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標簽 > 白光干涉儀
干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。
干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學元件形成參考光路和檢測光路。
光的干涉是指從目標對象表面到某點的光距（光路）產(chǎn)生偏差時，所發(fā)生的現(xiàn)象。利用這種現(xiàn)象測量目標對象表面凹凸的就是光學干涉儀。右圖是干涉應(yīng)變計的結(jié)構(gòu)圖。從光源（半導體激光等）發(fā)出的光有一些透過分光鏡到達參考面上，其余被反射到樣本表面。透過的光經(jīng)參考面反射通過光接收元件即CCD元件成像。其余被反射的光經(jīng)目標對象表面反射透過分光鏡，同樣通過光接收元件即CCD元件成像。
在半導體制造、光伏電池、MEMS器件以及先進薄膜材料研發(fā)過程中，薄膜厚度與表面形貌的精確測量是質(zhì)量控制和工藝優(yōu)化的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。當前工業(yè)與科研領(lǐng)域廣泛使用的...
優(yōu)可測白光干涉儀，精準高效測量激光加工后的表面微觀形貌、粗糙度、臺階高度、體積等參數(shù)，納米級精度把控品質(zhì)，同時反向優(yōu)化加工參數(shù)，提高產(chǎn)品良率30%。
在半導體、鋰電、光伏、航空航天等高端制造領(lǐng)域，高精度光學測量技術(shù)是把控產(chǎn)品質(zhì)量、優(yōu)化生產(chǎn)工藝的核心支撐，直接關(guān)系到產(chǎn)業(yè)升級與技術(shù)創(chuàng)新進程。白光干涉儀與共...
提升人形機器人運動能力，需要把控運動關(guān)節(jié)哪些關(guān)鍵參數(shù)？
電機、減速器、絲杠則是人形機器人關(guān)鍵運動的關(guān)鍵組成部件。因此在生產(chǎn)制造中，如何精確控制這三大零部件的關(guān)鍵尺寸與參數(shù)，成為首要課題。
白光干涉儀納米級管控微流控芯片表面粗糙度，以及微流道高度和寬度，提升微流控產(chǎn)品性能與質(zhì)量，滿足不同客戶需求。
臺階儀、光學輪廓儀和共聚焦顯微鏡，這些看似冰冷的儀器設(shè)備，實則是微觀世界的“度量衡”，憑借其技術(shù)與性能，為我們解鎖微觀世界的厚度奧秘。
三維表面輪廓儀的維護保養(yǎng)是確保其長期穩(wěn)定運行的關(guān)鍵
三維表面輪廓儀是一種高精度測量設(shè)備，用于非接觸式或接觸式測量物體表面的三維形貌、粗糙度、臺階高度、紋理特征等參數(shù)。其主要基于光學原理進行測量。它利用激光...
優(yōu)可測白光干涉儀和薄膜厚度測量儀：如何把控ITO薄膜的“黃金參數(shù)”
ITO薄膜的表面粗糙度與厚度影響著其產(chǎn)品性能與成本控制。優(yōu)可測亞納米級檢測ITO薄膜黃金參數(shù)，幫助廠家優(yōu)化產(chǎn)品性能，實現(xiàn)降本增效。
表面形貌分析中，波紋度和粗糙度是兩種關(guān)鍵特征。通過濾波技術(shù)設(shè)置截止波長，可將兩者分離。分離后，通過計算參數(shù)或FFT驗證效果。這種分析有助于優(yōu)化加工工藝、...
微透鏡陣列精準全檢，優(yōu)可測3D自動量測方案提效70%
微透鏡陣列可實現(xiàn)許多傳統(tǒng)光學元器件難以實現(xiàn)的特殊功能，應(yīng)用廣泛。某福州工廠需全檢晶圓MLA產(chǎn)品，引入優(yōu)可測NX230系列晶圓3D自動量測設(shè)備，實現(xiàn)高精度...
人工視網(wǎng)膜晶體的表面粗糙度測量-3D白光干涉儀應(yīng)用
1 、引言 人工視網(wǎng)膜晶體作為治療視網(wǎng)膜病變的關(guān)鍵植入式醫(yī)療器械，其表面粗糙度直接影響生物相容性、光學成像質(zhì)量及長期植入安全性。表面過于粗糙易引發(fā)眼部組...
存儲漲價持續(xù)到 2027？優(yōu)可測揭秘存儲芯片的“品質(zhì)密碼”
AI 浪潮下存儲爆發(fā)漲價潮，供需緊張推動行業(yè)發(fā)展，而品質(zhì)才是核心競爭力！優(yōu)可測深耕半導體精密檢測，覆蓋晶圓、芯片、PCB 領(lǐng)域，以亞納米級至微米級高精度...
以設(shè)計鑄品質(zhì)！優(yōu)可測白光干涉儀AM-8000榮膺2025德國紅點獎
優(yōu)可測白光干涉儀AM-8000打破了傳統(tǒng)精密儀器“輕設(shè)計” 的固有認知，憑借技術(shù)沉淀與創(chuàng)新設(shè)計，斬獲2025德國紅點獎！
摘要：本文研究白光干涉儀在晶圓深腐蝕溝槽 3D 輪廓測量中的應(yīng)用，分析其工作原理及適配深腐蝕溝槽特征的技術(shù)優(yōu)勢，通過實際案例驗證測量精度，為晶圓深腐蝕工...
摘要：本文研究白光干涉儀在肖特基二極管晶圓深溝槽 3D 輪廓測量中的應(yīng)用，分析其工作原理及適配深溝槽結(jié)構(gòu)的技術(shù)優(yōu)勢，通過實際案例驗證其測量精度，為肖特基...
iPhone17Pro換背板材料，隱藏著什么工藝變化？我們測給你看！
iPhone 17 Pro 系列發(fā)售近半個月，關(guān)于其與前代手感差異的討論眾說紛紜。今天我們聚焦手機背板這一關(guān)鍵部件，用優(yōu)可測白光干涉儀 AM 系列，通過...
提升霧化片性能，關(guān)鍵是要把控好這些參數(shù)...
霧化片是霧化器的關(guān)鍵零部件，它早已滲透到醫(yī)療、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、消費等多個領(lǐng)域，霧化片盲孔對霧化器性能有著直接影響，因此精確測量盲孔成為各個霧化片廠家的關(guān)鍵課題。
引言 晶圓濕法刻蝕工藝通過化學溶液對材料進行各向同性或選擇性腐蝕，廣泛應(yīng)用于硅襯底減薄、氧化層開窗、淺溝槽隔離等工藝，其刻蝕深度均勻性、表面平整度、側(cè)向...
EUV（極紫外）光刻技術(shù)憑借 13.5nm 的短波長，成為 7nm 及以下節(jié)點集成電路制造的核心工藝，其光刻后形成的三維圖形（如鰭片、柵極、接觸孔等）尺...
2025-09-20 標簽：白光干涉儀 842 0
浸沒式光刻（Immersion Lithography）通過在投影透鏡與晶圓之間填充高折射率液體（如超純水，n≈1.44），突破傳統(tǒng)干法光刻的分辨率極限...
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