MEMS是多學科交叉的復雜系統，整個產業鏈涉及設計、制造、封裝測試、軟件及應用方案環節。MEMS產業鏈的上游負責MEMS器件設計、材料和生產設備供應，中游生產制造出MEMS器件、下游使用MEMS器件制造終端電子產品。

MEMS整個產業鏈復雜，涉及的廠商眾多；中國的設計、制造、封裝測試廠商都在積極布局MEMS，已形成完整MEMS的產業鏈。

1、全球MEMS生產廠商

全球前十名 MEMS廠商主要包括博世、意法半導體、惠普、德州儀器、佳能、InvenSense、 Avago和 Qorvo、樓氏電子、松下等等。其中 BOSCH因為其在汽車電子和消費電子的雙重布局，牢牢占據著行業的第一的位置，其營收約占五大公司合計營收的三分之一。

大部分 MEMS行業的主要廠商是以 Fabless為主，例如樓氏、 HP、佳能等。同時，平行的也有 IDM廠商垂直參與到整條產業鏈的各個環節，比如 Bosch、 ST等都建有自己的晶元代工生產線。

圖：全球MEMS生產廠商

2、MEMS代工

MEMS代工主要有兩種類型：IDM廠商提供的MEMS代工，獨立的代工廠提供的MEMS代工，其中獨立的代工廠包括集成電路代工廠和純MEMS代工廠。近幾年Fabless模式的MEMS器件制造商發展迅速，獨立的MEMS代工廠努力尋求標準化的工藝以提升規模經濟，減少制造時間和降低成本，使得獨立的MEMS代工廠快速成長，但目前IDM代工仍處于市場領導地位。

3、MEMS封裝測試

目前具備MEMS封裝測試能力的國際廠商主要有日月光、安靠、矽品、力成科技等，國內有華天科技、長電科技、晶方科技等廠商。盡管國內的MEMS前端制造還落后于國際大廠，由于國內的封裝技術起步較早，國內MEMS產業鏈后端封裝較為完善。

中國MEMS產業詳解

從產品使用領域結構來看，國內 MEMS公司在營業規模、技術水平、產品結構、與國外有明顯差距， 60%-70%的設計產品集中在加速度計、壓力傳感器等傳統領域。工藝開發是我國 MEMS行業目前面臨最主要的問題，產品在本身技術實力和生產工藝還有待于進步。國內MEMS行業的 fabless規模相對較小，但市場規模來說具備很大的發展空間。面對國內巨大的消費電子市場，自產自銷滿足國內部分中低端市場需求，也是國內 Fabless司的一個捷徑。

1、國內傳感器企業的區域布局

中國 MEMS設計企業主要集中于華東地區，約占全國企業總數的 55%，其中，以上海、蘇州、無錫三地為產業集中地：

上海：深迪，矽睿，麗恒，芯敏，微聯，銘動，文襄，天英，巨哥

蘇州：明皜，敏芯，雙橋，多維，能斯達，汶灝，圣賽諾爾，希美

無錫：美新，樂爾，康森斯克，微奧，杰德，必創，微納，芯奧微，沃浦

其他：深圳瑞聲，山東歌爾，河北美泰，山西科泰，鄭州煒盛，北京水木智芯，浙江大立，武漢高德，成都國騰，西安勵德，天津微納芯等。

2、中國MEMS產業鏈相關企業簡介

1）耐威科技-國內MEMS代工龍頭

耐威科技是國內產品同時涵蓋慣性及衛星導航，具有軍工資質的為數不多的企業之一。公司立足導航產業，經多年發展形成“慣性導航+衛星導航+組合導航”產業鏈全覆蓋，掌握了慣性導航及組合導航、高精度衛星導航定位的若干關鍵技術，同時其控股子公司具有從事軍品研發、生產與銷售的專業資質。

2）蘇奧傳感-國內汽車油量傳感器龍頭

蘇奧傳感全稱為江蘇奧力威傳感高科股份有限公司，其主營業務是研發、生產和銷售汽車零部件，主要產品分為三大類，分別為傳感器及配件、燃油系統附件及汽車內飾件。目前是中國最大的汽車油量傳感器制造企業之一，江蘇省高新技術企業，公司于2016年4月29日在深交所創業板上市。蘇奧傳感目前公司擁有四家子公司，即傳感器研究所、舒爾馳精密、煙臺奧力威及武漢奧力威。2015年10月8日，公司決定對傳感器研究所進行清算并注銷。

3）蘇州固锝-已量產MEMS慣性傳感器

蘇州固锝是國內半導體分立器件二極管行業最完善、最齊全的設計、制造、封裝、銷售的廠商，從前端芯片設計到后端封裝技術，形成了一個完整的產業鏈。主要產品包括汽車整流二極管、功率模塊、整流二極管芯片、硅整流二極管、開關二極管、穩壓二極管、微型橋堆、軍用熔斷絲、光伏旁路模塊等，產品廣泛應用在航空航天、汽車、綠色照明、IT、家用電器以及大型設備的電源裝置等許多領域。公司設計、研發太陽能電池用銀漿以及各種電子漿料，研發并規模化生產物聯網領域的MEMS傳感器。

4）華工科技-國內家電溫度傳感器龍頭

華工科技依托于華中科技大學，以激光技術及其應用為主業，建立了激光裝備制造、光通信器件、激光全息仿偽、傳感器、現代服務業的產業格局，將以智能制造和物聯科技為主要業務發展方向。公司旗下企業華工激光、華工正源、華工高理、華工圖像、華工賽百的產品廣泛應用于機械制造、航空航天、汽車工業、鋼鐵冶金、船舶工業、通信網絡、國防軍工等重要領域，市場占有率處于行業領先地位。

5）士蘭微-國內稀缺的IDM模式半導體公司

士蘭微是一家專業從事集成電路以及半導體微電子相關產品的設計、生產與銷售的高新技術企業。主要分為電源與功率驅動產品線、MCU 產品線、數字音視頻產品線、物聯網技術與產品線、射頻與混合信號產品線、分立器件產品線等。目前是國內為數不多的IDM 模式半導體公司。

6）漢威電子-國內氣體傳感器龍頭

漢威電子是國內最大的氣體傳感器及儀表制造商。公司圍繞物聯網產業，將感知傳感器、智能終端、通訊技術、云計算和地理信息等物聯網技術緊密結合，打造漢威云，建立完整的物聯網產業鏈，結合環保治理、節能技術，為智慧城市、安全生產、環境保護、民生健康提供完善的解決方案。漢威電子堅持“聚焦專業細分市場”的發展戰略，產品和系統解決方案已應用于全球近百個國家，建立了以傳感器為核心，覆蓋多門類檢測儀表及行業物聯網應用的整體布局。

7）中航電測-軍工MEMS龍頭

中航電測儀器股份有限公司是中國航空工業集團公司控股企業，主營業務為研制電阻應變計、精密電阻、應變式傳感器、稱重儀表和軟件、航空機載和地面測試系統、機動車性能及環保檢測系統、機動車駕駛員智能化培訓系統、遠程聯網監管網絡平臺、車載稱重控制系統、工業自動化系統、精密機電控制產品和物聯網應用等軍民用測量和控制產品及系統解決方案。公司擁有國際水平的設計能力、高水平的工藝裝備及工藝制造技術，在國內中高端應變計和傳感器市場占據主導地位