摘要

高效薄膜太陽能電池需要具有高吸收、低缺陷、透明導電的吸收層 氧化物(TCO)薄膜，透過率超過80%，導電率高。 此外，光可以通過玻璃捕獲并送至光吸收層以提高效率。 本文研究了玻璃表面形貌的形式利用HF對基片進行了研究，主要分為隨機蝕刻和周期性蝕刻。 我們討論了蝕刻的問題機理、蝕刻速率、硬掩膜材料、周期性光俘獲結構。

介紹

玻璃，由于其獨特的性能，被廣泛地應用于光學器件、MEMS器件、太陽能電池等。 光學透明且能承受大量光散，此影響可以被認為是最顯著的屬性。在這方面，玻璃的組合是相對容易的。薄膜硅太陽能電池是一種具有巨大潛力的光伏器件。 這個生產在大規模的全自動生產中進行方式允許玻璃基板和低材料用量，低成本在薄膜中，硅太陽能電池，氫化非晶硅(a-Si:H)或作為吸收層的微晶硅(μc-Si:H)。要使太陽能電池有效地吸收光，光對于高效率的太陽能電池來說，紋理表面的管理是必不可少的。 表面紋理可以增強效果從透射光散射，然后低反射在 入射光的表面。

本文還講述了關于玻璃隨機蝕刻的類型 ，濕化學 ，應用程序和結論等問題

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　　審核編輯：湯梓紅