MEMS加速度計(jì)的三種類型簡介

隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，慣性傳感器目前是最為成功應(yīng)用最廣泛的微機(jī)電系統(tǒng)器件之一。而MEMS加速度計(jì)就是慣性傳感器件的杰出代表。MEMS加速度計(jì)的理論基礎(chǔ)就是牛頓第二定律根據(jù)基本的物理原理，在一個(gè)系統(tǒng)內(nèi)部速度是無法測量的但卻可以測量其加速度。

智騰mems加速度計(jì)

MEMS加速度計(jì)按技術(shù)成熟可分為三種形式：壓電式、容感式、熱感式。

1、壓電式MEMS加速度計(jì)運(yùn)用的是壓電效應(yīng)，在其內(nèi)部有一個(gè)剛體支撐的質(zhì)量塊，有運(yùn)動(dòng)的情況下質(zhì)量塊會產(chǎn)生壓力，剛體產(chǎn)生應(yīng)變，把加速度轉(zhuǎn)變成電信號輸出。

2、容感式MEMS加速度計(jì)內(nèi)部也存在一個(gè)質(zhì)量塊，從單個(gè)單元來看，它是標(biāo)準(zhǔn)的平板電容器。加速度的變化帶動(dòng)活動(dòng)質(zhì)量塊的移動(dòng)從而改變平板電容兩極的間距和正對面積，通過測量電容變化量來計(jì)算加速度。

3、熱感式MEMS加速度計(jì)內(nèi)部沒有任何質(zhì)量塊，它的中央有一個(gè)加熱體，周邊是溫度傳感器，里面是密閉的氣腔，工作時(shí)在加熱體的作用下，氣體在內(nèi)部形成一個(gè)熱氣團(tuán)，熱氣團(tuán)的比重和周圍的冷氣是有差異的，通過慣性熱氣團(tuán)的移動(dòng)形成的熱場變化讓感應(yīng)器感應(yīng)到加速度值。

由于壓電式MEMS加速度計(jì)內(nèi)部有剛體支撐的存在，通常情況下，壓電式MEMS加速度計(jì)只能感應(yīng)到“動(dòng)態(tài)”加速度，而不能感應(yīng)到“靜態(tài)”加速度，也就是我們所說的重力加速度。而容感式和熱感式既能感應(yīng)“動(dòng)態(tài)”加速度，又能感應(yīng)“靜態(tài)”加速度。