雖然2nm先進(jìn)制程芯片尚未量產(chǎn)，但是晶圓代工廠商之間的設(shè)備爭(zhēng)奪戰(zhàn)已經(jīng)進(jìn)入白熱化階段。各大廠商紛紛加大投資力度，競(jìng)相升級(jí)和引進(jìn)最先進(jìn)的設(shè)備技術(shù)，以爭(zhēng)奪2nm制程芯片的高地。這場(chǎng)激烈的競(jìng)爭(zhēng)不僅體現(xiàn)了對(duì)市場(chǎng)份額的爭(zhēng)奪，更是對(duì)技術(shù)實(shí)力和制程能力的一次全面較量。各家廠商都希望能夠在這個(gè)領(lǐng)域占據(jù)先機(jī)，因?yàn)?nm制程芯片被認(rèn)為是未來高性能、低功耗、高集成度的關(guān)鍵技術(shù)。半導(dǎo)體fab巨頭臺(tái)積電、三星、英特爾、Rapidus各有動(dòng)作。

最早的2nm芯片，可能來自Intel？

臺(tái)積電和三星的一致口徑是2nm工藝預(yù)計(jì)于2025年開始量產(chǎn)——但起碼也是2025年下半年或者更晚的時(shí)間。

這里需要注意的問題是，“開始量產(chǎn)”“準(zhǔn)備好量產(chǎn)”并非芯片問世時(shí)間。比如如果臺(tái)積電N2工藝將在2025年下半年開始量產(chǎn)，則N2工藝的芯片真正上市至少需要等到2026年；且從營(yíng)收的角度來看，N2工藝產(chǎn)生的營(yíng)收也要到2026年才會(huì)反映到財(cái)報(bào)中。

Intel這邊：自從7nm/5nm時(shí)代，在半導(dǎo)體制造工藝技術(shù)上被臺(tái)積電和三星趕超，Intel就改變了技術(shù)迭代策略。從2022年Intel投資者會(huì)議更新過的計(jì)劃表來看，Intel 20A工藝——通常可看作是Intel版本的2nm工藝，即便Intel現(xiàn)在在市場(chǎng)宣傳上很忌諱去談x nm——“準(zhǔn)備好量產(chǎn)”的時(shí)間是2024年上半年。

今年2月Intel在國(guó)內(nèi)舉辦的戰(zhàn)略媒體溝通會(huì)上再度確認(rèn)了Intel 20A“測(cè)試芯片已流片”。不過需要注意的是，因?yàn)楝F(xiàn)在foundry廠的工藝名稱（比如Intel 20A, TSMC N2, Samsung 2GAP）越來越放飛自我，而工藝名稱并不代表晶體管或器件的實(shí)際物理尺寸，加上現(xiàn)在我們并不十分清楚這三家的“2nm”工藝的器件尺寸，所以仍然很難在同一平臺(tái)上去說這三者是同代工藝。

Intel 20A工藝的后續(xù)工藝是18A——也是Intel此前宣稱要重返半導(dǎo)體制造工藝王座的一代節(jié)點(diǎn)，預(yù)期“準(zhǔn)備好量產(chǎn)”的時(shí)間已經(jīng)被提前到了2024年下半年。如果各家foundry廠的未來工藝能如期交付，則顯然Intel會(huì)是最快的。

但如前文所述，尖端制造工藝foundry廠有放衛(wèi)星的傳統(tǒng)——當(dāng)然這也不是他們想看到的。畢竟尖端制造工藝的技術(shù)難度和成本攀升速度，造就了大量的不確定性。

三星密謀已久

這不是三星首次披露其2nm的計(jì)劃，其實(shí)針對(duì)這個(gè)被廣泛看好的“大節(jié)點(diǎn)”，這家韓國(guó)巨頭密謀已久，他們?cè)谶@次代工論壇上也帶來了更多的消息。

據(jù)semiwiki報(bào)道，與英特爾一樣，三星自己的芯片也是自己的代工客戶，因此他們?cè)?nm上首先生產(chǎn)的是內(nèi)部產(chǎn)品，而不是外部代工客戶。這當(dāng)然是 IDM 代工廠的優(yōu)勢(shì)，可以結(jié)合工藝技術(shù)開發(fā)自己的芯片。三星擁有開發(fā)領(lǐng)先內(nèi)存的額外優(yōu)勢(shì)。

報(bào)道指出，三星將于 2025 年開始量產(chǎn)用于移動(dòng)應(yīng)用的 2nm 工藝，然后于 2026 年擴(kuò)展到具有背面供電的 HPC，并于 2027 年擴(kuò)展到汽車領(lǐng)域。與 3nm 工藝 (SF3) 相比，三星的 2nm (SF2) 工藝已顯示出性能提升 12%，功率效率提高提升 25%，面積減少 5%。

按照三星的規(guī)劃，其GAA MBCFET無疑是2nm工藝的最大競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)所在，在上個(gè)月的時(shí)候，他們就公布了公司在3nm GAA MBCFET技術(shù)的最新進(jìn)展，這將給他們的2nm提供參考。

三星表示，與 FinFET 相比，MBCFET 提供了卓越的設(shè)計(jì)靈活性。晶體管被設(shè)計(jì)成有不同量的電流流過它們。在使用許多晶體管的半導(dǎo)體中，必須調(diào)節(jié)電流量，以便在所需的時(shí)序和控制邏輯下打開和關(guān)閉晶體管，這需要增加或減少溝道的寬度。

而在傳統(tǒng)的FinFET結(jié)構(gòu)中，柵極所包裹的鰭片（Fin）的高度是不可調(diào)節(jié)的，因此為了增加整體溝道寬度，需要水平地增加鰭片的數(shù)量。但這種方法只能調(diào)節(jié)不連續(xù)的溝道寬度，因?yàn)楫?dāng)柵包圍文件的溝道寬度為α?xí)r，也只能減小或增大α的倍數(shù)。這是一個(gè)嚴(yán)重的限制。

另一方面，MBCFET 彼此堆疊在一起，鰭片側(cè)向放置，納米片的寬度可以調(diào)整，以提供比 FinFET 更多的溝道寬度選項(xiàng)，這是一個(gè)對(duì)整個(gè)設(shè)計(jì)有用的功能，這在模擬 SRAM 中具有顯著的優(yōu)勢(shì)設(shè)計(jì)。

”MBCFET 具有這些優(yōu)勢(shì)，因?yàn)樗鼈兊脑O(shè)計(jì)允許獨(dú)立微調(diào)晶體管的溝道寬度，以便在 P 型金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管 (PMOS) 和 N 型金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管（NMOS）之間找到最佳平衡”，三星強(qiáng)調(diào)。

臺(tái)積2nm2025如期上線

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2022 年技術(shù)研討會(huì)上，臺(tái)積電正式公布了其 N2（2 納米級(jí)）制造技術(shù)，當(dāng)時(shí)臺(tái)積電表示該技術(shù)計(jì)劃于 2025 年某個(gè)時(shí)間投入生產(chǎn)，并將成為臺(tái)積電第一個(gè)使用其基于納米片的柵極全方位場(chǎng)效應(yīng)的節(jié)點(diǎn)晶體管（GAAFET）。新節(jié)點(diǎn)將使芯片設(shè)計(jì)人員能夠顯著降低其產(chǎn)品的功耗，根據(jù)臺(tái)積電公布的 N2 技術(shù)指標(biāo)，可以看到，相較于其 N3E（3 納米的低成本版）工藝，在相同功耗下，臺(tái)積電 2 納米工藝的性能將提升 10%～15%；而在相同性能下，臺(tái)積電 2 納米工藝的功耗將降低 23%～30%；晶體管密度提升 10%。

在近日召開的 Q1 季度財(cái)報(bào)會(huì)上，臺(tái)積電表示客戶對(duì) 2 納米工藝熱情高漲，并且重申 2 納米將按計(jì)劃在 2025 年量產(chǎn)，同時(shí)臺(tái)積電也表示原本計(jì)劃建立成熟制程的高雄廠未來將改成先進(jìn)制程。從目前臺(tái)積電透露的信息來看，臺(tái)積電對(duì)于 2 納米能按時(shí)交付頗有自信。

2nm攪局者Rapidus

除了代工的三大巨頭，一家日本公司也聲勢(shì)浩大地加入了 2 納米的競(jìng)爭(zhēng)。

2022 年 8 月，8 家日本頂級(jí)企業(yè)：索尼、豐田汽車、日本電信電話、日本電氣、日本電裝、軟銀、鎧俠和三菱日聯(lián)銀行分別出資 3 億-10 億日元不等，合資打造了這家定位高端芯片公司。同年 12 月，IBM 宣布將與 Rapidus 合作計(jì)劃于 2025 年在日本啟動(dòng) 2 納米制程制造基地。

IBM 的加入讓 Rapidus 的計(jì)劃看起來更加有希望，IBM 雖然已經(jīng)不再是 IDM 公司，但仍保留了一家芯片制造研發(fā)中心。而在 2021 年，IBM 推出全球首款 2 納米制程的芯片。同樣 IBM 的 2 納米也使用了 GAA 結(jié)構(gòu)。所以，可以說 Rapidus 雖然起步晚了一些，但在 2 納米制程方面也有了底氣。

此外，該公司正在獲得ASML的大力支持，主要是因?yàn)镋UV技術(shù)是批量生產(chǎn)5-7nm以下芯片的重要制造技術(shù)。在這個(gè)領(lǐng)域里，Rapidus的光刻設(shè)備有望在未來兩年內(nèi)扮演重要的角色。據(jù)悉，ASML將于2024年在日本北海道建立技術(shù)支持基地，并派遣約50名工程師協(xié)助在Rapidus的2nm芯片工廠中試生產(chǎn)線上搭建EUV光刻設(shè)備，提供調(diào)試、維護(hù)和檢查方面的協(xié)助。

審核編輯：黃飛