euv光刻機(jī)原理是什么
芯片生產(chǎn)的工具就是紫外光刻機(jī)，是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的核心設(shè)備，對(duì)芯片技術(shù)有著決定性的影響。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。那么euv光刻機(jī)原理是什么呢？
EUV光刻機(jī)的原理是接近或接觸光刻，通過(guò)無(wú)限接近，將圖案復(fù)制到掩模上。直寫(xiě)光刻是將光束聚焦到一個(gè)點(diǎn)上，通過(guò)移動(dòng)工作臺(tái)或透鏡掃描實(shí)現(xiàn)任意圖形處理。投影光刻是集成電路的主流光刻技術(shù)，具有效率高、無(wú)損傷等優(yōu)點(diǎn)。
EUV光刻機(jī)有光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭、雙工作臺(tái)系統(tǒng)三大核心技術(shù)。
高端投影光刻機(jī)可分為兩種類型：步進(jìn)投影光刻和掃描投影光刻。分辨率一般在在10納米到幾微米之間。高端光刻機(jī)被譽(yù)為世界上最精密的儀器。
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審核編輯：何安
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發(fā)表于 09-15 14:50
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光刻機(jī)
jf_90915507
發(fā)布于 :2025年08月05日 09:37:57
ASML Q2新增訂單額55億！客戶對(duì)貿(mào)易戰(zhàn)前景不明，CEO看淡2026年增長(zhǎng)
ASML第二季度實(shí)現(xiàn)銷售額77億歐元，毛利率為53.7%，凈利潤(rùn)達(dá)23億歐元。第二季度的新增訂單金額為55億歐元，其中23億歐元為EUV光刻機(jī)訂單。第二季度營(yíng)收與第一季度的營(yíng)收持平，凈利潤(rùn)略微下降1億歐元。
ASML發(fā)布2025年第二季度財(cái)報(bào) | 凈銷售額77億歐元，凈利潤(rùn)23億歐元；預(yù)計(jì)2025年全年凈銷售額將增長(zhǎng)約15%，毛利率
訂單金額為55億歐元2，其中23億歐元為EUV光刻機(jī)訂單。ASML預(yù)計(jì)2025年第三季度凈銷售額在74億至79億歐元之間，毛利率介于50%至52%；預(yù)計(jì)2025年全年凈銷售額將同比增長(zhǎng)約15%，毛利率約為
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發(fā)表于 05-07 06:03
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