高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣（Ar）通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。

　　電感耦合等離子體光譜儀的原理

　　高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣（Ar）通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體（Ar）則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發生電離，被電離的氣體經過環繞石英管頂部的高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態的氖原子發生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體完全電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。

　　樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。當這些激發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量（表現為一定波長的光譜），測定每種元素特有的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。

　　電感耦合等離子體光譜儀的優勢

　　1、分析精準

　　中階梯二維分光系統，具備更高的分辨能力。

　　防溢出背照式百萬像素CCD檢測器，紫外響應高，無紫外熒光膜，使用壽命長。

　　多種背景校正技術可供選擇。

　　2、穩定可靠

　　全固定無運動部件的光學系統;穩定的質量流量氬氣集成控制系統;可視化的安全聯鎖和運行監控。

　　3、便捷易用

　　采用可拆卸炬管，內置自動化的炬管準直、光源優化功能。

　　4、使用成本低

　　專利的智能光室吹掃，緊湊高效的光室設計等多項措施降低氬氣消耗。

　　免費保外技術指導和平價現場服務。

　　5、全面的分析軟件

　　層次化的軟件界面，操作直觀、便捷，可滿足不同層次客戶的使用需求。

　　豐富的方法庫和版本化的管理方式更利于方法的傳承、學習和維護。