鍍通孔(PTH)常見問題及解決方法

（A）孔清潔調整處理

　　1．問題：基板進行孔清潔處理時帶出的泡沫過多，導致下工序槽液被沾污。

　　原因：

　　（1）孔清潔調整液被基板帶出過多
　　（2）后續工序清潔不夠
　　（3）槽液配制出錯

　　解決方法：

　　（1）保持基板在槽上方停留一定的時間，使槽液滴回槽中。
　　（2）檢查水量是否達到工藝要求。
　　（3）嚴格按照工藝要求與操作細則規定進行配制。

　　2.問題：槽液出現固體顆料

　　原因：

　　基板表面上的固體粒子無法溶于非整合性的槽液中

　　解決方法：

　　A.采用間歇過濾方法。
　　B.去毛刺時首先進行清洗或蒸汽清洗。

　　3.問題：指紋或塵埃未除盡

　　原因：

　　（1）配制溶液或添加藥品有錯
　　（2）溫度過低

　　解決方法：

　　（1）重配或添加時應嚴格按照工藝規定執行。
　　（2）檢測槽液溫度應在工藝規定的范圍內。

（Ｂ）微蝕處理

　　1.問題：蝕刻速率過慢或不起微蝕作用

　　原因：

　　（1）如采用過硫酸銨微蝕液，則溶銅量超標
　　（2）如采用硫酸／雙氧水，可能兩成份中其中一個含量不足或溶銅量超標
　　（3）槽液溫度過低
　　（4）槽液受孔清潔調整液的污染

　　解決方法：

　　（1）應按照工藝規定，換新溶液。
　　（2）進行分析或調整。
　　（3）檢測并檢查加熱裝置是否失效。
　　（4）應按照工藝規定進行重新配制。

　　2.問題：硫酸/雙氧水微蝕刻液蝕刻速率太快及溶液溫度升高

　　原因：

　　（1）溶液中雙氧水含量過多
　　（2）處理的板量過多
　　（3）特別重新返工的ＰＴＨ的板有時帶入鈀成份而加快雙氧水的分解

　　解決方法：

　　（1）分析和調整（按工藝規定執行）。
　　（2）應按槽液量，測算出最佳的處理多少面積板。
　　（3）重做的PTH板要采用另外槽液去剝離化學鍍銅層，徹底清洗后再進入微蝕槽進行微蝕處理。

　　3.問題：微蝕后的板表面產生條紋或微蝕不足

　　原因：

　　（1）經孔清潔調整液處理后清洗不干凈
　　（2）孔清潔調整溶液的潤濕劑與微蝕液不妝容
　　（3）清潔劑除污效果差
　　（4）微蝕處理不夠，基板表面仍呈現光亮
　　（5）基體銅與化學銅層附著力差，說明微蝕不夠或后清洗不足所至

　　解決方法：

　　（1）加強清洗，減少帶出清潔調整液機會。
　　（2）采用互相兼容的處理液或采用同一廠商生產的藥品品牌。
　　（3）按工藝要求調整溶液的溫度、濃度及處理時間。
　　（4）檢測蝕刻速率并按工藝規定進行更換或調整。
　　（5）檢查及改善微蝕效果并加強后清洗。

（Ｃ）活化和及加速處理

　　1.問題：槽液表面有銀色的亮膜

　　原因：

　　活化液中部分鈀被氧化

　　解決方法：

　　當槽液不使用時，應加覆蓋膜予以遮蓋。

　　2.問題：活化液變成透明澄清，而在槽底形成黑色沉淀

　　原因：

　　由于活化液中鈀濃度太低、二價錫過低，或氯離子太低，或吹入的空氣中氧使鈀膠體聚成一團而沉淀。

　　解決方法：

　　A.采用覆蓋膜加蓋在槽液表面上。
　　B.應盡量避免吹入空氣。
　　C.分析活化液中的二價錫離子、二價鈀離子及氯離子，然后根椐分板進行調整。
　　D.嚴重時應按照工藝規定重新更換槽液。

　　3.問題：加速處理液中出現固體粒子

　　原因：

　　由于活化液帶入過多而形成凝團

　　解決方法：

　　A.加強活化后的清洗。
　　B.應按照工藝規定期進行過濾。

　　4.問題：由于活化不良而造成沉銅后銅孔壁內有破洞

　　原因：

　　（1）活化液中濃度太低
　　（2）活化液溫度過低
　　（3）活化液中酸的濃度太低

　　解決方法：

　　（1）分析與調整達到工藝要求的范圍。
　　（2）嚴格按照工藝參數控制槽液溫度。
　　（3）按照工藝規定調整到最佳的酸濃度范圍。

　　5.問題：加速處理不良造成銅層與孔壁結合力差

　　原因：

　　（1）活化液濃度太高使附著上的鈀膜不易被加速處理
　　（2）活化處理時間過長
　　（3）加速液濃度或溫度過低
　　（4）加速液溫度太高或時間太長造成過度加速處理，導致局部鈀層被剝掉
　　（5）加速處理不足，在銅表面殘留有Sn的化合物
　　（6）加速處理液中，Sn含量增加

　　解決方法：

　　（1）應按照工藝規定周期性分析和調整。
　　（2）應按照工藝規定的工藝參數進行控制。
　　（3）應根據工藝規定定期分析與添加及嚴格控制活化液的溫度。
　　（4）嚴格按照工藝規定的工藝參數進行操作及定期進行分析和調整。
　　（5）檢查加速處理工藝，亞格按工藝規定執行。
　　（6）更換加速處理液。

　　6.問題：加速處理溶液濃度過高，處理時間過長易使沉銅出現空洞

　　原因：

　　由于加速液濃度過高或處理時間過長，會導致只吸附的鈀脫落所至

　　解決方法：

　　應按照工藝規定進行分板與調整及嚴格控制處理時間（通常1-2分鐘）。