敏芯股份坐落在蘇州納米城，是國內最早成立的MEMS公司之一，主導構建了本土化MEMS傳感器全產業鏈。憑借領先的MEMS傳感器研發技術，公司成功晉級蘇州市工信局組織評選的“2020年度蘇州市集成電路企業20強”。

研發驅動是公司的鮮明底色，2018年度、2019年度、2020年度，公司研發費用合計分別為2739.49萬元、3567.04萬元和4204.34萬元，占營業收入的比重分別為10.84%、12.56%和12.74%。

截至2020年底，公司共擁有境內外發明專利40項、實用新型專利53項，正在申請的境內外發明專利113項、實用新型專利129項；MEMS聲學傳感器、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器三大產品線的應用場景涵蓋消費電子、醫療、工業控制以及汽車電子等領域。

拾級而上打開國內MEMS產品市場

微機電系統(MEMS)是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器，具有體積小、功耗低、可靠性高、易于集成等特點。

“小機器”蘊含著“大機遇”。21世紀初，全球MEMS產業迎來商業化浪潮，樓氏電子、英飛凌等國外企業成功將MEMS技術應用于智能手機等消費電子領域，引發市場關注。

“我們剛畢業那會，國外MEMS產業發展熱度較高，但國內相關企業很少，就業機會也不多，但我相信這個行業未來在國內一定會發展起來。”在歷經電子科大、北大、香港科技大學等高等學府熏陶后，現任敏芯股份首席執行官的李剛選擇了MEMS領域作為創業方向。

2007年，李剛及其創業團隊獲評園區“第一屆科技領軍人才”稱號，獲得一筆啟動資金。同年，公司三位創始人利用自制的簡陋試驗設備，進行科研實驗，完成公司早期的技術探索和積累。

13年來，敏芯股份從零開始打通MEMS產業鏈，完成了現有MEMS傳感器產品芯片設計、晶圓制造、封裝和測試環節的基礎研發工作和核心技術積累，趟出了一條因地制宜、乘勢而為的MEMS全產業鏈國產化之路。

起初，公司不斷開發探索產品和生產工藝，推動MEMS產品量產，并利用市場機會完成原始積累，持續整合產業鏈，完善公司產品；2012年是具有里程碑意義的一年，公司成功實現了MEMS產品的大規模量產，并改變了原有的商業模式，選擇直接面對消費市場。

這些年，公司以中低端應用為切入口，在激烈的市場競爭中存活了下來。目前公司正在進行最后“攻堅戰”，努力打入國際知名消費類電子品牌大客戶的供應鏈體系。

十余年堅持，公司成功邁入國內MEMS行業領軍企業梯隊，目前MEMS聲學傳感器產品出貨量位居全球第四位，僅次于樓氏、歌爾、瑞聲；近些年，公司還響應市場需求，相繼拓展了加速度傳感器、骨傳導傳感器、電子煙、壓力傳感器、熱電堆傳感器等新市場。

“成長在這個時代，我們是幸運的。中國廣袤的市場給了我們這些MEMS創業公司成長的機會，在不同的發展階段都有匹配的客戶。”敏芯股份市場銷售副總張辰良說。

布局全產業鏈自主可控增強發展韌性

疫情發生以來，不少企業因供貨不足生產中斷，但敏芯股份訂單依舊相對保持穩定，所有產線滿負荷運轉，展現較強的抗風險能力。公司加速量產非接觸紅外測溫傳感器、微差壓傳感器等產品，有力支持抗疫。

超強發展韌性，得益于公司在全產業鏈自主可控領域的長期布局。

MEMS作為一種特色工藝，具有高度定制化特點，不僅設計難度高，生產工藝也要按需開發。敏芯股份成立之初，國內晶圓制造企業和封裝企業普遍缺乏專業的MEMS生產經驗。打造本土化供應鏈體系，意味著要付出更多耐心與堅持。

2008年，敏芯聯合中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所（簡稱“蘇州納米所”），進行4寸MEMS產品和工藝開發。在此基礎上，公司先后參與國家重大專項、江蘇省重大科技專項，與國內領先晶圓制造企業、封裝廠合作，探索構建MEMS產品本土供應鏈體系。

“起步之初，我們就選擇了與國內供應商合作，制造企業和封裝廠遇到工藝流程難題，我們的工程師第一時間前往幫忙調試工藝，這么多年一直休戚與共，形成了芯片設計和工藝自主開發能力。”李剛說，相比與國外大廠合作，這條路更艱難，但這么多年挺過來，反而成為公司的競爭優勢。

2019年，為保障產能，公司還投資興建封測企業，實現從MEMS產品芯片設計、晶圓制造、封裝和測試全生產環節的自主可控。

“國內MEMS產業鏈的興起過程中，我們有幸深度參與其中，發揮了重要作用。”敏芯股份董秘董銘彥說，2020年登陸科創板后，公司進入全新發展階段，在全產業鏈研發和技術實力基礎上，公司希望抓住國內進口替代機遇，借助資本市場力量進一步鞏固MEMS下游生產制造等環節布局。

立足創新高地攀登科技高峰

勇于拼搏、敢于爭先，一直是蘇州精神文化底蘊。近年，蘇州正以極大熱情，傾力打造“創業者天堂、創新者樂園”。

“第一屆科技領軍人才中，我們半導體組發展得還不錯，3家企業中2家完成IPO，另外1家被聯發科收購，整體創業成功率挺高的，這多虧了領軍人才政策。”李剛說，2007年，國內地方政府還很少投資半導體，資本市場也更青睞股權投資而非風險投資，蘇州高瞻遠矚提出要轉型發展，為高科技創業企業提供全流程支持，實屬難能可貴。

這些年，蘇州聚焦人才、高校、科研院所、產業服務、孵化器等要素，系統出臺創新創業支持政策，形成獨具特色的產業培育機制，日益成為我國高端創新載體集聚、高端創業人才青睞、創新生態卓越、創新成果豐碩的地區。時至今日，蘇州新一代信息技術產業規模日漸壯大，日益成為地方經濟發展的新引擎。

“蘇州創投工作起步較早，政府主要培育環境和土壤，聚焦企業自主創新需求提供服務，而不是直接用錢‘下猛藥’砸項目，那不是長久之計。”蘇州市工信局電子產業處相關負責人說，去年蘇州登陸科創板的企業，不少是二三十年前成立的，這些民營企業普遍都有板扎的科研實力。

一路走來，敏芯股份的自主創新探索背后也有園區的不懈支持。落戶不久，公司就與蘇州納米所合作完成MEMS麥克風產品量產；隨后，還與園區納米產業技術研究院有限公司協同完成麥克風MEMS芯片工藝研發。

2020年，在蘇州納米城支持下，敏芯股份新研發大樓已經奠基，今年第一季度，公司與蘇州工業園區產業投資基金等機構共同投資設立產業投資基金，并擬對外投資設立“MEMS產業研究院有限公司”，該產業研究院的設立將進一步加快公司新工藝、新產品的研發和中試需求，為公司參與MEMS芯片的國際競爭奠定堅實基礎。新建元也正在為MEMS產業研究院建造MEMS晶圓廠房提供全方位支持。

在我國“十四五”規劃和2035年遠景目標綱要中，集成電路被列為科技前沿領域攻關之一，作為集成電路特色工藝，MEMS亦被重點提及。大力發展MEMS智能傳感器產業，已成為地方共識。據賽迪統計，2020年，我國MEMS領域投資兼并案例達116個、金額347億，呈現出爆發式增長態勢。

“蘇州的產業生態非常好，特別是對MEMS這個行業來說，有研發性的納米所、中試的納米城、配套還有基金，政策上的傾斜能支持企業長期發展，而且毗鄰上海，環境宜居，對人才很有吸引力。”蘇州工業園區經發委相關負責人說，“逆水行舟，不進則退”，未來園區將把握好先發優勢，發揮敏芯股份等企業的示范帶動作用，把MEMS這一特色產業做到世界頂尖水平。

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