激光加工技術是指利用高功率密度激光束與材料相互作用，實現切割、焊接、打孔及表面處理等工藝技術，已成為了高端制造領域的重要加工環節，它可以實現納米級加工分辨率，覆蓋半導體、3C、新能源、醫療等多個領域。

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加工表面質量

決定產品品質

脈沖激光加工后，產品表面會出現納米級到微米級的形貌起伏、燒蝕坑、微裂紋等，這些微觀變化都有可能使部件失效、材料抗性下降等，需要精準把控其表面微觀形貌和粗糙度。

這不僅是品質把控的重要環節，廠家也可以借此反向優化激光功率等加工參數，從根源提升產品品質和生產效率。

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加工精度高

測量難度大

脈沖激光加工后，測量表面微觀形貌和粗糙度存在多重技術難題：

微觀結構復雜：脈沖激光加工的微孔、溝槽、燒蝕坑等微結構較為復雜，探針式輪廓儀難以測量整個面的微觀三維形貌。

測量精度要求較高：不同區域的加工差異，可能會產生微裂紋、顆粒、燒蝕坑等復雜微小特征，接觸式輪廓儀的探針分辨率不足；若是測量超光滑樣品的表面粗糙度，接觸式粗糙度儀的精度也難以滿足。

材料物性干擾：高反射率的材料表面反射率會比較高，使用激光共聚焦顯微鏡測量容易受干擾；如果使是軟質材料，接觸式輪廓儀也難以測量。

那么，什么儀器可以高效、精準測量表面微觀形貌和粗糙度呢？

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以光為尺

優可測破解測量難題

面對脈沖激光加工后的測量需求，優可測白光干涉儀以亞納米級精度，精準捕捉脈沖激光加工后的微觀形貌特征和表面粗糙度，助力激光加工科研項目，幫助企業產品良率提升30%。

晶圓激光加工后深度測量：

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晶圓大深度測量

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晶圓高度差、粗糙度

LIBS燒蝕坑形貌分析：

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LIBS體積、臺階測量

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LIBS燒蝕坑形貌深度

金屬件激光加工形貌、臺階測量：

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鋼片激光加工形貌

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器件形貌臺階測量

激光雕刻、加工后形貌、粗糙度測量：

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激光雕刻形貌

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加工器件表面粗糙度

優可測白光干涉儀最高重復性0.002nm，掃描速度400μm/s，滿足多種測量場景需求，讓每一處微觀形貌變化都可被測量、每一組加工參數都被可優化，助力高端制造業更上一層樓。