Mems電容式加速度計(jì)的種類（三）

隨著科技發(fā)展加速度計(jì)從原來大的尺寸逐漸往小型化發(fā)展可以應(yīng)用在各行各業(yè)并且在性能上更上一層樓，給人們的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。

Mems的加速度計(jì)分為六大類：電容式加速度計(jì)；壓阻式加速度計(jì)；壓電式加速度計(jì)；諧振式加速度計(jì)；隧穿式加速度計(jì)；熱對(duì)流式加速度計(jì)。

其中電容式加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)可分為三種結(jié)構(gòu)：

1、蹺板擺式加速度計(jì)

2、梳齒式硅微機(jī)械加速度計(jì)

3、三明治擺式電容式加速度計(jì)

蹺板擺式電容式加速度計(jì)又稱扭擺式硅微加速度計(jì)因?yàn)槠涿舾匈|(zhì)量繞著彈性梁扭轉(zhuǎn)形似蹺板而得名。其典型代表是美國(guó)一家實(shí)驗(yàn)室與1990年研制的微機(jī)械加速度計(jì)其敏感質(zhì)量與下面的玻璃基片之間形成差動(dòng)檢測(cè)電容，由于質(zhì)量片分別位于承扭梁倆邊的質(zhì)量和慣性矩不相等，所以當(dāng)存在垂直于質(zhì)量片的加速度計(jì)輸入時(shí)質(zhì)量片將繞著支撐梁旋轉(zhuǎn)從而使相對(duì)應(yīng)的一對(duì)差電容一個(gè)增大一個(gè)見小，測(cè)量差動(dòng)電容值可得到沿著敏感軸輸入的加速度。

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