德國達姆施塔特, 2021年7月 28日 –- 全球領先的科技公司默克日前宣布推出新一代環保精密清洗溶劑產品 --AZ?910去除劑。該系列產品用于半導體芯片制造圖形化工藝中清除光刻膠。

光刻膠去除是半導體芯片制造圖形化環節中的關鍵技術，而光刻膠去除劑則是決定圖形化最終良率及可靠性的關鍵材料之一。默克此次推出的“AZ?910去除劑”基于不含有NMP(N-甲基吡咯烷酮)的新型特制化學配方，不僅可以快速溶解殘留光刻膠，同時具備超高的經濟性、出色的環保性和廣泛的適用性。

該創新產品可直接溶解負性和正性光刻膠，而并非像傳統NMP清洗劑那樣只能將其從晶圓表面剝離。清洗工藝能因此能縮短近一半時間，同時延長相關材料和過濾設備的使用壽命，從而幫助芯片廠商降低總體成本。

默克半導體材料事業部全球負責人Anand Nambiar表示：“這是一種同時具備了環保性和經濟性的創新解決方案，將更好地滿足下一代半導體制造工藝中精密清洗需求。這款AZ?910去除劑能夠以不到三倍的溶劑用量清除光刻膠，在為晶圓廠節省成本的同時也減少了廢料對環境的影響?！?/p>

高純度去除劑在芯片制造過程正發揮著十分重要的作用。每當各種材料被轉移到硅片上后，都需要將硅片表面不需要的殘留物精密清除。隨著芯片制造工藝不斷微型化，整個行業對更高性能且綠色環保去除劑的需求也在與日俱增。默克是全球半導體去除劑市場的重要成員之一，其研發的溶劑產品涵蓋了半導體光刻工藝的所有步驟。此外，憑借在電子材料領域100多年的專業經驗，默克目前為中國大陸100多家芯片制造企業供應著超過150余種材料產品，覆蓋其晶圓加工的每一個環節。

關于默克

默克是一家領先的科技公司，專注于醫藥健康、生命科學和電子科技三大領域。全球有57,000多名員工服務于默克，通過創造更加愉悅和可持續性的生活方式，為數百萬人的生活帶來積極的影響。從先進的基因編輯技術和發現治療最具挑戰性疾病的獨特方法，到實現設備的智能化——默克無處不在。2020年，默克在66多個國家的總銷售額達175億歐元。

科學探索和負責任的企業精神一直是默克科技進步的關鍵，也是默克自1668年以來永葆活力的秘訣。默克家族作為公司的創始者至今仍持有默克大部分的股份，我們在全球都叫“默克”，僅美國和加拿大例外。默克的三大領域：醫藥健康、生命科學及電子科技在這兩個國家分別稱之為“EMD Serono”、“MilliporeSigma”和“EMD Electronics”。默克在中國已經有80多年發展歷史，目前有超過4,200名員工，并在北京、上海、香港、無錫、蘇州和南通擁有20多個注冊公司。

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