電子發燒友網報道（文/黃山明）近日，產業鏈傳來消息稱，受先進制程產能利用率下滑影響，臺積電正在考慮從今年年底開始，關閉部分EUV光刻機，以節省能耗。

就在6月份，三星剛宣布將量產3nm工藝，但市場中的大客戶如蘋果、英特爾等公司卻一直在等待臺積電的3nm工藝，如今卻突然傳出臺積電將關閉部分EUV。

芯片市場萎靡，3nm工藝存在缺陷

就在前不久，臺積電總裁魏哲家還在臺積電2022技術論壇上公開表示，3nm即將量產，客戶相當踴躍，并表示2nm可以保證在2025年量產。不過魏哲家還提到，3nm遇到了一定的困難，工程能力有點不足，正盡力努力中。

臺積電副總監陳芳曾表示，臺積電3nm芯片將在今年下半年量產，已經對部分移動和HPC領域的客戶進行了相關交付。

從統計數據來看，當前臺積電擁有80臺左右的EUV光刻機，這些光刻機主要擁有7nm、5nm及以下的先進工藝，下半年量產的3nm也主要依賴于EUV。而今，產業界卻突然傳出，臺積電可能將在年底關停部分EUV光刻機。

一方面此前有消息稱，英特爾已經取消3nm工藝的訂單，14代酷睿的GPU模塊將使用5nm工藝。同時，作為臺積電第一大客戶的蘋果，其最新的iPhone 14系列也不會采用3nm制造工藝，全新的A16處理器將繼續采用現有的4nm制程。

這里主要有兩個原因，一個是因為臺積電3nm工藝進步有些慢，量產時間被推遲至下半年，跟不上蘋果推出新機的節奏；另一方面，有消息稱臺積電3nm存在一個缺陷，只適合制造特定的產品，因此成本極高。

從魏哲家此前所公開表態的情況來看，臺積電的3nm存在一定問題已經基本確認。盡管按照臺積電的說法，與5nm工藝相比，第一代3nm工藝可降低月25-30%的功耗，性能提升10-15%，晶體管密度提升約70%。但是如果代價過高，還未成熟的話，蘋果也不會輕易采用。

這意味著，3nm制程工藝將失去絕大部分訂單，此前采購的光刻機設備是為了此次3nm量產而準備的，如果沒有這么多訂單，那么也就不需要如此多的EUV光刻機了。

當然，臺積電方面并沒有放慢自己的研發進度，2nm制程工藝也在有序推進當中。同時臺積電方面還表示，已經拿到了ASML下一代EUV光刻機的訂單，將在2024年提貨。

目前的EUV光刻機數值孔徑為0.33，可以用于生產7nm及以下的高端芯片，但想要生產2nm芯片時，則需要更高的數值孔徑。AMSL下一代EUV光刻機為NXE:5000系列，數值孔徑將提升至0.55。并且下一代EUV可以提高18%的生產效率，代價是售價將達4億美元。

合理推斷，市場中消費電子需求不振的情況已經傳導至上游，而新能源汽車所帶來的汽車電子芯片，基本不需要用到EUV光刻機。因此受到訂單減少的影響，關停部分EUV光刻機在情理之中。

耗電驚人的EUV

除了終端市場萎靡，3nm制程工藝被客戶退單外，趨勢臺積電關停部分EUV的一個重要原因是光刻機實在太耗電了。即便有錢如臺積電，也實在是頂不住。

EUV光刻機到底有多耗電呢？原理上，EUV光刻機是用人眼不可見的光波照射硅片，將圖案燃燒到晶圓表面上的材料當中，并且在納米級單位中做工。

為了產生這種特殊的光，EUV通過高能激光器蒸發熔融錫發出極紫外光波，然后使用多次折射的方式將輻射聚焦到芯片上。由于采用了多次折射，因此損耗極大，早期的效率僅為0.02%，而今的量產EUV光刻機據稱已提升至2%。不過就算如此，也意味著絕大部分電能都被損耗了。

一臺EUV的額定電力消耗大約為100萬瓦，一天便要產生3萬度電，一年的耗電量大約在1000萬度。

臺灣電費在2.8新臺幣/度，按照臺積電有80臺EUV光刻機來計算，一年就需要用掉8億度電，也就是每年需要支出22.4億新臺幣（約合5億人民幣）的電費，這還是基于臺灣用電沒有梯度計算的情況。

當然，對于臺積電而言，每年5億元的電費并不算什么，畢竟臺積電2021年全年營收達到568.32億美元，歸母凈利潤也達到了213.57億美元，這些電費并不算貴。

但需要考慮到中國臺灣地區的整體電力供給問題，畢竟臺積電并不只有EUV光刻機耗電，統合下來，預計臺積電電力消耗甚至要比擁有2100萬人口的斯里蘭卡耗電量更多。2020年，臺積電約占中國臺灣地區整體能源消耗的6%，預計到2025年將提高至12.5%。

而中國臺灣地區近幾年來，由于實施“非核家園政策”，不再使用核電。導致近幾年來，中國臺灣地區屢次出現電力不足，大范圍停電的情況。缺電問題，也是關停EUV光刻機的重要考量。

早在2015年，臺積電創始人張忠謀便表示，目前困擾臺積電發展的唯一要素就是缺電、停電，如果后期的3nm、2nm產線也出現停電現象，那對于臺積電將造成巨大的損失。關閉暫時用不上的EUV光刻機，也可以讓其他生產線平穩供電。

韓國芯片制造巨頭三星電子同樣面臨著類似的挑戰，該公司在韓國經營的六個半導體生產基地，到2021年已經占據韓國電力消耗的3%。并且三星還在與臺積電競爭，更是率先實現了3nm工藝的量產，此前也向ASML訂購了18臺最新的EUV光刻機來保證新產線的運營，這也會讓三星的能源消耗再上一個臺階。

不過中國臺灣地區顯然無法與韓國比較，中國臺灣地區桃園市臺灣中央大學管理學講座教授梁志遠表示，除非芯片制造商開始建設自己的發電廠，否則中國臺灣地區將沒有足夠的電力容量來容納其半導體產業。

不過對于外界對臺積電耗電大戶的指責，臺積電方面引述2020年工研院產業科技國際策略發展所（ISTI）模型推導的分析結果，顯示臺積電每使用1度生產用電，便能為全球減省4度電。

小結

此次產業鏈放出消息稱臺積電將在年底關停部分EUV光刻機，主要原因在于客戶需求下降以及3nm制程工藝仍不成熟，讓部分EUV無法滿載運行，因此關停這部分EUV光刻機。不僅能夠節省部分電費，減少能源消耗，同時能夠為廠區其他產線提供更穩定的電力供應。