正如知名硬科技投資人蔡洪平所言：“從半導(dǎo)體研究的第一天起，就是全球化的，沒有一個國家可以包圓（整個產(chǎn)業(yè)鏈），美國也不行。”所以，強如美國，也無法生產(chǎn)出頂尖光刻機，只能通過耍流氓的手段，對別國進行限制。

　　而相對美中德日這樣的大國，荷蘭是一個不折不扣的小國，但其生產(chǎn)高端光刻機的本土企業(yè)ASML，卻在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)坐擁崇高地位。這家坐落于荷蘭南部小城維爾德霍芬的科技公司，占據(jù)全球高端光刻機市場80%以上的份額。從1984年在板房創(chuàng)立，到2009年占據(jù)行業(yè)龍頭，只用了31年。

　　理解ASML的崛起，或者說理解荷蘭如何培育出ASML，對于解決當(dāng)前中國的卡脖子難題，應(yīng)該有一定價值。

　　光刻機到底比原子彈難在哪？

　　因為這兩年卡脖子問題十分突出，越來越多的普通中國人都知道了光刻機這個東西。但聽過光刻機這個詞，不代表真正了解它。很多人說，當(dāng)年咱們那么窮，都造出了原子彈，現(xiàn)在經(jīng)濟狀況好了很多，難道還怕造不出光刻機？持有類似心態(tài)的人，以董明珠為代表，她曾放出豪言，要拿500億進軍半導(dǎo)體領(lǐng)域。當(dāng)前，全球最先進的EUV光刻機售價高達1.2億歐，價格堪比一架波音737客機。2024年量產(chǎn)的新一代High-NA EUV光刻機，預(yù)計售價將在3-3.5億歐之間。EUV光刻機的累積研發(fā)投入超過百億歐元，半導(dǎo)體行業(yè)玩家的門檻是1000億元，并且需要不斷投入才行。脫口而出500億解決問題，暴露出當(dāng)事人對這個行業(yè)的陌生。原子彈和光刻機都很難造，二者的關(guān)鍵區(qū)別也許只有一條，那就是原子彈造出后，研究項目也就結(jié)束了；而光刻機造出后，項目才剛剛開始，企業(yè)必須緊跟需求，持續(xù)優(yōu)化性能的同時降低成本，屬于典型的“既要又要”。有投資人測算過，如果按照造光刻機的效率來造原子彈，一顆原子彈的價格只要10萬人民幣。簡言之，原子彈是有沒有的問題，光刻機則是好不好的問題，分屬兩個維度。對于臺積電、三星或中芯國際來說，企業(yè)投資數(shù)十億美元建立生產(chǎn)線，最怕的就是設(shè)備故障導(dǎo)致停產(chǎn)，一旦停產(chǎn)，損失極大。所以，這要求光刻機必須保持7x24小時的絕對穩(wěn)定性。這就必須依靠商業(yè)方式，不斷地保持高利潤-高研發(fā)投入-持續(xù)迭代，從而形成一個具有正反饋效應(yīng)的循環(huán)。一臺EUV光刻機重達180噸，超過10萬個零件，需要40個集裝箱運輸，集合了光學(xué)、有機化學(xué)、儀器儀表、機械設(shè)備、自動化、圖像識別等多行業(yè)的頂級技術(shù)，僅安裝調(diào)試就要超過一年時間，每年停修時間不超過3%。EUV光刻機使用的反射鏡片制造工藝更是極其復(fù)雜，為了確保光線在真空中穿過透鏡時不丟失、不變形，需要的技術(shù)精度相當(dāng)于在北京和上海之間鋪一條鐵鏈，鐵軌起伏不超過1毫米。而這些反射鏡成像精度之高，相當(dāng)于我們在地球上拿個手電照到月球，光斑不超過一枚硬幣大小。正是因為光刻機具有超強的穩(wěn)定性，所以，今天上海先進半導(dǎo)體工廠內(nèi)，還有一臺30年前進口的ASML光刻機依然在晝夜不停地工作。這是中國最早的一條5英寸芯片生產(chǎn)線，最初由荷蘭飛利浦公司與上海幾個國有半導(dǎo)體企業(yè)在1988年合資建立。飛利浦不僅幫助中國大陸跟上國際半導(dǎo)體發(fā)展的步伐，對臺灣地區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)的起步也影響甚大，這一點后面會提到。不過，要論這家工業(yè)巨擘對于光刻機行業(yè)的最大貢獻，還是要回到對ASML的哺育之恩。

　　背靠飛利浦，大樹底下好乘涼

　　按照最新數(shù)據(jù)（2022年12月9日），ASML市值為2424億美元，飛利浦僅為123.8億美元，連ASML的零頭都不及。更有意思的是，飛利浦持有ASML約5.8%的股份，折算下來140.6億美元，超過了自身市值。

　　但如果將時針撥回1984年，情況則截然不同。那一年，飛利浦屈就和荷蘭先進半導(dǎo)體材料公司（ASM）合作出資成立ASML，除了提供210萬美元的現(xiàn)金或設(shè)備外，45位飛利浦Natlab的研發(fā)工程師也加盟ASML。

　　雖然有飛利浦Natlab的光環(huán)加持，但創(chuàng)立后的10年里，公司都未曾盈利。成立之初，ASML的光刻機無人問津，唯一買過幾臺的是Elcoma，它是飛利浦半導(dǎo)體和材料事業(yè)部。幾年后，深陷泥沼的ASM創(chuàng)始人德爾·普拉多最終選擇了撤資，飛利浦承擔(dān)了ASM在合資企業(yè)中的股份和債務(wù)，并與ASML的銀行NMB合作，接受來自荷蘭和歐共體的研發(fā)捐贈。

　　《光刻巨人：ASML崛起之路》的作者瑞尼·雷吉梅克評價道：“ASML3年后還活著絕對是一個奇跡。”顯然，ASML沒有在最初幾年倒下，與母公司飛利浦的輸血有直接關(guān)系，除了資金支持，飛利浦還在ASML開拓亞洲市場的關(guān)鍵時刻，把自己最優(yōu)秀的工程師派去協(xié)助，以確保訂單不會消失。這對初創(chuàng)的ASML來說十分關(guān)鍵。

　　當(dāng)然，飛利浦絕不是什么商業(yè)投資領(lǐng)域的慈善家。在數(shù)十年的合作中，ASML和飛利浦之間也有過多次摩擦。但不容否認的是，飛利浦客觀上構(gòu)建了一個持續(xù)運轉(zhuǎn)的共享創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)。飛利浦在荷蘭每所大學(xué)都有耳目，與荷蘭幾乎每個工程或科學(xué)教授都有聯(lián)系，一旦公司在大學(xué)教授的人際關(guān)系網(wǎng)里發(fā)現(xiàn)人才，有需要就會進行招聘。當(dāng)ASML組建之初招聘員工時，有大約300人提出申請，這令A(yù)SML管理層感到驚訝。

　　不僅對ASML，也對維爾德霍芬地區(qū)的高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有巨大的輻射和孵化作用。當(dāng)?shù)財?shù)十家高科技公司都直接或間接脫胎于飛利浦公司，但飛利浦并沒有強行將其變成旗下子公司，而是與其和諧發(fā)展，共同維護并呵護這個共享創(chuàng)新的模式。事實上，就連維爾德霍芬這座城市，也是依托飛利浦公司的成長而發(fā)展起來的。甚至，大名鼎鼎的臺積電在1987年創(chuàng)立時，也稱得上是飛利浦在中國臺灣下的蛋。當(dāng)時，臺灣工研院和飛利浦創(chuàng)辦臺積電，飛利浦占27.5%股份，是最大外部股東。飛利浦不僅毫無保留地把內(nèi)存生產(chǎn)線開放給臺積電學(xué)習(xí)，還原封不動地把整條生產(chǎn)線搬到臺灣給臺積電。可以說，是飛利浦為臺積電打下了堅實的生產(chǎn)技術(shù)基礎(chǔ)，而張忠謀之于臺積電，主要是開創(chuàng)了一個新商業(yè)模式。

　　有趣的是，因為飛利浦的關(guān)系，ASML在1988年拿到了臺積電的17臺光刻機訂單，這讓1989年的ASML獲得了勉強盈利的結(jié)果。這也再次證明，飛利浦對早期ASML的重要性。

　　多年以后，ASML也秉承了飛利浦所青睞的共享創(chuàng)新理念。以2016年為例，ASML拿出了1.32億歐元用于支持其創(chuàng)新生態(tài)系統(tǒng)建設(shè)，其中80%用于企業(yè)的研發(fā)工作，20%用于資助大學(xué)和研究機構(gòu)進行研發(fā)。

　　此外，ASML與全球700多家供應(yīng)商展開合作，50%來自荷蘭本土，其余大多來自歐盟和美國，85%的成本由供應(yīng)商提供。如果沒有開放協(xié)同、共享共生的理念及其配套制度，是不可能做到這一點。當(dāng)然，ASML也就不可能匯聚全球智慧，攻破看似不可逾越的技術(shù)難題，戴上工業(yè)制造皇冠。

　　攜手卡爾·蔡司，鍛造研發(fā)命運共同體

　　1988年，ASML陷入財政最低谷，也在此時，ASML利用尼康、佳能的冒進之舉，推出了它的翻身之作——PAS 5500光刻機。ASML現(xiàn)在的CEO范登布林克，那時還是首席架構(gòu)師，他成功將PAS 5500推廣到了藍色巨人IBM面前，后者決定在紐約東菲什基爾建立新的芯片生產(chǎn)線。

　　ASML獲得IBM認可后，來自世界各地的訂單開始紛至沓來。但對ASML來說，一個新問題出現(xiàn)了，那就是面對源源不斷的訂單需求，為自己提供所有的投影物鏡和照明系統(tǒng)的核心供應(yīng)商卡爾·蔡司公司，卻存在多項不確定性：質(zhì)量不合格、產(chǎn)能不足、與競品合作。

　　質(zhì)量、產(chǎn)能問題的背后，一是蔡司管理層并未真正認可ASML，相反蔡司更重視尼康的需求；二是蔡司管理層還在堅持人工打磨的方式，他們對公司內(nèi)6名頂級技工的“金手指”十分引以為傲。對此，ASML拿著不合格的鏡頭，用事實讓蔡司高管低下了高貴的頭顱，同時，他們也抓住蔡司糟糕的財務(wù)狀況這一痛點，推動蔡司從“金手指”打磨過渡到自動化操作。

　　借助干涉儀、機器人、離子束的刻蝕設(shè)備、拋光筆等新技術(shù)新設(shè)備，蔡司百年以來的老生產(chǎn)線被改造成了符合ASML要求的柔性生產(chǎn)線，最終交付的鏡頭品質(zhì)和效率大幅提高。讓德國人知錯就改后，ASML還要求蔡司只能給自己獨家供貨，兩者簽署一份契約，ASML在蔡司半導(dǎo)體光學(xué)部門（SMT）擁有24.9%的股權(quán)。由于雙方命運極為緊密地聯(lián)系在了一起，所以當(dāng)1994年時任蔡司CEO利希滕貝格聽到ASML巨額訂單的消息時，他選擇賭了一把，砍掉了部分業(yè)務(wù)部門，不僅按要求改造生產(chǎn)線，還入股了ASML，并以借東風(fēng)的方式，一掃財報連年虧損的陰霾。

　　到今天，ASML和蔡司還在定期交換研發(fā)工程師和科學(xué)家，確保從技術(shù)、股權(quán)甚至企業(yè)文化上進行共享。ASML制造的光刻設(shè)備總成本中，有將近30%購自卡爾·蔡司（2018年為28.3%，2017年為26.6%，2016年為27.6%）。而蔡司在光學(xué)研發(fā)上所取得的無與倫比的成就，也在不斷幫助ASML突破一個又一個極限。

　　這是一個相互成就的故事，但如果沒有ASML堅持高標準來倒逼包括蔡司在內(nèi)的供應(yīng)商不斷進行技術(shù)升級，光刻機行業(yè)的創(chuàng)新步伐就不會這么快；此外，通過交叉持股的方式，最大限度確保了彼此的同進退，也證明了金融創(chuàng)新在尖端制造業(yè)中的重要性。

　　擁抱技術(shù)聯(lián)盟，戴上工業(yè)制造皇冠

　　1995年，ASML在阿姆斯特丹和納斯達克交易所同時上市，一時間，訂單、資金都不再是企業(yè)發(fā)展的障礙，如何將領(lǐng)頭羊尼康挑落馬下，成為ASML管理層思考的重點。

　　上世紀90年代中葉，光刻機如果想繼續(xù)遵循摩爾定律，跨越芯片精度上的限制，就必須讓光刻機內(nèi)的光源從DUV變成EUV。為了挑戰(zhàn)這一在當(dāng)時如外星科技般的技術(shù)難題，英特爾在1997年說服克林頓內(nèi)閣，以公司形式發(fā)起了EUV LLC合作組織。

　　這個組織由英特爾和美國能源部牽頭，不僅包括美國三大國家實驗室，也匯聚了當(dāng)時如日中天的摩托羅拉和AMD。同時，英特爾還力邀ASML和尼康加入，這是因為80年代還縱橫捭闔的美國老牌光刻公司Perkin-Elmer和GCA，到90年代大勢已去。

　　不過，英特爾此舉受到美國政府的阻撓，因為后者舍不得讓外國公司分享美國最前沿的技術(shù)。對此，ASML展示出了驚人的技術(shù)前瞻性，遠比尼康積極地擠進EUV LLC。ASML在美國進行強力游說，開出了讓美國政府很難拒絕的條件——由ASML出資在美國建工廠和研發(fā)中心，并保證55%的原材料都從美國采購，最終得到了加盟資格。

　　這一決定不僅確保了ASML可以獲得EUV LLC的全部技術(shù)專利，還確保了自己最大的競爭對手尼康，徹底被排除在競爭之外。實際上，2000年的全球光刻機市場，尼康依然是當(dāng)之無愧的老大，占據(jù)了近7成市場份額，但到2009年即被ASML超過。此后，因為光刻機進入EUV時代，尼康只能在中低端市場刷存在感，早已看不到ASML的背影。

　　從1997年到2003年，6 年間EUV LLC的科學(xué)家發(fā)表了幾百篇論文，成功驗證了 EUV光刻機的可行性，之后便宣布聯(lián)盟解散。2006年，在ASML實驗室里出現(xiàn)了EUV的原型機，四年后的2010年，在ASML手中誕生的人類第一臺EUV工程樣機：NXE 3100。

　　2012年，因為研發(fā)投入需要每年10億歐元，ASML請英特爾、三星和臺積電入股，希望大家共同承擔(dān)這個人類的偉大工程。2015年，可量產(chǎn)的樣機發(fā)布。雖然售價高達1.2億美元一臺，但還是收到雪片一樣多的訂單。排隊等交貨，都要等好幾年。2018年，中芯國際曾預(yù)訂過一臺EUV光刻機，因為美國技術(shù)封鎖，該計劃已經(jīng)被暫停。

　　ASML在1997年成功加入EUV LLC，2012年吸引英特爾等客戶投資自己，可謂帶來了兩大后果：一是憑借EUV甩掉了競爭對手尼康，二是加強了與美國捆綁，因為政治對抗失去中國市場。對于ASML來說，這兩者都是難以預(yù)料的，它既不能確保自己選擇的技術(shù)路徑一定成功，也不能左右國際政治博弈的大局。

　　但有一點是可以確定的，那就是如果ASML不加入英特爾和美國政府主導(dǎo)的技術(shù)聯(lián)盟，就不可能獲得后來至高無上的行業(yè)地位；反過來，即使強如美德日，在今天如果少了ASML、臺積電、三星，也都無法單獨實現(xiàn)芯片產(chǎn)業(yè)的閉環(huán)。

　　這一點，當(dāng)然也適用于中國。

　　對中國半導(dǎo)體創(chuàng)新的幾點啟迪

　　對中國科技企業(yè)而言，ASML和它所在的荷蘭存在很多獨特性。但平心而論，這種獨特性不在于當(dāng)年荷蘭比今天中國擁有多少優(yōu)勢，而在于ASML能夠?qū)⒖烧{(diào)動的優(yōu)勢發(fā)揮到極致。

　　今天，中國擁有全球最大的單一消費市場，從政府到企業(yè)，也都雄心勃勃地試圖征服半導(dǎo)體高地。這些都是十分珍貴的優(yōu)勢，但是，我們也需要觀照他人、深刻反思自己的不足，就ASML的案例，至少可以給我們以下幾點啟迪：

　　第一，必須盡快扭轉(zhuǎn)制造業(yè)供應(yīng)鏈外流的趨勢。從ASML的經(jīng)歷來看，供應(yīng)鏈就是它的生命線，更是它的創(chuàng)新線。ASML對蔡司的技術(shù)規(guī)范和提升，在過去幾十年里，也大量發(fā)生在外資企業(yè)和沿海工廠之間。最典型的就是蘋果供應(yīng)鏈，2008年的時候，中國大陸企業(yè)在蘋果供應(yīng)鏈中只占了3.6%的價值比重，到了2018年，這一數(shù)據(jù)已經(jīng)提升到25.4%，數(shù)據(jù)背后是中國供應(yīng)鏈企業(yè)的集體飛躍。甚至，中國在融入全球供應(yīng)鏈的過程中，還打造出自己的手機品牌，OPPO、vivo、華為、小米等等，都享受了中國企業(yè)融入全球供應(yīng)鏈后的多方面溢出效應(yīng)。要知道，飛利浦最早的光刻機技術(shù)，就是對美國企業(yè)的跟隨和模仿，而ASML擊敗尼康，也花了20多年。它早期成功的標志，就是成為IBM的供應(yīng)商。因此，當(dāng)前科技產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈的外流需要引起足夠的重視，必須注意到越南的進出口數(shù)據(jù)和印度的燈塔工廠數(shù)量的增長勢頭，這些都是再明顯不過的信號。守住這些供應(yīng)鏈，我們的半導(dǎo)體行業(yè)就有突破的希望。

　　第二，應(yīng)該珍視類似飛利浦這樣的生態(tài)型龍頭企業(yè)。生態(tài)型龍頭企業(yè)和一般龍頭企業(yè)不同，它們往往是產(chǎn)學(xué)研一體化的組織者、統(tǒng)籌者，對中小科技企業(yè)的孵化功能，是一般龍頭企業(yè)和創(chuàng)業(yè)孵化器所不能比的。對于飛利浦來說，并沒有一個明確計劃去孕育一家ASML，但它在發(fā)展中天然會去搭建一個創(chuàng)新生態(tài)，沐浴在這個生態(tài)下的中小微企業(yè)，自然而然得到了生態(tài)中的養(yǎng)分。

　　在硅谷、長三角以及粵港澳大灣區(qū)，都存在一批這樣的生態(tài)型龍頭企業(yè)，通過股權(quán)、知識和人才網(wǎng)絡(luò)等形式搭建一些區(qū)域性的共享創(chuàng)新生態(tài)。深圳、杭州之所以敢喊出建設(shè)“東方硅谷”的口號，底氣就在于已經(jīng)培育了騰訊、阿里這樣的生態(tài)型龍頭企業(yè)。正如經(jīng)濟學(xué)家樊綱在近期的一次演講中提到，大企業(yè)是當(dāng)前經(jīng)濟發(fā)展、產(chǎn)業(yè)進步的決定性力量，中國的大企業(yè)不是多了，而是太少了。他領(lǐng)銜的研究團隊發(fā)布了《共享創(chuàng)新指數(shù)報告》，指出全球經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)組織的底層邏輯正發(fā)生顛覆性改變，科技競爭正從企業(yè)、城市之間的競爭，走向生態(tài)之間、城市群之間的競爭。在中國，兩個三角洲擁有明顯高于其它地方的創(chuàng)新水準，依賴的正是高密度、高效能的創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò)。

　　第三，需要意識到資本市場對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要性。ASML所在的歐洲，從荷蘭政府到歐共體和后來的歐盟，都比美國更喜歡給企業(yè)補貼，ASML當(dāng)然是受益者之一。但ASML真正解決資金問題，是通過在歐洲和美國的同時上市，連接全球資本市場后，企業(yè)發(fā)展很快進入了快車道。這一點，2010-2018年間上市的中概股企業(yè)一定頗有體會。

　　相對而言，國家資本擁有更長遠的眼光，但民間資本更注重投資回報中的正反饋效應(yīng)，在瞬息萬變的市場，民間資本能夠更好地支持企業(yè)做出抉擇。畢竟，沒有一家企業(yè)事前知曉哪一條技術(shù)路徑，哪一種商業(yè)模式可以百分百獲得成功。所以，高頻高效的反饋機制對于企業(yè)十分關(guān)鍵，而資本市場的信號往往是最快速、最清晰的。

　　過去十幾年里，從互聯(lián)網(wǎng)科技到新能源汽車，一批中國企業(yè)借力資本市場，歷經(jīng)重重困難，最終殺出一條血路成為市場寵兒。這些有國際競爭力、影響力的科技企業(yè)，應(yīng)被視為“國家戰(zhàn)略型企業(yè)”。未來，中國必須持續(xù)擴大戰(zhàn)略型企業(yè)的矩陣，而半導(dǎo)體企業(yè)一定會以主角的身份，位列陣中。

　　編輯：黃飛