介紹三款最新發布的三軸MEMS加速度計產品

據麥姆斯咨詢報道，2022年8月29日下午，全球卓越的半導體公司亞德諾半導體（Analog Devices, Inc.，ADI）在北京舉行“ADI MEMS 2022新品媒體交流會”，ADI亞太區微機電（MEMS）產品線總監趙延輝首先分享了五種運動傳感與日常生活和行業應用的關系，然后回顧了公司在MEMS領域的產品發展歷程，并重點介紹了三款最新發布的三軸MEMS加速度計產品：（1）ADXL367：自我超越，節能利器；（2）ADXL314：服務新興市場；（3）ADXL359：以客戶為導向，具有高性價比。

趙延輝表示：“ADI在MEMS傳感器性能方面不斷超越自我，今年發布的ADXL367顛覆了上一代產品（ADXL362）的部分性能指標，具有更低的功耗、更小的噪聲、更小的體積，應用場景也更加豐富。ADXL367的納瓦級功耗可以為終端用戶帶來非常好的體驗，提供更長的現場使用時間，最大限度地延長了電池壽命，并降低了維護頻率和成本?！睆南聢D展示的ADI兩代超低功耗三軸MEMS加速度計性能可以看出：ADXL367功耗改善了兩倍（超低功耗模式@100Hz時的電流為0.88μA，而喚醒模式時的電流僅為180nA），噪聲性能提高了30%以上，面積下降47%，高度下降20%，同時在數字分辨率（14bit）、供電電壓（1.1V~3.6V）、數字接口（SPI和I2C）等方面都有改進。

ADI超低功耗三軸MEMS加速度計對比（ADXL367 vs. ADXL362）

趙延輝談及超低功耗時說道：“如今，很多邊緣設備需要實現‘24小時/7天’始終在線監測，因此必須保證足夠低的功耗。我們的ADXL367處于監測模式時，一顆鈕扣電池可以讓其持續工作143年，也就是說傳感器本身電流的消耗甚至比電池本身的自放電（電池每年基本上自放電大概是1%）電流還要低。ADXL367處于低功耗模式時，傳感器整體功耗約為970nW，一顆鈕扣電池可以讓其持續工作29年。即便沒有電池，拿個蔬菜或水果也可以讓ADXL367檢測運動——ADI制作了一個利用土豆供能并使得ADXL367正常工作的演示（demo）。”

ADXL367的超低功耗能力展示

“ADXL367供電電壓可以低至1.1V，很多人會產生疑惑——為何將電壓做到這么低。其實，原因是ADI考慮到電池性能差異或電量不足時，電池供電電壓在一定范圍內變化，尤其是像助聽器這類采用鋅空電池供電的設備要求在1.1V的情況下還能正常工作?！壁w延輝選取部分性能指標分析說，“ADXL367在噪聲密度方面也有了較大的改觀，在超低功耗模式下，X、Y、Z三軸都做到了375μg/√Hz的水平，而上一代產品的Z軸性能會比X和Y軸要差一些。此外，ADXL367的超低噪聲模式（170μg/√Hz）為心臟起搏器等微小運動信號捕獲應用開啟了大門?！?br />
趙延輝繼續說道：“ADXL367還集成了一些智能檢測功能，例如單擊和雙擊檢測。這可以幫助TWS耳機、助聽器等體積小巧的可穿戴設備實現便捷的用戶操作界面——通過ADXL367內部集成的單擊和雙擊檢測功能即可實現開啟、暫停，以及音量調節等，無需終端設備廠商再做算法分析，這樣能夠充分解放設備處理器的負擔?！?br />
由于ADXL367具有上述優異的性能指標，因此它可以廣泛用于消費類/可穿戴設備、醫療健康、工業及汽車領域，趙延輝在會議中介紹了生命體征監測、助聽器、心臟起搏器、自動體外除顫儀、畜牧業監測、智能車鑰匙、事件數據記錄儀、燃氣表、“物聯網”井蓋等方面的生動應用案例。

ADXL367超低功耗的應用場景

ADI為了服務新興市場（例如汽車胎壓監測、電動車電池監測），推出了一款±200g量程范圍、13位分辨率、三軸MEMS加速度計：ADXL314。該產品通過了車規級AEC-Q100認證，拓展了溫度范圍（-40至125℃），具有低功耗特性——低/高數據速率時的工作電流為50μA/170μA，并可實現高達3200Hz輸出數據速率。ADXL314還具有一些附加特性：（1）集成相對/絕對的運動/靜止檢測中斷；（2）集成32級FIFO緩沖器；（3）可耐10,000g加速度沖擊。

車規級低功耗大量程MEMS加速度計ADXL314

ADI以客戶為導向，推出一款具有高性價比的三軸MEMS加速度計：ADXL359，在上一代產品（ADXL356和ADXL357）的“低噪聲、低漂移”基礎上，進行成本和性能優化。ADXL359具有“±10g、±20g、±40g”可選的量程范圍，20bit分辨率及1000Hz帶寬，其在寬溫度范圍（-40℃至125℃）內提供低噪聲（80μg/√Hz噪聲密度）、小失調漂移和長期穩定性，可實現校準工作量極小的精密應用。ADXL359還具有一些附加功能：（1）可編程的高通濾波器；（2）支持外同步；（3）內置FIFO緩沖器。