿態控制的準確性。億波達公司研發總監張裕華透露，除了單軸加速度計外，公司也在積極研發戰術級的MEMS陀螺儀。
億波達公司的愿景是成為全球MEMS技術的引領者，目前公司整體人員50多人，碩士、博士占比45%以上。公司首席顧問在MEMS行業已經有二十多年建廠經驗，公司不斷推出專利，形成自有的知識產權，公司已有發明專利16項，實用新型專利1項，軟件著作權2項，正在申請的發明專利3項。