光刻機制作芯片過程如下操作：

1.硅片表面清洗烘干

2.涂底

3.旋涂光刻膠

4.軟烘

5.對準曝光

6.后烘

7.顯影

8.硬烘

9.刻蝕

光刻機制作芯片過程非常復雜，而光刻機是制造芯片最重要的設備之一，由于先進光刻機的技術封鎖，中國芯片廠商的芯片制作工藝目前比較落后，也沒有優秀的國產光刻機來掌握到最先進的光刻技術。

目前我國主要依賴大量的芯片進口，在加工芯片的過程中，光刻機起著非常重要的作用。但是光刻機的制造難度很大，荷蘭ASML公司在全球的高端光刻機市場上占據的份額已經達到了80%。

值得一提的是，中芯國際開始研制14nm芯片制程工藝，我國在半導體行業正在慢慢面向全球發展。