MEMS慣性器件包括MEMS加速度計和MEMS陀螺儀，前者測量物體的加速度，通過一次積分和二次積分獲得物體的速度和位置。后者測量物體的姿態角速率，通過積分獲取物體的姿態角。

作為在工程上廣泛應用的測量裝置，MEMS慣性器件的指標需要能體現其測量的精度，測量的穩定性以及應用時對環境的適應性。

致謝：文章參考記憶的抽屜官微。

愛普生六軸慣性測量單元（IMU）

IMU（Inertial Measurement Unit），即慣性測量單元。EPSON/愛普生新推出的M-G370等系列慣性測量單元（IMU）是一種核心參數達到光纖陀螺儀級別的高精度MEMS三軸陀螺儀/六軸陀螺儀，集成了3個單軸角速度傳感器和3個單軸加速度傳感器，用以同時精確測量三個方向的角速度和加速度變化。

1、M-G370和M-G366區別如下：

2、M-G370和M-G366可應用產品如下：

對于具有FOG*2級性能的M-G370來說，憑借高精度和高穩定的測試性能，被廣泛應用于慣性導航和對位置測量精度要求高的領域，如自主駕駛、無人駕駛、導航等領域。

應用實例

● 精密農業和建筑機械的自主駕駛和無人控制。

● 無人設備，如工業無人機、地面車輛和水下設備。

● 導航系統(GNSS*9、INS*10、高精度定位儀)。

● 云臺相機和天線穩定系統。

● 工業設備和車輛的振動、角度和路徑測量。

應用一：無人機

應用二：自主駕駛

愛普生的陀螺儀傳感器有著優越的溫度特性及低噪音特性，推動了各種應用領域的進化。例如汽車導航、家用電視游戲機的遙控器、電腦的3D 鼠標、自動吸塵機或業余興趣愛好等。

新一代MEMS IMU型號M-G370長期穩定性BIS小于1dph（0.8dph），誤差0.06度/小時。