概述：

某一維線性尺度遠遠小于它的其它二維尺度的材料成為薄膜材料，理論上薄膜材料厚度介于單原子到幾毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已經(jīng)被稱為二維材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米至毫米的薄金屬或有機物層。

薄膜材料可以分為非電子薄膜材料和電子薄膜材料，非電子薄膜材料不需要對其電學特性進行分析，不是本方案針對的對象，電子薄膜又可分為導電薄膜，半導體薄膜，介質(zhì)薄膜，電阻薄膜，磁性薄膜，壓電薄膜，光電薄膜，熱電薄膜，超導薄膜等，表面電阻率是電子薄膜電學性質(zhì)的重要參數(shù)。

電子薄膜材料表面電阻率測試

表面電阻率測試常用方法是四探針法與范德堡法，但對電子薄膜材料，范德堡法很少應用。多數(shù)情況下，電子薄膜材料表面電阻率測試對測試儀器的要求沒有二維材料/石墨烯材料高，用源表加探針臺即可手動或編寫軟件自動完成測試。

電子薄膜材料電阻率測試面臨的挑戰(zhàn)

電子薄膜種類多，電阻率特性不同

需要選擇適合的SMU進行測試

被測樣品形狀復雜，需選擇適當?shù)男拚齾?shù)

厚度修正系數(shù)對測試結(jié)果的影響F(W/S)

圓片直徑修正系數(shù)對測試結(jié)果的影響

溫度修正系數(shù)對測試結(jié)果的影響

環(huán)境對測試結(jié)果有影響

利用電流換向測試消除熱電勢誤差

利用多次平均提高測試精度

需要考慮測試成本

泰克吉時利電子薄膜材料測試方案

1.通用配置

a.2450/2460/2461

b.四探針臺(間距1mm)

c.測試軟件(第三方)

2.高阻電子薄膜材料測試方案

a.6221/2182A+6514*2+DMM6500

b.第三方探針臺

c.手動或軟件編程

方案優(yōu)勢

1.不同配置滿足不同電子薄膜材料電阻率測試需求

2.高精度SMU,即可手動測試，也可以編程自動測試

3.高性價比

安泰測試作為泰克吉時利長期合作伙伴，專業(yè)提供設(shè)備選型和測試方案，且為西安多家企業(yè)和院校提供吉時利源表現(xiàn)場演示，并獲得客戶的高度認可，如果您想了解更多測試應用方案，歡迎訪問安泰測試網(wǎng)。

審核編輯：湯梓紅