在納米顯微測量領域,中圖儀器基于納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術、共聚焦測量等技術積累,推出了具有自主知識產權的白光干涉儀(Z向分辨率可高達0.1納米)和共聚焦顯微鏡,廣泛應用于半導體、3C電子、高校科研等行業領域。

從納米到宏觀,產品解決方案全面覆蓋,滿足多樣化需求:
1、光學3D表面輪廓儀
SuperView W系列光學3D表面輪廓儀利用白光干涉技術,結合精密Z向掃描模塊和3D建模算法,能夠對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。
典型應用:

2、共聚焦顯微鏡
VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。
典型應用:

3、臺階儀
CP系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率。
典型應用:

中圖儀器以深厚的技術積累、創新的產品解決方案和全球化的服務網絡,為全球客戶提供精準、可靠的測量產品和服務。未來公司將不斷推動科技創新,繼續在精密測量領域發揮領導作用,助力科技進步和工業發展。
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