前言

一、CoWoS 技術概述

定義與結構：CoWoS（Chip on Wafer on Substrate）是一種 2.5D 先進封裝技術，由 Chip on Wafer（CoW）和基板（Substrate）連接整合而成。其核心在于將不同芯片堆疊在同一硅中介層上，實現多芯片互聯，從而提高芯片的集成度和性能。

發展歷程：

2011 年：臺積電開發出第一代 CoWoS-S，硅中介層最大面積為 775mm2，接近掩膜版曝光尺寸極限（858mm2）。

2014 年：第二代 CoWoS-S 硅中介層面積達到 1150mm2。

后續迭代：第三代至第六代硅中介層面積分別為 1245mm2、1660mm2、2500mm2、3320mm2，集成芯片數量從 1 個 SoC + 4 個 HBM（內存 16GB）增至 2 個 SoC + 12 個 HBM（內存 128GB）。

技術分類：

CoWoS-S（Silicon Interposer）：使用硅中介層，具有高密度 I/O 互連，適用于高性能計算（HPC）、人工智能（AI）加速器和高端服務器。

CoWoS-R（RDL Interposer）：使用重新布線層（RDL）中介層，具有更大的設計靈活性，適用于網絡設備、通信基站等。

CoWoS-L（Local Silicon Interconnect and RDL Interposer）：結合局部硅互連和 RDL 中介層，適合復雜的系統集成，如消費類電子產品和中端服務器。

二、CoWoS 的優勢與挑戰

優勢：

高度集成：多個芯片可在同一封裝內實現高度集成，滿足空間效率要求高的行業需求，如互聯網、5G 和人工智能。

高速和高可靠性：芯片與晶圓直接相連，提高信號傳輸速度和可靠性，縮短信號傳輸距離，減少傳輸時延和能量損失，適用于高性能計算和數據密集型應用。

高性價比：簡化封裝步驟，降低制造和封裝成本，提高生產效率，相比傳統封裝技術具有更高的成本效益。

挑戰：

信號完整性：邏輯晶圓到基板的互連在高數據速率下，由于 TSV 的寄生電容和電感，互連的信號傳輸會變差，需優化 TSV 設計。

電源完整性：CoWoS 封裝通常用于高性能應用，數據切換率高、工作電壓低，容易受到電源完整性挑戰，如電源噪聲和電壓波動。

制造復雜性：作為 2.5D/3D 集成技術，制造過程復雜，涉及多個芯片的精確對準和連接，導致芯片成本增加。

集成和良率挑戰：2.5D 和 3D 集成電路測試復雜，每個晶圓芯片在安裝到中介層之前需要單獨測試，安裝后還需再次測試，硅通孔（TSV）也需要測試，大型硅中介層易受制造缺陷影響，導致產量損失。

電氣挑戰：

散熱挑戰：中介層和基板之間的熱膨脹系數（CTE）不同，易產生散熱問題，導致芯片溫度過高，影響性能和可靠性。使用有機中介層和底部填充材料可在一定程度上緩解散熱問題。

三、產業市場現狀

市場規模增長：

全球市場：2020 年全球半導體先進封裝市場規模為 300 億美元，2023 年上升至 439 億美元，年復合增長率為 13.5%。預計 2024 年將進一步上升至 472.5 億美元。

中國市場：2020 年中國半導體先進封裝市場規模為 351.3 億元，預計 2025 年將超過 1100 億元，年復合增長率為 26.5%。

CoWoS 需求上升：

高性能 GPU：CoWoS 主要應用于 AI 算力芯片及 HBM 領域。英偉達是主要需求大廠，在臺積電的 CoWoS 產能中占比超過 50%。受益于英偉達 Blackwell 系列 GPU 量產，臺積電預計從 2025 年第四季度開始，將 CoWoS 封裝工藝從 CoWoS-S 轉向 CoWoS-L 制程，使 CoWoS-L 成為其 CoWoS 技術的主要制程。到 2025 年第四季度，CoWoS-L 將占臺積電 CoWoS 總產能的 54.6%，CoWoS-S 占 38.5%，CoWoS-R 占 6.9%。

HBM：隨著 AI 加速器、圖形處理單元及高性能計算應用的蓬勃發展，HBM 銷量急劇攀升。2029 年全球 HBM 行業市場規模預計達 79.5 億美元；2020 - 2023 年中國 HBM 市場規模自 3 億元上升至 25.3 億元，年復合增長率為 204%。HBM 需要 CoWoS 等 2.5D 先進封裝技術實現，其產能受 CoWoS 產能制約，需求激增加劇了 CoWoS 封裝供不應求情況。

四、中國大陸主要參與企業

長電科技：

技術優勢：擁有高集成度的晶圓級 WLP、2.5D/3D、系統級（SiP）封裝技術和高性能的 Flip Chip 和引線互聯封裝技術。

市場表現：2024 年 9 月 28 日完成對晟碟半導體（上海）有限公司 80% 股權的收購，增強與全球存儲巨頭西部數據的合作關系，受益于存儲芯片需求提升。2024 年 2 季度歸母凈利潤環比增長 258%，營收創同期歷史新高，實現收入為人民幣 86.4 億元，同比增長 36.9%，環比增長 26.3%。

通富微電：

技術優勢：超大尺寸 2D + 封裝技術及 3 維堆疊封裝技術均獲得驗證通過，大尺寸多芯片 chip last 封裝技術獲得驗證通過，國內首家 WB 分腔屏蔽技術研發及量產獲得突破。

市場表現：2019 - 2023 年公司營收持續增長，2023 年實現營收 222.69 億元，歸母凈利潤為 1.69 億元。

華天科技：

技術優勢：已掌握 SiP、FC、TSV、Bumping、Fan-Out、WLP、3D 等集成電路先進封裝技術，推進 FOPLP 封裝工藝開發和 2.5D 工藝驗證，具備 3D NAND Flash 32 層超薄芯片堆疊封裝能力。

市場表現：2024 年前三季度實現營收預計 105.31 億元，同比增長 30.52%。2019 - 2023 年研發投入持續增長，分別為 4.02、4.62、6.5、7.08、6.94 億元。

五、CoWoS 技術發展趨勢

CoWoS-L 成為主流：CoWoS-L 結合了 CoWoS-S 和 InFO 技術的優點，使用中介層與 LSI 芯片進行芯片間互連，并用 RDL 層進行功率和信號傳輸，提供最靈活集成。其中介層包括多個局部硅互連（local silicon interconnect，LSI）芯片和全局重布線（global redistribution layers），形成一個重組的中介層（reconstituted interposer，RI），以替代 CoWoS-S 中的單片硅中介層。LSI 芯片保留了硅中介層的所有優秀特性，包括保留亞微米銅互連、硅通孔（TSV）和嵌入式深溝槽電容器（eDTC），以確保良好的系統性能，同時避免了單個大型硅中介層的良率損失問題。在電氣性能方面，CoWoS 平臺引入第一代深溝槽電容器（eDTC）提升電氣性能，配備第一代 eDTC 的 CoWoS 可以將系統電源分配網絡（PDN）的阻抗降低 93%，壓降比沒有使用 eDTC 的情況低 72%。此外，HBM VDDQ 的同步開關噪聲（SSN）可以在 3.2 GHz 時比沒有 eDTC 的情況減少到 38%，信號完整性也可以得到改善。新一代的 eDTC 可以提供 1100 nF/mm2 的電容密度，高電容密度為高速計算的電源效率提供了巨大的優勢。出于良率考慮，單個硅芯片上 eDTC 的最大面積上限約為 300 平方毫米。通過連接所有 LSI 芯片的電容，CoWoS-L 搭載多個 LSI 芯片，可以顯著增加 RI 上的總 eDTC 電容。