中芯國際繼3月1日獲得美國成熟工藝設備供應許可后，再次迎來好消息：中芯國際與ASML修訂了總額為12億美元（約合人民幣77.6億元）的光刻機批量采購協議。

12億美元，中芯國際訂購光刻機

3月3日晚間，中芯國際公告披露，公司于2月1日與阿斯麥（ASML）上海簽訂了經修訂和重述的阿斯麥批量采購協議，將采購協議的期限延長一年至2021年12月31日。根據批量采購協議，公司已就購買用于生產晶圓的阿斯麥產品（即光刻機）與阿斯麥集團簽訂購買單，訂單金額12億美元。

來源：中芯國際公告 中芯國際表示，本公司為中國內地最先進及最大的集成電路制造商。為應對客戶的需要，本公司繼續擴大其產能、把握市場商機及增長。批量采購協議及阿斯麥購買單乃于本公司正常業務過程中就購置用于生產晶圓（為本公司主要業務）的相關機器作出。由于阿斯麥批量采購協議的期限已到期，本公司簽訂經修訂和重述的阿斯麥批量采購協議。 合約的另一方阿斯麥（ASML）即荷蘭阿斯麥，是全球最大的半導體設備制造商之一，主要業務為光刻機的研發和生產，在全球處于絕對領先地位。具體來看，ASML在45nm以下制程的高端光刻機市場中占有85%的份額；在EUV（極紫外）光刻機領域則處于絕對壟斷地位，市場占有率100%。

業內關注：是否包含EUV光刻機？

光刻機在芯片生產中極為關鍵。其中極紫外光刻機（EUV）僅有ASML能夠生產，這種設備主要用于生產7納米及更先進制程的芯片。 中芯國際的芯片工藝目前已發展至14nm，若想將芯片工藝進一步提升至7nm乃至3nm等先進制程，EUV光刻機設備就必不可少。那么，中芯國際此次12億美元的采購協議都有哪些類型的光刻機，包含EUV光刻機嗎？ ASML的EUV光刻機當前主力出貨型號是3400B，價格約1.2億美元，其最新款的3600D定于2021年出貨交付。 中芯國際本次公告并未就光刻機具體型號進行披露，但本次修訂的訂單或并不包括EUV光刻機。在2020年年底，中芯國際被美國列入實體清單時，美國商務部就特別明確，將原則上拒絕向其出口EUV等支持先進制程開發的技術。美國在2021年3月1日最新宣布的中芯國際設備的供應許可并不包括EUV光刻機。 且有業內資深人士透露，除了EUV光刻機，中芯國際幾乎可以買到其他所有型號的光刻機，包括DUV（深紫外）光刻機。 此前，ASML的CFO在財報會議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關規則對AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國客戶（包括中芯國際）提供DUV光刻系統，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國運往此類客戶的零件或系統，ASML則需要為此申請出口許可證。 在DUV光刻機方面，ASML的最新一代產品型號是NXT 2050i。公開資料顯示，ASML于2020年第三季度對第一臺TWINSCAN NXT 2050i進行了質量認證，并于第四季度初發貨。由于對掩模版工作臺、晶圓工作臺、投影物鏡和曝光激光器的技術改進，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生產率。 公開報道顯示，ASML的上一代DUV產品NXT2000i光刻機，光刻精度可以達到1.9nm，遠低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。 不過，考慮到EUV光刻機對于研發和生產先進制程芯片的重要性，傳言中芯國際也沒有就此放棄。此前業界有消息稱，中芯國際在新任副董事長蔣尚義的"牽線下"，已經開始對EUV設備再次進行洽談，但中芯國際并未對此作出官方回應，具體情況如何尚不得知。可以確定的是目前美國芯片禁令雖已有所松綁，但對象僅針對成熟制程芯片技術（14納米及以上），EUV光刻機的獲取仍是敏感話題。

保持盈利，中芯國際積極擴產

眼下正值全球芯片緊缺之際，中芯國際在積極擴張產能。此前，中芯國際聯合CEO趙海軍在業績會上表示：“中芯國際會繼續滿載運行，預計一季度營收會回到10億美元以上，同時是繼續擴產，12英寸增加1萬片，8英寸增加不少于4萬5千片，但由于設備采購的等待時間越來越長，大部分設備都是在下半年才能到位，所以對今年的營收貢獻不大，全年營收成長預計在中到高個位數。我們希望公司28納米及以上產能，在未來的幾年能夠穩步增長，在擴大產能的同時，保持一定的盈利水平。” 中芯國際預測，上半年收入目標約21億美元；全年毛利率目標為10%到20%的中部。趙海軍還說道：“如果沒有這些（外部制裁）影響，今年本應可以保持去年一樣的快速成長態勢。但我們一定會在危機中遇新機，繼續全力自救，以服務全球客戶為我們的目標。” 此外，根據中芯國際最新資本開支計劃，2021年，公司計劃資本支出進一步下降至43億美元，其中大部分用于成熟工藝的擴產，小部分用于先進工藝（14納米及以下工藝）、北京新合資項目的土建等。 在此前中芯國際發布的2020年第四季度和全年財報中，中芯國際季內收入為9.81億美元，環比下降9.4%，同比上升16.9%。期內歸母利潤為2.57億美元，環、同比分別增長0.3%、189.7%，達到歷史新高。公司CFO高永崗當時解釋稱，收入下降主要是因為先進工藝出貨下降以及整體產能利用率下降。 對比中芯國際在列入美國實體清單后的困境，現在全球芯片進一步緊缺，各晶圓廠幾乎都滿載運行，中芯國際喜迎美國14納米及以上（14納米及28等成熟工藝）設備的供應許可后，又重新確定了與ASML的新設備訂單，中芯國際的運營前景在進一步明朗。

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