據報道，SK 海力士日前公布與韓國特種氣體供應商 TEMC 聯手研發的全球首創氖氣回收技術，每年能節約高達 400 億韓元的成本。

該項目得益于地緣政治局勢引發的氖氣需求劇增以及價格上漲，韓國半導體巨頭三星電子亦有意開啟氖氣回收計劃。

氖氣作為準分子激光氣體的重要組成部分，用于高精密的半導體光刻工藝環節。其穩定性使得分離提純成為可能，從而實現廢氣回收再利用。

SK 海力士聯合 TEMC 研發出一套氖氣回收裝置，用以收集及分類處理光刻工藝環境中的氖氣，然后交予 TEMC 進行純化處理，最后回流至 SK 海力士使用。

據悉，現階段回收裝置的氖氣回收率達 72.7%，且 SK 海力士預計后續將進一步提升至 77%。

據 SK 海力士測算，新回收技術每年有望節省 400 億韓元的氖氣采購費用，同時減少 12000 噸二氧化碳當量的溫室氣體排放。