在《恒流源驅動的低壓力傳感器SRT3000》一文中介紹了SRT3000壓力傳感器的基本參數,本期我繼續就SRT3000壓力傳感器上常見的幾個參數做簡單的介紹,因為理解這些參數有助于我們精確選擇合適設計需求的傳感器。
1)介質兼容性
介質兼容性是指和傳感器敏感區域直接接觸的媒介,一般是液體或者氣體,SRT3000壓力傳感器是兼容干燥無腐蝕性氣體的。重要的一點是,媒介一定不能腐蝕傳感膜片和芯片外殼,這樣會導致傳感器產生可靠性問題。每一個型號的介質兼容性都有可能不同的介質兼容性,通常,更嚴苛的環境,例如,氣體可能帶有腐蝕性的,會選擇傳感膜片做了金屬化處理的產品。
2)額定壓力范圍
壓力傳感器規格定義的最大壓力值,額定壓力值是壓力傳感器正常工作的保證。這種壓力值定義了傳感器全量程輸出值。在這個范圍內,規格定義的各項指標都能保證。注意,每個傳感器由于出廠校準的單位不同,標稱單位也不同,SRT3000壓力傳感器是以mbar為校準單位的。
3)耐壓壓力范圍
耐壓壓力是指在壓力傳感器芯片各項性能不會被到破壞的情況下,允許施加的最大壓力值。這不應該是一個常規應用的壓力值,在此壓力下,輸出可能已經飽和。
4)爆破壓力范圍
爆破壓力值指在不會對傳感器芯片造成永久性損壞情況下能施加的最大壓力值,這也不應該是一個常規應用的壓力值。出現這樣的壓力過后,可能需要對傳感器各項性能做重新評估。
5)補償溫度范圍
補償溫度范圍是指,傳感器各項指標在該溫度范圍內能夠得到保證。實際上是做了溫度漂移補償,這個范圍和用戶應用溫度范圍息息相關。例如,你需要傳感器在50℃溫度下,仍然能夠保證Datasheet標稱的精度,那么你需要選擇補償溫度范圍高于50℃的產品。SRT3000壓力傳感的溫補范圍比較寬,設定為-10°至60°。
6)零點漂移
是指當沒有任何壓力施加到芯片上時,芯片的輸出值。通常表示為全量程的百分數,或者mV,mA或數字bit等。這個漂移在校準過程中很容易消除,在更換傳感器時,尤其注意要做零點漂移校準。SRT3000壓力傳感的零點標準值為:0.2mV.
7)線性度
線性度是一個非常重要的概念。理想情況下,壓力傳感器的輸出和所被施加的壓力應該是一條嚴格的直線關系。但實際應用中,輸出和理想直線之間會或多或少有些非線性行為,非線性失真正是用于表述這個偏差的參數,這個值的計算通常是通過最佳擬合直線法來計算的。這是壓力傳感器測量誤差的一個重要參數之一。

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