隨著科技發展加速度計從原來大的尺寸逐漸往小型化發展可以應用在各行各業并且在性能上更上一層樓,給人們的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。
Mems的加速度計分為六大類:電容式加速度計;壓阻式加速度計;壓電式加速度計;諧振式加速度計;隧穿式加速度計;熱對流式加速度計。
其中電容式加速度計的結構可分為三種結構:
1、蹺板擺式加速度計
2、梳齒式硅微機械加速度計
3、三明治擺式電容式加速度計
其中梳齒式電容式加速度計簡稱 FMSA。因為活動電極形似梳齒而得名,又稱叉指式電容式加速度計。是微加速度計典型的一種結構,梳齒式加速度計具有靈敏度高、溫度穩定性好、結構相對簡單、功耗比較低、直流特性好等特點,但是容易受到電磁干擾、該類型的加速度計可以通過把若干極板面積較小的電容并聯起來形成相對較大的電容以提高分辨率,而且可以制作反饋結構實現閉環控制利于精度的提高。
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