板上芯片封裝的特點(diǎn)
板上芯片封裝是指將裸芯片用導(dǎo)電或非導(dǎo)電膠黏結(jié)在互連基板上,然后通過(guò)引線鍵合實(shí)現(xiàn)其電氣連接,或者采用倒....
三維封裝技術(shù)介紹
三維封裝技術(shù)是指在二維封裝技術(shù)的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步向垂直方向發(fā)展的微電子組裝技術(shù)。
表面貼裝封裝技術(shù)SMP介紹
SMP是指采用表面貼裝技術(shù) (Surface Mounted Technology, SMT) 將集....
先進(jìn)封裝(Advanced Package)
2.5D 封裝是在2D封裝結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,在芯片和封裝載體之間加入了一個(gè)硅中介轉(zhuǎn)接層,該中介轉(zhuǎn)接層上利....
傳統(tǒng)封裝通常是指什么?包括哪些封裝形式?
傳統(tǒng)封裝通常是指先將晶片切割成單個(gè)芯片再進(jìn)行封裝的工藝形式,主要包含SIP、DIP、SOP、SOT、....
集成電路傳統(tǒng)封裝的定義及其作用
狹義的封裝定義是指安裝集成電路芯片外殼的過(guò)程;廣義的封裝定義應(yīng)包括將制備合格的芯片、元件等裝配到載體....
全球封測(cè)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)
隨著芯片技術(shù)的發(fā)展,封裝具有了新的作用,如功能集成和系統(tǒng)測(cè)試。從封裝類型的發(fā)展來(lái)看,早期的封裝主要是....
動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器集成工藝(DRAM)詳解
在當(dāng)前計(jì)算密集的高性能系統(tǒng)中,動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(DRAM)和嵌入式動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(embedded....
詳解三維NAND集成工藝(3D-NAND Integration Technology)
在20nm 工藝節(jié)點(diǎn)之后,傳統(tǒng)的平面浮柵 NAND 閃速存儲(chǔ)器因受到鄰近浮柵 -浮柵的耦合電容干擾而....
平面互補(bǔ)場(chǎng)效應(yīng)晶體管替代金屬柵工藝流程
該工藝是指在形成層間介質(zhì)層(ILD)后,插入工序以形成高k介質(zhì)和金屬柵疊層,即在化學(xué)機(jī)械拋光(露出多....
后段集成工藝(BEOL Integration Flow)- 2
雙鑲嵌工藝分為先通孔 (Via-First) 和先溝槽(Trench-First)兩種技術(shù)。以先通孔....
主側(cè)墻和N+/P+源漏的形成
首先,沉積四乙基原硅酸鹽氧化物(即使用正硅酸乙酯TEOS前驅(qū)的CVD氧化物,簡(jiǎn)稱TEOS-ox)和氮....
高K介質(zhì)(High-k Dielectric)和替代金屬柵(RMG)工藝介紹
高k介質(zhì)(如 HfO2、HfSiOx、HfSiON)和金屬柵(如TiN、TiAl、Al 或W等)模塊....
自對(duì)準(zhǔn)硅化物 (Self -Aligned Silicide) 工藝
形成多晶硅柵和源漏之后,先用濕法或干法清除在有源區(qū) (AA)和多晶硅柵表面的氧化物,濺射一薄層(厚度....
前段集成工藝(FEOL)
其制造工藝流程如下:首先形成補(bǔ)償側(cè)墻 (Offset Spacer),經(jīng)n+/p+輕摻雜源漏后,選擇....
前段集成工藝(FEOL)-4
在硅表面保留的這一層氧化層,在后續(xù)每步工藝中將發(fā)揮重要的保護(hù)作用。補(bǔ)償側(cè)墻用于隔開(kāi)和補(bǔ)償由于 LDD....
嵌入式源漏選擇性外延(Embedded Source and Drain Selective Epitaxy)
源漏選擇性外延一般采用氮化硅或二氧化硅作為硬掩模遮蔽層,利用刻蝕氣體抑制遮蔽層上的外延生長(zhǎng),僅在曝露....
應(yīng)變硅(Strained Silicon)
根據(jù)應(yīng)變的作用方向差異,應(yīng)變還可以分為雙軸應(yīng)變(Biaxial Strain,在晶片表面的x和y兩個(gè)....
雙重圖形化技術(shù)(Double Patterning Technology,DPT)
SADP 技術(shù)先利用浸沒(méi)式光刻機(jī)形成節(jié)距較大的線條,再利用側(cè)墻圖形轉(zhuǎn)移的方式形成 1/2 節(jié)距的線條....
鋁/銅互連工藝與雙鑲嵌法(AL/Cu Interconnect and Dual Damascenes)
鋁/銅互連工藝是指將前段工藝制備的晶體管連接起來(lái)的工藝。硅片上的金屬互連工藝過(guò)程是應(yīng)用化學(xué)方法和物理....
接觸孔工藝(Contact Process)
接觸孔工藝是集成電路制造中的關(guān)鍵工藝,也是技術(shù)難度最高的工藝之一。接觸孔的尺寸是集成電路工藝中最小的....
集成電路芯片制造中的3種硅化物工藝介紹
為了降低接觸電阻和串聯(lián)電阻,在集成電路制造中引入了硅化物工藝,業(yè)界先后采用了可規(guī)模生產(chǎn)的 WSi2 ....
高K金屬柵工藝(HKMG)
目前,高K柵介質(zhì)與金屬柵極技術(shù)已廣泛應(yīng)用于 28mmn 以下高性能產(chǎn)品的制造,它在相同功耗情況下可以....
多晶硅柵(Poly-Si Gate)
多晶硅柵光刻工藝使用的光刻機(jī)是同一技術(shù)代集成電路工藝線中最先進(jìn)、最昂貴的設(shè)備,它采用 UV 光源進(jìn)行....
溝道工藝(Channel Process)
溝道工藝是集成電路的核心工藝之一,它確定了場(chǎng)效應(yīng)晶體管的基本特性,如閾值電壓、短溝道特性、噪聲特性、....
模塊工藝——隔離工藝(Isolation)
最早的隔離技術(shù)是 pn 結(jié)隔離,因?yàn)榧由戏聪蚱珘海琾n結(jié)就能起到很好的天然隔離作用。但是,由于其需要....
CMOS集成電路的雙阱工藝簡(jiǎn)析
CMOS 集成電路的基礎(chǔ)工藝之一就是雙阱工藝,它包括兩個(gè)區(qū)域,即n-MOS和p-MOS 有源區(qū)
模塊工藝——雙阱工藝(Twin-well or Dual-Well)
CMOS 集成電路的基礎(chǔ)工藝之一就是雙阱工藝,它包括兩個(gè)區(qū)域,即n-MOS和p-MOS 有源區(qū),分別....
濕法刻蝕和清洗(Wet Etch and Cleaning)
濕法刻蝕是集成電路制造工藝最早采用的技術(shù)之一。雖然由于受其刻蝕的各向同性的限制,使得大部分的濕法刻蝕....
干法刻蝕和清洗(Dry Etch and Cleaning)
干法刻蝕工藝流程為,將刻蝕氣體注入真空反應(yīng)室,待壓力穩(wěn)定后,利用射頻輝光放電產(chǎn)生等離子體;受高速電子....