電阻率是決定半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的重要參數(shù)，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測試材料的電阻率。半導(dǎo)體材料電阻率測試方法有很多種，其中四探針法具有設(shè)備簡單、操作方便、測量精度高以及對樣品形狀無嚴(yán)格要求的特點。因此，目前檢測半導(dǎo)體材料電阻率，尤其對于薄膜樣品來說，四探針是較常用的方法。

四探針測試原理

四探針技術(shù)要求使用四根探針等間距的接觸到材料表面。在外邊兩根探針之間輸出電流的同時，測試中間兩根探針的電壓差。最后，電阻率通過樣品的幾何參數(shù)，輸出電流源和測到的電壓值來計算得出。

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S型源表能四線法測電阻嗎？對線纜要求？

①可以的，使用其四線測量模式；

②四探針測試時一般是恒流測電壓，而所加的電流一般在mA級，所以對線纜基本沒有要求

需要測試的參數(shù)：

表面電阻率

需要儀器列表：

S型國產(chǎn)源表

探針臺或夾具

可編程溫箱

軟件

高校相關(guān)專業(yè)

材料專業(yè)

化學(xué)專業(yè)

國產(chǎn)S型高精度源表（SMU），可以在輸出電流時測試電壓，也可以在輸出電壓時測試電流。輸出電流范圍從皮安級到安培級可控，測量電壓分辨率 高達微伏級。支持四線開爾文模式，適用于四探針測試，可以簡化測試連接，得到準(zhǔn)確的測試結(jié)果。

上位機軟件指導(dǎo)電阻率測試步驟，測試方法清晰明確，即使不熟練的工程師也能迅速掌握測試方法。 內(nèi)置電阻率計算公式，測試結(jié)束后直接從電腦端讀取計算結(jié)果，方便靈活的做后續(xù)處理分析系統(tǒng)主要由源測量單元、探針臺和上位機軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或者后面板三同軸接口連接到源表上。

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