在“2016 Symposia on VLSI Technology”（6月13日～17日于美國檀香山舉辦）上，繼“Plenary Session”（全體會議）之后，在Session T2“Technology Highlighted Session”上，也涌現出了許多關于10nm工藝技術的論文。在本屆Symposium采納的86篇論文中，有12篇被選為焦點論文，其中4篇在 Session T2的Highlighted Session上發表。

　　這些論文論文研究的對象是使用Si、SiGe、InGaAs等不同通道材料的FinFET技術，以及STT-MRAM。會上，相關討論也趨于白熱化，在會議結束后，眾多聽眾將發布者團團圍住，氣氛十分熱烈。

　　近年來，隨著硅集成電路微細化暴露出局限性，研究者圍繞摩爾定律消亡后器件技術的發展方向展開了討論。盡管存在這樣的情況，但在這次的Highlighted Session上，關于10nm工藝器件技術的論文依然很多，表明基于微細化的高性能化還在推進，勢頭依然強勁。

　　實現4種Vth

　　首先，三星電子公司發布了10nm工藝Si FinFET技術（演講序號2.1），其主要特點是通過改進柵極堆棧實現4種Vth，改善了翅片形成、觸點等多項工藝。

　　各個部分均實現了微細化，與14nm工藝相比，速度提高了27％，在相同速度下，功耗降低了40％，而且SRAM單元尺寸達到了0.04μm2。雖然韓國近期發表的論文在數量上不及以往，但這次發布依然展現出了三星雄厚的集成化技術。

　　接下來，IBM與GLOBALFOUNDRIES公司發布了使用SiGe作為通道材料的10nm節點技術（演講序號2.2）。這項技術與三星的一大差別是pMOS采用了SiGe通道，nMOS則使用通常的硅。

　　論 文表明，通過為pMOS采用Ge濃度為20％的SiGe，不僅使移動度提高35％，有效電流提高17％，還大幅改善了NBTI（Negative Bias Temperature Instability，負偏壓溫度不穩定性）。該論文指出，提高特性的關鍵在于通過降低氧濃度減少缺陷。而且還提供了4種Vth，與三星的10nm平臺 形成了鮮明對比。

　　InGaAs晶體管找到實用化道路

　　臺積電第3個登臺，介紹了使用比SiGe更先進的InGaAs的 FinFET（演講序號2.3）。InGaAs通道通過外延生長的方式在300mm硅晶圓上形成。在硅晶圓上實現了與在晶格匹配的InP基板上生長的器件 相同的性能，達到了現有InGaAs晶體管最大的通態電流，這是一項重大技術進展。要想將InGaAs投入實用，關鍵是生長、加工工藝等全部環節都要利用 硅平臺，這篇論文指明了達成這一目標的方法。

　　最后，美國TDK Headway Technologies發布了關于提高STT-MRAM寫入速度的論文（論文序號2.4）。在不降低數據保存特性的前提下，通過使寫入脈沖寬度減少到 750ps，成功利用8MB陣列實現了3ns脈沖的寫入。通過實現次納秒高速寫入，開辟出了通往MRAM LLC緩存的道路。

　　關于 10nm工藝以后的技術，除上面介紹的Highlighted Session外，在Session T9“Technology Scaling Beyond 10nm”上也發布了很多相關論文，其中也包括焦點論文。例如，TSMC發布了面積為0.03μm2、比前面介紹的三星的更小的微細SRAM單元（論文序 號9.1）。IBM發布Ge濃度高達60％以上的SiGe-FinFET技術，證明了這項技術能夠實現有效柵極絕緣膜厚度為0.7nm、翅片寬度為4nm 的微細化（論文序號9.3）。

　　在人們早已意識到微細化即將達到極限的情況下，表明通過微細化可以提高性能的論文卻層出不窮，這說明在超越 10nm工藝之后，至少在一段時間內，器件的性能還有可能繼續提高。筆者衷心期待技術在超越10nm之后，向著7nm節點繼續邁進。（特約撰稿人：遠藤和 彥，VLSI Symposia委員）