Crossing Automation發布增強版Spartan EFEM

Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)近日宣布，已經提高公司的Spartan設備前端模塊（EFEM）的性能，將其每小時的加工能力提高至450張晶圓。改進設計的目的是滿足高通量半導體制造工藝如剝離/去膠、清洗和離子注入的需要。由于擁有專有的晶圓機常壓機器人，改進后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的時間內以最快的速度進行晶圓切換，實現100%的工藝設備利用率。

“使設備生產能力最大化是設備供應商的核心競爭優勢，同時也為IC制造商們降低設備的擁有成本，”Crossing Automation的產品營銷副總裁May Su表示，“對于那些擁有每小時加工數百片晶圓的生產能力、但卻因現有的常壓機器人技術而無法開足產能的設備來說尤其重要。通過升級Spartan已經生產檢驗的計算晶圓運動路徑的軟件算法，我們現在能夠讓所有能通過商業手段購買到的EFEM發揮出最大產能，同時還能維持Spartan現有的可靠性和清潔度性能。”

增強版Spartan EFEM已通過某領先的剝離設備供應商的認證，并表明在現有的EFEM技術的技術基礎上將加工能力提高了20%。此次實際生產驗證Spartan平臺的安裝基數超過1000件，上線時間達99%。