7月14日中午，隨著首臺8英寸生產線光刻機設備被吊車移進位于高新區的重慶奧松半導體特色芯片產業基地（下稱“奧松半導體項目”），標志著這一項目全面進入設備安裝調試的快車道，也為其順利達成既定目標奠定了堅實基礎——今年8月底通線試產，第四季度實現產能爬坡并交付客戶。

光刻機進入百級潔凈黃光區廠房

奧松半導體項目作為重慶首個8英寸MEMS特色芯片全產業鏈項目，計劃總投資35億元，包含8英寸特色傳感器芯片量產線、8英寸MEMS特色晶圓快速研發線、智能傳感器創新研發中心、車規級傳感器可靠性檢測中心、產學研科研中心及奧松半導體研發辦公大樓等，技術能力覆蓋各類MEMS特色工藝，可實現各類MEMS半導體傳感器產品從研發到量產的無縫銜接，對重慶乃至整個集成電路行業都具有深遠意義。

“光刻機是整個芯片制造過程中最關鍵的核心設備，首臺光刻機成功搬入，標志著我們產線正式進入設備安裝調試階段，離正式通線試產并量產指日可待。”奧松半導體項目負責人李忠告訴上游新聞記者，接下來幾天將陸續搬入用于晶圓制造、封裝測試、模塊生產、系統應用等各類工藝和輔助設備，全部設備計劃于月底前搬入完成，第二臺光刻機也將于8月搬入。待一期項目達產后，將形成每月10000~20000片晶圓的產能。

運載光刻機各部件的貨柜車進入廠區

據介紹，今年奧松半導體項目圍繞“7月光刻機進場、8月底通線試產、第四季度產能爬坡并陸續交付客戶”的階段性目標，同步推進竣工驗收、產能通線、工廠運營、良率提升和產品交付等工作，目前公司為項目順利通線投產已儲備和投用了兩百余名員工。同時將持續加大新產品、新技術研發投入力度，進一步拓展客戶和市場。

上游新聞記者 陳力