隨著科技發展加速度計從原來大的尺寸逐漸往小型化發展可以應用在各行各業并且在性能上更上一層樓,給人們的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。
Mems的加速度計分為六大類:電容式加速度計;壓阻式加速度計;壓電式加速度計;諧振式加速度計;隧穿式加速度計;熱對流式加速度計。
其中電容式加速度計的結構可分為三種結構:
1、蹺板擺式加速度計
2、梳齒式硅微機械加速度計
3、三明治擺式電容式加速度計
其中三明治擺式電容加速度計又稱為懸臂梁式硅微機械加速度計是一種夾層結構的微機械加速度計,因為極板被夾在固定極板中間形似三明治結構而得名。該結構相對比較簡單,電容式動極板由中間的敏感質量硅擺片的上下倆面電鍍的方法制成與相對應的固定極板組成一組差動電容來敏感輸入加速度的大小。當質量塊手受到加速度上下運動時,電容間距隨之變化差動電容大小發生改變,理論推導可知差動電容大小和加速度在質量塊位移較小的情況下形成差不多線性比例關系。
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