固態硅壓阻壓力傳感器的優點：

（1） 靈敏度高，硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變片高50～100倍，故相應的傳感器靈敏度很高，一般滿量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，應用成本相應較低。由于它是一種非機械結構傳感器，因而分辨率極高，國外稱之無限，即主要受限于外界的檢測讀出儀表限制及噪聲干擾限制，一般均可達傳感器滿量程的十萬分之一以下。硅壓阻傳感器在零點附近的低量程段無死區，且線性優良。

（2） 精度高，由于固態壓阻壓力傳感器的感受，敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現，沒有中間轉換環節，所以不重復性和遲滯誤差極小。同時由于硅單晶本身剛度很大，形變很小，保證了良好的線性，因此綜合靜態精度很高。

（3）體積小、重量輕、動態頻響高，由于芯體采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。小尺寸芯片加上硅極高的彈性模數，敏感元件的固有頻率很高。在動態應用時，動態精度高，使用頻帶寬，合理選擇設計傳感器外型，使用帶寬可以從零頻至100千赫茲。

（4）溫度系數小，由于微電子技術的進步，四個應變電阻的一致性可做的很高，加之激光修調技術、計算機自動補償技術的進步，目前硅壓阻傳感器的零位與靈敏度溫度系數已可達10-5/℃數量級，即在壓力傳感器領域已超過溫度系數小的應變式傳感器的水平。

（5）性能穩定、可靠性高，由于固態壓阻壓力傳感器工作彈性形變低至微應變數量級，彈性薄膜最大位移在亞微米數量級，因而無磨損、無疲勞、無老化。壽命長達107壓力循環次以上。

（6）安全防爆，由于固態壓阻壓力傳感器低電壓、低電流的低功耗特點，它是本質安全防爆型產品，可廣泛用于各種化工工業檢測控制等領域，具有最優性價比。

（7）適應介質廣。由于硅的優良化學防腐性能，與硅油的良好可兼容性，使得隔離式結構易于實現，即使非隔離型的壓阻壓力傳感器，也有相當程度的適應各種介質的能力。

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