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EUV光刻技術(shù) - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術(shù) – 原來是預(yù)計在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過去了,EUV已經(jīng)遇到了一些延遲,將技術(shù)從一個節(jié)點(diǎn)推向下一個階段,本單元詳細(xì)介紹了EUV光刻機(jī),EUV光刻機(jī)技術(shù)的技術(shù)應(yīng)用,EUV光刻機(jī)的技術(shù)、市場問題,國產(chǎn)euv光刻機(jī)發(fā)展等內(nèi)容。
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臺積電率先導(dǎo)入EUV量產(chǎn),將繼續(xù)穩(wěn)坐晶圓代工龍頭寶座
臺積電明年上半年將獨(dú)步同業(yè),成為全世界第一家采用最先進(jìn)的極紫外光(EUV)微影設(shè)備完成量產(chǎn)的晶圓代工廠,助攻臺積電橫掃全球多數(shù)第五代行動通訊(5G)及人...
2018年7月18日,ASML公布了2018年第二季度業(yè)績報告。報告指出,第二季度銷售額為27.4億歐元,凈利潤為5.84億歐元,毛利率達(dá)到43.3%。
2018年7月18日,ASML公布了第二季度業(yè)績報告,報告顯示第二季度EUV出貨量為4套,比預(yù)期高出一套,這是否意味著ASML的生產(chǎn)能力正在提升,中芯國...
ASML公司Q2季度出貨4臺EUV光刻機(jī),大陸市場營收比例達(dá)到19%
光刻機(jī),是半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中最重要的設(shè)備之一,荷蘭ASML公司已經(jīng)成為全球光刻機(jī)市場的一哥,壟斷了高端光科技生產(chǎn),在EUV光刻機(jī)領(lǐng)域更是獨(dú)一份。
新思科技Custom Design Platform獲批三星7LPP工藝技術(shù)認(rèn)證
· 新思科技Custom Design Platform為三星7LPP工藝技術(shù)提供經(jīng)認(rèn)證的工具、PDK、仿真模型、運(yùn)行集(runsets)以及定制參考流...
國家集成電路創(chuàng)新中心啟動,將聚焦5nm及以下集成電路研發(fā)
國家集成電路創(chuàng)新中心、國家智能傳感器創(chuàng)新中心啟動會7月3日在上海舉行。國家集成電路創(chuàng)新中心將圍繞5nm及以下集成電路,聚焦四大共性技術(shù),支持國產(chǎn)高端芯片...
摩爾定律的三種發(fā)展方向,EUV制程技術(shù)勢在必行
從2017到2018年,全球IC制造產(chǎn)業(yè)資本投資規(guī)模達(dá)到高峰,近兩年總投資均超過920億美元規(guī)模。目前中國臺灣IC制造產(chǎn)業(yè)仍以晶圓代工貢獻(xiàn)最主要產(chǎn)值,隨...
三星首次分享了基于EUV技術(shù)的7nm工藝細(xì)節(jié)
另外,7nm EUV的好處還在于,比多重曝光的步驟要少,也就是相同時間內(nèi)的產(chǎn)量將提升。當(dāng)然,這里說的是最理想的情況, 比如更好的EUV薄膜以減少光罩的污...
光刻機(jī)發(fā)展分析:光刻機(jī)國內(nèi)外主要廠商與市場現(xiàn)狀分析
中國目前的光刻機(jī)技術(shù)還在起步探索階段,雖然取得了一些小成就,但離國外先進(jìn)技術(shù)差距還很大,希望通過目前科研人員的努力,能真正用上性能強(qiáng),穩(wěn)定性高的高端國產(chǎn)芯片。
三星 SAFE計劃現(xiàn)在已可提供與Synopsys的Lynx設(shè)計系統(tǒng)兼容的經(jīng)認(rèn)證
Synopsys宣布,Synopsys Design Platform已通過全球領(lǐng)先半導(dǎo)體技術(shù)企業(yè)三星電子的工藝認(rèn)證,支持三星代工部門的8nm LPP(...
EUV技術(shù)量產(chǎn)進(jìn)入最后沖刺階段
盡管極紫外光(EUV)步進(jìn)機(jī)的大量生產(chǎn)面臨復(fù)雜的問題以及緊迫的時間,專家們?nèi)匀槐С謽酚^態(tài)度...
EUV光刻技術(shù)競爭激烈,三星7納米EUV制程已完成新思科技物理認(rèn)證,臺積電緊追其后
在晶圓代工市場,臺積電與三星的競爭始終是大家關(guān)心的戲碼。三星雖然有高通等VIP客戶,但在7納米制程節(jié)點(diǎn),高通預(yù)計會轉(zhuǎn)投臺積電,三星要想受更多客戶的青睞,...
據(jù)知情人士透露,中國最大的晶圓代工廠中芯國際已經(jīng)訂購了一臺EUV設(shè)備,在中美兩國貿(mào)易緊張的情況下,此舉旨在縮小與市場領(lǐng)先者的技術(shù)差距,確保關(guān)鍵設(shè)備的供應(yīng)...
ASML計劃在2018年生產(chǎn)20臺EUV光刻機(jī)
EUV 作為現(xiàn)在最先進(jìn)的光刻機(jī),是唯一能夠生產(chǎn) 7nm 以下制程的設(shè)備,因?yàn)樗l(fā)射的光線波長僅為現(xiàn)有設(shè)備的十五分之一,能夠蝕刻更加精細(xì)的半導(dǎo)體電路,所...
韓國三星為了多元化營收來源,這兩年晶圓代工業(yè)務(wù)為重點(diǎn)發(fā)展項(xiàng)目,2018年率先推出7納米EUV制程,搶在臺積電、格羅方德與英特爾之前推出。但三星如今似乎“...
如何發(fā)現(xiàn)EUV過程中產(chǎn)生的缺陷
而以上所說的化學(xué)反應(yīng)就是隨機(jī)缺陷產(chǎn)生的源頭,然而最大的困難就是這些反應(yīng)中存在這許多未知因素的干擾。“由于這一復(fù)雜的物理化學(xué)反應(yīng)過程存在著一些未知因素,因...
臺積電宣布其7納米制程進(jìn)入量產(chǎn) 并透露了5納米節(jié)點(diǎn)的首個時間表
持續(xù)同時朝多面向快速進(jìn)展的晶圓代工大廠臺積電(TSMC),于美國硅谷舉行的年度技術(shù)研討會上宣布其7納米制程進(jìn)入量產(chǎn),并將有一個采用極紫外光微影(EUV)...
微電子產(chǎn)業(yè)特種化學(xué)品和材料解決方案廠商英特格 (Entegris) 宣布,新一代的光罩盒已獲得半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備商艾司摩爾 (ASML) 的認(rèn)證,可用于極紫...
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