SK海力士于周三宣布與ASML簽訂了一項為期5年（截至2025年12月1日）的采購合同，總值約為4.8萬億韓元（43.4億美元），用于購置EUV光刻機。

這次采購成本已經近似于SK海力士總資產的7.34%，SK海力士稱這是用于購買光刻機和安裝的費用預估，將在未來五年內逐臺支付，一臺EUV設備的價格在1.3億美元到1.5億美元之間。

SK海力士已經將現有的兩臺研究用EUV設備用于商業生產，并安裝至其伊川市M16晶圓廠。該晶圓廠于2月1日竣工，將采用EUV光刻技術生產第四代10nm（1a）的DRAM，量產將從2021年下半年開始。M16晶圓廠耗資3.5萬億韓元，建筑面積達57000平方米，SK海力士也將從該廠開始加大EUV技術的應用，鞏固半導體存儲器先進加工的領先地位。

在上個月的第四季度財報中，SK海力士也提到2021年的DRAM銷售量將增長16%至20%，主要需求來自數字中心服務器和5G智能手機。

而SK海力士的競爭對手三星已經在去年就用上了EUV光刻機，生產第三代的1z DRAM。

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